Распыление металлов (C23C14/34)
C Химия; металлургия(326262)
C23 Покрытие металлических материалов; покрытие других материалов металлическим материалом (металлизация текстильных изделий D06M11/83; декоративная обработка текстильных изделий местной металлизацией D06Q1/04); химическая обработка поверхности; диффузионная обработка металлического материала; способы покрытия вакуумным испарением, распылением, ионным внедрением или химическим осаждением паров вообще (для специфических целей см. соответствующие классы, например для производства резисторов H01C17/06); способы предотвращения коррозии металлического материала, образования накипи или корок вообще (обработка металлических поверхностей или покрытие металлов электролитическим способом или способом электрофореза C25D,C25F)
(12971)
C23C14/34 Распыление металлов(201)
Изобретение относится к области нанесения многокомпонентных покрытий для режущего инструмента из плазмы вакуумно-дугового разряда. Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента 2 из многокомпонентного сплава Al-Nb-Ti-V-Zr вакуумно-плазменным синтезом заключается в том, что синтез износостойкого покрытия осуществляют системой магнитно-дуговой фильтрации 5 из плазмы вакуумно-дугового разряда, горящего в парах материала многокомпонентного катода 4, полученного методом электроискрового спекания из технически чистых порошков указанных металлов при одновременном проведении процесса плазменного ассистирования несамостоятельным сильноточным диффузионным разрядом, генерируемым плазменным источником 6.
Группа изобретений относится к устройству для нанесения антикоррозионного покрытия на металлическую проволоку плазменно-импульсным осаждением, способу нанесения антикоррозионного покрытия с использованием указанного устройства и к металлической проволоке, покрытой антикоррозионным покрытием.
Способ вакуумно-дугового нанесения наноструктурированных покрытий на стоматологические конструкции // 2791571
Изобретение относится к области нанесения покрытий из плазмы вакуумно-дугового разряда и может быть использовано для получения наноструктурированных покрытий на стоматологические конструкции. Для нанесения многослойного покрытия (Zr,Nb)N в качестве материалов катодов используют Zr и Nb.
Изобретение относится к области микрометаллургии, в частности, к получению покрытий системы Ni-Cr-Мо-TiB2, полученных методом гетерофазного переноса. Способ получения функционально-градиентного покрытия на основе системы Ni-Cr-Mo-TiB2 включает нанесение дисперсных частиц на поверхность изделия методом сверхзвукового холодного газодинамического напыления с использованием трех автономно работающих дозаторов, при этом в первый дозатор помещают порошок из чистого никеля Ni фракцией 20-40 мкм, во второй - порошок из сплава Ni40Cr18Mo42 фракцией 40-50 мкм, а в третий - наноразмерный порошок диборида титана TiB2 фракцией 80-120 нм, после чего осуществляют напыление функционально-градиентного покрытия с использованием компьютерной программы, согласно которой вначале из первого дозатора производят напыление адгезионного подслоя никеля, затем первый дозатор отключают и включают второй и третий дозаторы, причем из второго дозатора начинают подавать порошок Ni40Cr18Mo42 с максимальным 100% расходом, а из третьего - с минимальным расходом TiB2, затем по линейному закону количество порошка из второго дозатора уменьшают, а из третьего - увеличивают до получения покрытия состава TiB2.Техническим результатом является получение функционально-градиентного покрытия на основе системы Ni-Cr-Mo-TiB2 с высокой микротвердостью 28,8-30 ГПа, стойкостью к износу от 0,6·10-9 до 0,9·10-9 и коррозии менее 0,001 мм/год, адгезией 64-73 МПа.
Изобретение относится к области получения многослойных материалов на основе стали и «мягких» металлов, таких как алюминий, медь, титан, и может быть использовано в машиностроении, приборостроении, энергомашиностроении, судостроении для увеличения ресурса работы механизмов за счет повышения износо- и коррозионной стойкости в агрессивных средах.
