С использованием магнитного поля, например распыление магнетроном (C23C14/35)

Отслеживание патентов класса C23C14/35
C23   Покрытие металлических материалов; покрытие других материалов металлическим материалом (металлизация текстильных изделий D06M11/83; декоративная обработка текстильных изделий местной металлизацией D06Q1/04); химическая обработка поверхности; диффузионная обработка металлического материала; способы покрытия вакуумным испарением, распылением, ионным внедрением или химическим осаждением паров вообще (для специфических целей см. соответствующие классы, например для производства резисторов H01C17/06); способы предотвращения коррозии металлического материала, образования накипи или корок вообще (обработка металлических поверхностей или покрытие металлов электролитическим способом или способом электрофореза C25D,C25F) (12971)
C23C14/35              С использованием магнитного поля, например распыление магнетроном(221)

Составная мишень для магнетронного распыления // 2695716
Изобретение относится к составной мишени для магнетронного распыления. Мишень содержит плоскую нижнюю базовую часть, изготовленную из первого компонента осаждаемого на подложку материала пленки, и как минимум одну размещенную на указанной нижней базовой части верхнюю накладную часть, изготовленную из второго компонента осаждаемого на подложку материала пленки и имеющую площадь распыляемой поверхности, обеспечивающую требуемую мольную долю этого компонента в составе осаждаемого на подложку как минимум двухкомпонентного материала пленки.

Режущий инструмент с покрытием и способ изготовления режущего инструмента с покрытием // 2695686
Настоящее изобретение относится к режущему инструменту с покрытием для механической обработки металла, такой как механическая обработка с формированием стружки, к способу изготовления указанного режущего инструмента с покрытием и режущей пластине, выполненной в виде режущего инструмента с покрытием.

Плазменно-иммерсионная ионная обработка и осаждение покрытий из паровой фазы при содействии дугового разряда низкого давления // 2695685
Изобретение относится к системе для плазменного напыления покрытий (варианты) и установке для плазменного напыления покрытий (варианты).

Способ получения наноструктурированных покрытий из карбидов тугоплавких металлов // 2694297
Изобретение относится к способам нанесения покрытий из карбидов и тугоплавких металлов на подложку магнетронным распылением.

Устройство для ионно-плазменного напыления // 2691357
Изобретение относится к области нанесения металлических и полупроводниковых пленок в вакууме поочередным или одновременным распылением наносимого материала и может быть использовано для покрытия деталей, используемых в изделиях электронной, приборостроительной и оптической отраслях промышленности.

Способ нанесения защитных покрытий и устройство для его осуществления // 2691166
Изобретение относится к области нанесения защитных покрытий. Может применяться для получения керамического слоя теплозащитных покрытий на изделия авиационной техники, преимущественно на рабочих и сопловых лопатках турбин из жаропрочных литейных сплавов.

Устройство и способ для нанесения покрытий на протяженные изделия // 2686399
Изобретение относится к нанесению покрытий на цилиндрические конструкционные изделия, преимущественно на тепловыделяющие элементы (твэлы) для ядерного реактора.
Вакуумно-дуговой способ нанесения покрытия // 2685913
Изобретение относится к способу нанесения покрытий вакуумно-дуговым испарением и может быть использовано при производстве триботехнических изделий и металлорежущего инструмента с функциональными покрытиями из легированных карбидных соединений.

Устройство для нанесения покрытия вакуумно-дуговым испарением // 2685828
Изобретение относится к устройствам для нанесения покрытий вакуумно-дуговым испарением и может быть использовано при производстве триботехнических изделий и металлорежущего инструмента с функциональными покрытиями легированных карбидных соединений.

Способ нанесения нанопленочного покрытия на подложку // 2681587
Изобретение относится к способу нанесения нанопленочного покрытия на подложку и может быть использовано для получения нанопокрытий на поверхностях различных подложек при невысокой температуре.