Изобретение относится к области солнечной энергетики, а именно к фотоэлектрическим преобразователям на основе полупроводниковых материалов перовскитного типа. Фотовольтаическое устройство содержит следующие слои: 0 - подложка и/или барьерный слой, защищающий остальные слои от механических воздействий, влияния влаги и кислорода воздуха; 1 - полупрозрачный дырочно-собирающий электрод; 2 - дырочно-селективный слой; 3 - фотоактивный перовскитный слой; 4 - электрон-селективный слой; 5 - электрон-собирающий электрод; 6 - подложка и/или барьерный слой, защищающий остальные слои от механических воздействий, влияния влаги и кислорода воздуха.
Изобретение относится к золотой распыляемой мишени и способу ее получения (варианты). Золотая мишень имеет чистоту золота 99,999% или более.
Золотая распыляемая мишень // 2785130
Группа изобретений относится к золотой распыляемой мишени и способу ее изготовления, которые могут использоваться, например, в кварцевых генераторах для изготовления электродов возбуждения с напыленной пленкой Au.
Изобретение относится к способу получения золотой пленки с использованием золотой распыляемой мишени, содержащей золото и неизбежные примеси. Золотая распыляемая мишень имеет среднее значение твердости по Виккерсу, составляющее от 40 или более до 60 или менее, среднее значение размера кристаллического зерна, составляющее от 15 мкм или более до 200 мкм или менее.
Способ получения покрытия на основе системы ti-al, синтезированного в среде азота и ацетилена // 2782102
Изобретение относится к области машиностроения и может быть использовано в инструментальном производстве для поверхностного упрочнения металлорежущего инструмента. Покрытие на основе системы Ti-Al получают путем его нанесения на деталь 2 вакуумно-дуговым осаждением с двух электродуговых испарителей из однокомпонентных катодов из титана 3 и алюминия 4, при этом предварительно обезжиривают поверхность детали 2, помещают обрабатываемую деталь 2 в вакуумную камеру 1, создают в камере рабочее давление 8⋅10-3-5⋅10-2 Па, проводят ионную очистку, нагрев и активацию поверхности в два этапа, причем ее нагрев на первом этапе осуществляют до температуры 300-350°C с использованием сильноточного плазменного источника с полым катодом 5 в среде инертного газа аргона, на втором этапе поверхность детали 2 нагревают до температуры 400-450°С электродуговыми испарителями в среде инертного газа аргона, после этого наносят первый слой титана в среде инертного газа аргона, после чего наносят покрытие на основе системы Ti-Al в среде смеси газов азота и ацетилена с образованием фаз TiN, AlN, TiAl, Ti3Al, TiAl3, TiC, TiAlC при ассистировании процесса сильноточным плазменным источником также с использованием полого катода.
Изобретение относится к области космонавтики, в частности к получению тонких пленок тепловой энергией самораспространяющегося высокотемпературного синтеза (СВС), для устранения микротрещин на поверхности корпуса космических летательных аппаратов (КЛА).
Изобретение относится к оборудованию для нанесения покрытий на подложку. Установка для вакуумного осаждения для непрерывного осаждения на перемещающуюся подложку покрытий, сформированных из металла или металлического сплава, содержит тигель для испарения, выполненный с возможностью подачи паров металла или металлического сплава и содержащий испарительную трубку 7, камеру для осаждения, выполненную с возможностью прохождения подложки по заданной траектории, и устройство 3 для нанесения покрытий струёй пара, соединяющее испарительную трубку 7 с камерой для осаждения, при этом устройство 3 для нанесения покрытий струёй пара дополнительно включает в себя распределительную камеру 31, содержащую по меньшей мере одно средство повторного нагрева 33, расположенное внутри распределительной камеры, и сопло 32 для выпуска пара, содержащее нижнее отверстие 9, соединяющее сопло 32 для выпуска пара с распределительной камерой 31, верхнее отверстие 10, через которое пар может выходить в камеру для осаждения, и две боковые поверхности 11, 12, сходящиеся друг к другу в направлении верхнего отверстия 10.
Изобретение относится к химической промышленности и может быть использовано при нанесении покрытий на поверхность изделий, предназначенных для машиностроения, авиации, космонавтики, энергетики. В качестве исходных компонентов используют металлосодержащий порошок и оксид графена в объёмном соотношении (1:1)÷(5:1).
Изобретение относится к устройствам защиты стенок вакуумной камеры от напыления продуктами испарения свариваемого или наплавляемого материала и может быть использовано в различных областях машиностроения.
Устройство магнетронного распыления // 2773044
Изобретение относится к устройству (100) и способу магнетронного распыления. Устройство содержит подложку (20), анод (34) в электрическом поле постоянного тока, мишень (16), которая образует катод (30) в электрическом поле постоянного тока и содержит электропроводящую смесь (36) для нанесения покрытия на подложку (20).
Изобретение относится к вакуумной технологии очистки поверхности и нанесения упрочняющих покрытий на изделия из кварцевого стекла, преимущественно марки КВ, указанная технология может быть использована в космических аппаратах в условиях космического пространства.
Изобретение относится к области декорирования стекла и изделий, а именно к способу нанесения алюминия на стеклянные изделия из него, и может быть использовано в стекольной промышленности на технологической стадии нанесения декоративных покрытий на стеклянные бытовые товары.
Изобретение относится к области декорирования стекла и изделий из него, а именно к способу нанесения латуни марки Л63 на стеклянные изделия, и может быть использовано в стекольной промышленности на технологической стадии нанесения декоративных покрытий на стеклянные бытовые товары.
Группа изобретений относится к области декорирования стекла и изделий из него, а именно к способам нанесения оксида титана на стеклянные изделия, и может быть использована в стекольной промышленности. Из камеры для напыления откачивают воздух до вакуума 0,02 Па и вращают корзину со стеклянными изделиями со скоростью вращения корзины 2 оборота в минуту.
Мишень для получения цветного остекления // 2765376
Изобретение относится к мишени для катодного распыления и способу изготовления мишени (варианты). Мишень изготовлена с одной стороны из оксида по меньшей мере одного элемента, выбираемого из группы, содержащей титан, кремний и цирконий, и, с другой стороны, из частиц металла, включенного в группу, образованную серебром, золотом, платиной, медью и никелем, или частиц сплава, образованного по меньшей мере из двух этих металлов.
Изобретение относится к области технологического оборудования и технологий для массового производства, в частности вакуумного оборудования и технологий, предназначенных для формирования функционального слоя тонкопленочной батареи (катода) с заданными электрическими, физическими и химическими свойствами, в частности к способу формирования пленки LiCoO2 и устройству для его осуществления.
Способ изготовления катодов для установок магнетронного распыления из тугоплавких металлов // 2763719
Изобретение относится к области машиностроения, в частности к обработке и изготовлению деталей. Способ включает электроэрозионную обработку заготовки в виде прутка на проволочно-вырезном станке с числовым программным управлением (ЧПУ), обеспечивающем точность размеров с учетом припусков на последующую механическую обработку, при которой от прутка отрезают диск.
Группа изобретений относится к области декорирования стекла и изделий из него, а именно к способам нанесения нитрида титана на стеклянные изделия, и может быть использована в стекольной промышленности. Из камеры для напыления откачивают воздух до вакуума 0,02 Па и запускают вращение корзины со стеклянными изделиями со скоростью вращения корзины 2 оборота в минуту.
Изобретение относится к способу нанесения жаростойких покрытий Y-Al-O из плазмы вакуумно-дугового разряда и может быть использовано для изготовления лопаток турбин, статических деталей в турбореактивных двигателях и газовых турбинах, нуждающихся в защите от высоких температур и агрессивной горячей среды.
Цветное стекло и способ его изготовления // 2756268
Изобретение относится к области поверхностной обработки стекла и может быть использовано для изготовления цветного стекла. Техническим результатом является обеспечение возможности простого регулирования и изменения колориметрических характеристик покрытия, наносимого на поверхность стеклянной подложки для изготовления цветного стекла без добавления дополнительных металлических оксидов в исходную композицию стекла.