Способ получения прозрачного износостойкого покрытия на основе борида алюминия-магния на поверхности прозрачных стеклянных изделий // 2680548
Изобретение относится к области прозрачных износостойких сверхтвердых покрытий, наносимых на прозрачные изделия, и может быть использовано для защиты стекла от царапания и износа в оптических устройствах и экранах дисплеев.

Способ получения износостойкого покрытия на основе борида алюминия-магния // 2677810
Изобретение относится к области износостойких покрытий на основе соединения борида алюминия–магния и может быть использовано для изготовления инструмента и различных деталей.

Способ напыления электропроводящего металл-углеродного многослойного покрытия на ленточную подложку из нетканого волокнистого материала // 2677551
Изобретение относится к напылению электропроводящего металл-углеродного многослойного покрытия на ленточную подложку из нетканого волокнистого материала, включающему подачу рабочего газа в вакуумную камеру с подложкой и ионно-плазменное напыление слоев покрытия на движущуюся с постоянной скоростью ленточную подложку магнетронным распылением.

Способ магнетронного распыления составной мишени // 2677032
Изобретение относится к магнетронному распылению составной мишени, выполненной из плоской нижней базовой части и, по меньшей мере, одной верхней накладной части мишени, изготовленных из двух компонентов осаждаемого на подложку материала пленки.

Слои tixsi1-xn и их получение // 2674179
Изобретение относится к способу нанесения покрытия на заготовку (варианты). Выполняют покрытие, содержащее по меньшей мере один слой TixSi1-xN, где x≤0,85.

Корончатый подложкодержатель // 2673253
Изобретение относится к области устройств, используемых для нанесения на изделия нанопокрытий методом магнетронного распыления.
Регулирование уровня блеска пластмассовых основ с металлизированной отделкой // 2672058
Изобретение относится к способу получения компонента с заданным уровнем блеска. Способ включает этапы: подготовка компонента с по меньшей мере одним металлическим слоем, где данный по меньшей мере один металлический слой образует поверхность компонента, получение матово-глянцевой смеси путем смешения глянцевого лака и матового лака в заранее определенном соотношении, нанесение матово-глянцевой смеси на металлическую поверхность компонента, сшивка матово-глянцевой смеси, так что на металлической поверхности компонента оказывается нанесен слой из сшитой смеси глянцевого лака и матового лака.

Способ получения пленок пористого кристаллического диоксида олова // 2671361
Изобретение относится к способам формирования пористого оксидного материала и может быть использовано для разработки анодных материалов литий-ионных батарей и суперконденсаторов нового поколения, чувствительных элементов газовых сенсоров.

Способ комбинированного плазменного упрочнения поверхности изделий из титановых сплавов // 2671026
Изобретение относится к области металлургии, в частности к плазменной химико-термической обработке титановых сплавов, и может быть использовано в машиностроении для повышения износостойкости и коррозионной стойкости деталей машин.

Способ настройки магнетронного распыления составной мишени // 2664350
Изобретение относится к магнетронному распылению составной мишени с частями, изготовленными из отдельных компонентов осаждаемого на подложку материала пленки.

Распылительный блок магнетрона для осаждения пленок твердых растворов fexti(1-x)o2 в диапазоне 0<x<0,6 // 2664009
Изобретение относится к распылительному блоку магнетрона для осаждения пленок твердых растворов FexTi(1-x)O2 в диапазоне 0<х<0,6 на поверхности металлов, стекол или керамики.

Осаждение из паровой фазы для нанесения покрытия с погружением в дуговую плазму низкого давления и ионная обработка // 2662912
Изобретение относится к системе и способу нанесения покрытия. Система включает вакуумную камеру и узел для нанесения покрытия.

Способ создания прозрачных проводящих композитных нанопокрытий (варианты) // 2661166
Изобретение относится к способу создания прозрачных проводящих композитных нанопокрытий (варианты). По первому варианту предварительно осуществляют химическое осаждение на нагретую подложку тонкой пленки углеродных нанотрубок.