Изобретение относится к технологии непрерывного осаждения покрытий, сформированных из металла или металлических сплавов. Способ непрерывного осаждения на перемещающуюся подложку покрытий, сформированных, по меньшей мере, из одного металла внутри установки для вакуумного осаждения, содержащей вакуумную камеру, содержит этап, на котором в указанной вакуумной камере металлический пар 5 выбрасывается через по меньшей мере два паровых эжектора 3, 3' в направлении к обеим сторонам перемещающейся подложки, и слой по меньшей мере одного металла формируется с каждой стороны посредством конденсации выбрасываемых паров, причем по меньшей мере два паровых эжектора 3, 3', обращенных друг к другу, расположены по обе стороны от подложки и позиционируются соответственно под углом α и α', находясь между эжектором пара и осью А, перпендикулярной направлению перемещения подложки, ось которой находится в плоскости подложки, α и α' удовлетворяют следующим уравнениям:(D1+D2)+Le sin α + We cos α = Ws и(D1+D2)+Le sin α' + We cos α' = Ws,углы α и α' по абсолютной величине выше 0° и D1 и D2 - меньшее расстояние между эжекторами и каждым краем подложки вдоль оси (A), Ws - ширина подложки, D1 и D2 превышают 0 мм, то есть края эжектора не выходят за края подложки, а упомянутые эжекторы пара имеют прямоугольную или трапециевидную форму и содержат прорезь, а также определяются длиной Le прорези и шириной We прорези, причем упомянутые эжекторы пара имеют одинаковую ось вращения.
Изобретение относится к технологии непрерывного нанесения покрытий из металла или металлического сплава. Способ непрерывного нанесения на движущуюся подложку S покрытий, сформированных по меньшей мере из одного металла, внутри установки 1 для вакуумного осаждения, содержащей вакуумную камеру 2, включает этап, на котором в упомянутой вакуумной камере 2 металлический пар выбрасывают через по меньшей мере один эжектор 3 пара на одну сторону движущейся подложки S1 и на упомянутой стороне формируют слой по меньшей мере из одного металла путем конденсации выброшенного пара, при этом по меньшей мере один эжектор 3 пара расположен под углом α между эжектором 3 пара и осью А, перпендикулярной направлению движения подложки S1, причем ось А находится в плоскости подложки S1, а угол α удовлетворяет следующему уравнению: где α по абсолютному значению больше 0°, D1 и D2 - это наименьшее расстояние между эжектором и каждым краем подложки вдоль оси A, Ws - ширина подложки, D1 и D2 имеют значение более 0 мм, т.е.
Изобретение относится к технологии непрерывного осаждения покрытий, сформированных из одного металла или металлического сплава. Способ непрерывного осаждения на перемещающуюся подложку S покрытий, сформированных по меньшей мере из одного металла внутри установки 1 для вакуумного осаждения, содержащей вакуумную камеру 2, включает этап, на котором в указанной вакуумной камере металлический пар выбрасывается через по меньшей мере два паровых эжектора 3, 3' в направлении к обеим сторонам перемещающейся подложки S, и слой по меньшей мере одного металла формируется на каждой стороне посредством конденсации выбрасываемых паров, причем по меньшей мере два паровых эжектора 3, 3', обращенных друг к другу, позиционируют соответственно под углами α и α', образованными между эжектором пара и осью А, перпендикулярной направлению перемещения подложки, ось которой находится в плоскости подложки S, причем оба угла α и α' удовлетворяют следующим уравнениям:где D1 и D2 - расстояния между эжекторами 3, 3 и каждым краем подложки S вдоль оси A, Ws - ширина подложки, упомянутые эжекторы пара имеют прямоугольную форму или трапециевидную форму и содержат прорезь, определяемую шириной We прорези, упомянутые эжекторы пара имеют одинаковую ось вращения.
Изобретение относится к способам крепления гибких металлических подложек к водоохлаждаемому подложкодержателю и может быть использовано для напыления тонких пленок, чувствительных к нагреву. Подложку выполняют гибкой с большим радиусом изгиба, выпуклой в сторону поверхности плоского водоохлаждаемого подложкодержателя и со стрелой прогиба в сторону потока напыляемого материала.
Распыляемая мишень из суперсплава // 2743536
Изобретение относится к металлургии, а именно к получению мишени из суперсплавов для катодного вакуумно-дугового нанесения покрытий. Мишень из суперсплава на основе порошка никеля или порошка кобальта для катодного вакуумно-дугового нанесения покрытий выполнена из легированного порошка суперсплава на основе никеля или кобальта, содержащего интерметаллические соединения, и имеет поликристаллическую структуру со случайной ориентацией зерен, при этом средний размер зерна в структуре мишени составляет менее 50 мкм, а пористость структуры составляет менее 10%.
Изобретение относится к устройству замены мишени, которое выполнено с возможностью легкой замены мишеней, используемых в способе PVD, и к установке для обработки поверхности, которая использует указанное устройство.
Изобретение относится к способу нанесения наноструктурированных и износостойких покрытий из высокоэнтропийных сплавов с термоупругими фазовыми превращениями методом магнетронно-плазменного напыления. Осуществляют травление поверхности детали низкотемпературной аргоновой плазмой при давлении 150-250 Па в течение 5-10 мин.
Изобретение относится к способу нанесения покрытия по меньшей мере из одного слоя TiCN на поверхность покрываемой подложки способом HiPIMS. Для осаждения по меньшей мере одного TiCN-слоя используют по меньшей мере одну Ti-содержащую мишень в качестве источника Ti для создания TiCN-слоя, которую распыляют в реакционной атмосфере HiPIMS-способом в камере для нанесения покрытий.
Изобретение относится к компоновочной схеме ионно-плазменного распыления, вакуумной установке для нанесения покрытий и способу для осуществления способов нанесения покрытий магнетронным распылением импульсами большой мощности.
Деталь с подложкой из монокристаллического суперсплава на основе никеля и способ её изготовления // 2738628
Группа изобретений относится к способу изготовления детали с подложкой из монокристаллического суперсплава на основе никеля с многослойным покрытием и глиноземным слоем, а также к упомянутой детали. Указанный способ включает изготовление подложки из монокристаллического суперсплава на основе никеля, формирование на подложке многослойного покрытия, содержащего по меньшей мере один слой первого типа, содержащий алюминий и платину, по меньшей мере один слой второго типа, содержащий алюминий, кремний и платину, и слой третьего типа, содержащий никель, алюминий, кремний и платину.
Изобретение о относится к устройству контроля и управления комплексом импульсного лазерного осаждения (ИЛО). Устройство содержит блок управления импульсным лазером, блок контроля параметров лазера, блок контроля температуры, блок управления температурой на подложке, блок контроля давления в камере осаждения, блок управления давлением в камере осаждения, блок контроля расстояния между подложкой и мишенью, блок управления расстоянием между подложкой и мишенью с соответствующими связями между собой и с комплексом ИЛО и блок предварительного имитационного моделирования процесса ИЛО кинетическим методом Монте-Карло с описанием движения и столкновений с поверхностью каждого отдельно взятого атома из потока осаждаемого вещества применительно к конкретной задаче, с возможностью проведения моделирования таких этапов процесса ИЛО, как поглощение излучения материалом мишени, образование и разлет газо-плазменного облака продуктов абляции, взаимодействие продуктов лазерной абляции с поверхностью подложки, формирование и рост пленки покрытия, с возможностью внесения настроек характеристик и свойств покрытия.
Способ нанесения градиентных жаростойких покрытий y-mo-o плазмы вакуумно-дугового разряда // 2728117
Изобретение относится к способу нанесения жаростойкого покрытия и может быть использовано для повышения надежности и долговечности широкого ряда деталей машин и инструмента. Осуществляют осаждение из плазмы вакуумно-дугового разряда с двух поочередно используемых однокомпонентных катодов Мо и Y на подложку из авиационных конструкционных сплавов.
Изобретение относится к устройству и способу нанесения покрытия с подвижной мишенью. Устройство содержит мишень-источник; несущую мишень-источник секцию, выполненную с возможностью переноса и приведения в движение мишени-источника; секцию инфракрасного измерения температуры, выполненную с возможностью измерения температуры поверхности мишени-источника; секцию инфракрасного нагрева, выполненную с возможностью нагрева мишени-источника; секцию управления, выполненную с возможностью приема сигнала измерения от секции инфракрасного измерения температуры и определения того, является ли температура поверхности мишени-источника равномерной или нет.