Способ получения тонких магнитных наногранулированных пленок // 2661160
Изобретение относится к способу получения тонких магнитных наногранулированных пленок. Способ включает последовательное осаждение на термостойкую подложку тонкой пленки оксида ферромагнитного металла и слоя металла-восстановителя при комнатной температуре с последующим вакуумным отжигом полученной двухслойной пленки.

Способ изготовления изделий из композиционных материалов с отражающим покрытием // 2660863
Изобретение относится к области производства радиотехнических устройств космической и авиационной техники и касается способа изготовления изделий из композиционных материалов с отражающим покрытием.

Способ нанесения смешанного углеродно-азотного защитного покрытия для повышения коррозионной стойкости железа // 2659537
Изобретение относится к способам защиты металлов от коррозии, в частности к способу нанесения защитного покрытия на подложку из железа, и может быть использовано для изготовления изделий и деталей, работающих в агрессивных средах, для нефтяной, газовой, химической и других отраслей промышленности.

Способ получения пленок теллурида кадмия магнетронным распылением на постоянном токе // 2657275
Изобретение относится к способу получения тонких пленок теллурида кадмия. Способ включает предварительный подогрев поверхности распыляемой мишени из теллурида кадмия до заданной температуры и ее магнетронное распыление на постоянном токе.

Устройство для осаждения покрытий // 2656480
Изобретение относится к машиностроению, в частности к устройствам для осаждения износостойких покрытий на изделиях в вакуумной камере.

Магнетронная распылительная головка // 2656318
Изобретение относится к магнетронной распылительной головке. Охлаждаемая магнитная система магнетронной распылительной головки состоит из магнитов и магнитопровода и оснащена каналами охлаждения.

Устройство для синтеза и осаждения металлических покрытий на токопроводящих изделиях // 2649904
Изобретение относится к машиностроению, в частности к устройствам для синтеза и осаждения металлических покрытий на токопроводящих изделиях в вакуумной камере.

Плазменно-дуговое устройство формирования покрытий // 2642237
Изобретение относится к плазменно- дуговому устройству для формирования покрытий и может быть эффективно использовано при формировании защитных и биосовместимых слоев дентальных и ортопедических имплантатов, при изготовлении технологических слоев электролитических ячеек тонкопленочных интегральных аккумуляторов и в химических реакторах, которые работают в агрессивных средах и в условиях высоких температур.

Способы, использующие удаленную плазму дугового разряда // 2640505
Изобретение относится к способу и системе для нанесения покрытий на подложку. В системе узел нанесения покрытия расположен внутри вакуумной камеры.

Устройство для нанесения покрытий на подложки в вакууме // 2634833
Изобретение относится к технологии нанесения нанопленок в вакууме и может быть использовано в производстве изделий микроэлектроники.

Устройство для нанесения покрытий в вакууме // 2634534
Изобретение относится к устройствам для нанесения покрытий в вакууме. Устройство содержит плоскую мишень, установленную на основании, первую магнитную систему, расположенную внутри корпуса с первым каналом водяного охлаждения, источник питания электрического разряда и источник ионов газа.

Способ контроля скорости формирования тонких пленок на различном расстоянии от источника материала // 2633687
Изобретение относится к технологии тонких пленок и может быть использовано при отработке технологии получения пленок, когда необходимо определить скорости напыления пленок в зависимости от расстояния источника материала-подложка.Техническим результатом изобретения является ускорение процесса контроля толщины скорости формирования пленки за счет упразднения дополнительных операций: вакуумизации камеры, перемещения подложки на новое расстояние мишень-подложка, формирование пленки, разгерметизация камеры.

Магнетронная распылительная система с инжекцией электронов // 2631553
Изобретение относится к плазменной технике, в частности к магнетронным распылительным системам, и может быть использовано для нанесения покрытий методом магнетронного распыления металлической мишени в вакууме.