Изобретение относится к области остекления зданий. Техническим результатом является обеспечение возможности создания слоев различных цветов и в разных пропорциях без промежуточных потерь большого количества стекла.
Изобретение относится к нанесению износостойких покрытий на режущий инструмент и может быть использовано в металлообработке. Проводят вакуумно-плазменное нанесение многослойного покрытия.
Распыляемая мишень // 2717767
Группа изобретений относится к изготовлению распыляемой мишени. Предложен способ изготовления распыляемой мишени, в котором формируют расплавленную смесь, состоящую из соединений, выбранных из группы, включающей СоВ, FeB и CoFeB, заливают расплавленную смесь в форму для образования направленного литого слитка, выполняют отжиг и нарезают слиток для мишени, которая имеет чистоту выше 99,99%, содержание кислорода 40 мд или менее и сформированную боридами столбчатую микроструктуру.
Изобретение относится к получению соединений с углеродом и может быть использовано в водородной энергетике. Устройство для получения порошка, содержащего карбид молибдена, содержит камеру 1 из диэлектрического материала с крышкой 2 вверху, внутри которой горизонтально и соосно размещены цилиндрические графитовые анод 9 и катод 5.
Изобретение относится к области физики ультрадисперсных сред и нанотехнологии и может быть использовано при создании индикаторных матриц в различных датчиках и сенсорах плазмонного резонанса, эмиттерах, устройствах нано- и микроэлектроники, измерительной техники.
Изобретение относится к технологии создания двумерных магнитных материалов для сверхкомпактных спинтронных устройств. Способ получения дисилицида гадолиния GdSi2 со структурой интеркалированных слоев силицена методом молекулярно-лучевой эпитаксии заключается в осаждении атомарного потока гадолиния с давлением PGd (от 0,1 до менее 1)⋅10-8 Торр или PGd (от более 1 до 10)⋅10-8 Торр на предварительно очищенную поверхность подложки Si(111), нагретую до Ts=350 ÷ менее 400°С или Ts=более 400 ÷ 450°С, до формирования пленки дисилицида гадолиния толщиной не более 7 нм.
Источник для нанесения покрытия // 2707375
Изобретение относится к получению источника для нанесения покрытия посредством физического осаждения из паровой фазы. Источник для нанесения покрытия включает по меньшей мере слой мишени, состоящий из по меньшей мере двухфазного композита, который содержит металлическую фазу (М) и по меньшей мере одну дополнительную фазу (Р), и стабилизирующий механические свойства слой, который соединяют со слоем мишени с одной стороны слоя мишени.
Изобретение относится к устройству для непрерывного вакуумного нанесения покрытий на движущуюся подложку, причем покрытия образованы из металлических сплавов, содержащих основной элемент и по меньшей мере один дополнительный элемент, и к способам нанесения этого покрытия.
Изобретение относится к способу получения сегнетоэлектрической пленки Ba1-xSrxTiO3 и может быть использовано для мощной сверхвысокочастотной техники. На первом этапе распыляют мишень состава Ba0,4Sr0,6TiO3 на подложку карбида кремния в атмосфере кислорода при давлении 2 Па и температуре подложки 700-900°С в течение времени, достаточного для создания сплошного сегнетоэлектрического слоя.
Изобретение относится к способу упрочнения режущего инструмента осаждением мультислойных покрытий системы Ti - Al и может быть использовано в инструментальном производстве. Осуществляют размещение режущего инструмента в рабочей камере, активирование его поверхности перед осаждением мультислойных интерметаллидных покрытий системы Ti - Al.
Способ нанесения антифрикционного материала на основе полиэфирэфиркетона на стальную подложку // 2699609
Изобретение относится к способу изготовления антифрикционных материалов, которые могут быть использованы в любых отраслях промышленности для изготовления антифрикционных деталей, таких как подшипники скольжения, подпятники и т.п.
Стеклянный поддон для распылительных систем // 2698028
Изобретение относится к поддону для транспортировки одной или нескольких стеклянных подложек по существу в вертикальном положении через распылительную установки (варианты) и системе осаждения методом распыления.