Способ изготовления балки с заданным изгибом // 2630528
Использование: для изготовления микро- и наномеханических балок, обладающих заданным изгибом. Сущность изобретения заключается в том, что способ включает нанесение жертвенного слоя на подложку, последовательное нанесение двух или более слоев материала балки, отличающихся величиной внутренних механических напряжений, формирование балки на поверхности жертвенного слоя с помощью фотолитографии и травления материала балки, удаление жертвенного слоя из-под балки, нанесение слоев материала балки выполняют методом высокочастотного магнетронного распыления мишени, а разные внутренние механические напряжения в слоях обеспечивают за счет разных значений напряжения постоянного смещения на подложке, при которых наносят слои, при этом заданный изгиб балки достигают путем подбора толщин слоев материала балки, значений напряжения смещения и количества слоев.

Способ нанесения покрытия для осаждения системы слоев на подложку и подложка с системой слоев // 2630090
Изобретение относится к многослойному покрытию, сформированному на подложке из слоев твердых материалов, и к способу его формирования.

Узел катода магнетронного распылителя // 2627820
Изобретение относится к узлу катода магнетронного распылителя. Узел содержит мишень 1, закрепленную в стенках корпуса 4, первый электростатический экран 7, установленный с внешней стороны стенок корпуса 4 и основания 5.

Устройство оптического нагрева образца в установках магнетронного напыления // 2626704
Изобретение относится к установке магнетронного напыления тонких пленок из карбидов или нитридов кремния на подложку, выполненную из полупроводникового материала, керамики или стекла.

Устройство для синтеза и осаждения покрытий // 2620845
Изобретение относится к области машиностроения, в частности к устройствам для синтеза и осаждения износостойких покрытий на изделиях в вакуумной камере.

Способ ионно-плазменного нанесения износостойкого и коррозионностойкого покрытия на изделия из алюминиевых сплавов // 2612113
Изобретение относится к способу ионно-плазменного нанесения износостойкого и коррозионностойкого покрытия на изделия из алюминиевых сплавов.
Способ получения аморфных пленок халькогенидных стеклообразных полупроводников с эффектом фазовой памяти // 2609764
Изобретение относится к способу получения тонких аморфных пленок халькогенидных стеклообразных полупроводников с эффектом фазовой памяти и может быть использовано в качестве рабочего слоя в устройстве энергонезависимой фазовой памяти для электронной техники.

Стекло с оптически прозрачным защитным покрытием и способ его изготовления // 2608858
Изобретение относится к стеклу с оптически прозрачным покрытием и способу его изготовления и может быть использовано при изготовлении оптических элементов космических аппаратов.
Способ формирования на поверхности изделия из никелевого сплава композитного покрытия // 2607677
Изобретение относится к напылению теплозащитных покрытий и может быть использовано в авиастроении и других областях машиностроения при производстве деталей турбинных двигателей и установок.
Способ нанесения теплозащитного композитного покрытия // 2607056
Изобретение относится к напылению теплозащитных покрытий и может найти применение в авиастроении и других областях машиностроения при производстве деталей турбинных двигателей и установок.
Способ формирования на рабочей поверхности детали из никелевого сплава теплозащитного нанокомпозитного покрытия // 2606826
Изобретение относится к напылению теплозащитных покрытий и может быть использовано в авиастроении и других областях машиностроения при производстве деталей турбинных двигателей и установок.
Теплозащитное нанокомпозитное покрытие и способ его формирования // 2606814
Изобретение относится к напылению теплозащитных покрытий и может быть использовано в авиастроении и других областях машиностроения при производстве деталей турбинных двигателей и установок.

Установка карусельного типа для магнетронного напыления многослойных покрытий и способ магнетронного напыления равнотолщинного нанопокрытия // 2606363
Изобретение относится к способу магнетронного напыления многослойного равнотолщинного покрытия и установке для его осуществления и может быть использовано для получения оптических покрытий на поверхности оптических подложек.

Нанослойное покрытие для высококачественных инструментов // 2602577
Изобретение относится к нанослойному покрытию режущего инструмента и способу его нанесения на режущий инструмент.
 
.
Наверх