Сверхвысоковакуумный клапан

 

1. СВЕРХВЫСОКОВАКУУМНЫЙ КЛАПАН, содержащий корпус, в котором размеп ен связанный с герметизированным штоком запорный орган и механизм нагружения с последующей частичной разгрузкой , отличающийся тем, что, с целью повышения точности регулирования усилия герметизации и последующей разгрузки, клапан снабжен резьбовой крышкой, а механизм нагружения выполнен винто-рычажным , рычаги которого соединены с резьбовой крышкой и штоком, причем разность между длиной рычага и его проекцией на вертикальную ось в открытом положении клапана равна максимальному ходу штока. (Л Од 00 4ib СО

09} (11) СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

Э(511 Г 16 5| 02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

Г10 ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3298683/25-08 (22) 11.06.81 (46) 23.03.83. Бюл. № 11 (72) И. Ф. Лобанов, А. С. Шувалов, H. С. Вагин и P. И. Фишман (53) 621.646(088.8) . (56) 1. Байкова Г. Г., Жукова В. А,, Малеев А. Н., Холодов A. И. Малогабаритные высоковакуумные клапаны с ручным приво- . дом. «Приборы и техника эксперимента», 1980, № 1, с. 243 — 244.

2. Авторское свидетельство СССР по заявке № 3227754/25-08, кл. F 16 К 51/02, 1980. (54) (57) 1. СВЕРХВЪ|СОКОВАКУУМНЫИ КЛАПАН, содержащий корпус, в котором размещен связанный с терметизированным штоком запорный орган и механизм нагружения с последующей частичной разгрузкой, отличающийся тем, что, с целью повышения точности регулирования усилия герметизации н последующей разгрузки, клапан снабжен резьбовой крышкой, а механизм нагружения выполнен винто-рычажным, рычаги которого соединены с резьбовой крышкой и штоком, причем разность между длиной рычага и его проекцией на вертикальную ось в открытом положении клапана равна максимальному ходу штока.

1006843

2. Клапан по п. 1, отличающийся тем, что один из рычагов снабжен регулировочным

Изобретение относится к машиностроению, а именно к элементам вакуумных систем, и может быть использовано в электронной промышленности, химической и других отраслях народного хозяйства.

Известна конструкция цельнометаллического прогреваемого в закрытом положении сверхвысоковакуумного клапана, содержащая корпус с присоединительными фланцами, силовой привод, сильфонный узел со штоком и уплотнительной заслонкой (1) .

Однако данная конструкция не обеспечивает последующей за уплотнением разгрузки в пределах силового цикла.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является сверхвысоковакуумный клапан, содержащий корпус, в котором размещен связанный с герметизированным штоком запорный орган и механизм нагружения с последующей частичной разгрузкой (2).

Недостатком известного устройства является неточное регулирование усилия герметизации и последующей разгрузкой, так как зависимость перемещения запорного органа от угла поворота имеет линейный характер, что не позволяет обеспечить точную регулировку усилия герметизации и последующей разгрузки, так как требует очень мелкого шага резьбы.

Цель изобретения — повышение точности регулирования усилия герметизации и последующей разгрузки.

Цель достигается тем, что клапан снабжен резьбовой крышкой, а механизм нагружения выполнен винто-рычажным, рычаги которого соединены с резьбовой крышкой и штоком, причем разность между длиной рычага и его проекцией на вертикальную ось в открытом положении клапана равна максимальному ходу штока.

Кроме того, один из рычагов снабжен регулировочным винтом, установленным с

Упором в соседний рычаг.

На фиг. 1 приведен клапан, разрез; на фиг. 2 — график, отражающий зависимость перемещения запорного органа от угла поворота привода.

Устройство содержит корпус 1 с присоединительными фланцами, сильфонный узел

2, шток 3, запорный орган 4 с центрирующевинтом, установленным .с упором в соседний рычаг.

2 запирающим устройством 5, резьбовую крышку 6, верхний опорный диск 7, нижний опорный диск 8, рычаги 9 и 10, силовой винт 11, регулировочный винт 12, седло 13, гайки 14.

Клапан работает следующим образом.

При вращении силового винта 11 с правой и левой резьбой гайки 14 движутся навстречу друг другу (закрытие клапана). Момент, когда рычаги 9 и 10 занимают вертикальное положение, соответствует герме1О тизации клапана. При последующем вращении винта 11 гайки 14 продолжают сходиться, рычаги, закрепленные на опорных дисках 7 и 8, на расстоянии, большем ширины рычагов 9 и 10, проходят мертвую точ>5 ку и начинают разгружать уплотнение. Величина разгрузки регулируется винтом 12, закрепленным в одном из рычагов 10 и упирающимся в соседний 9. Винт 12 не является силовым, так как в пределах малых углов разгрузки на него действует небольшая сила, что позволяет выполнить его с небольшим шагом. Величина максимальной деформации материала запорного органа 4 регулируется вращением резьбовой крышки

6 клапана, на которой закреплен механизм нагружения через верхние рычаги 9. Винт

11 выполнен плавающим.

Для предотвращения растекания материала запорного органа 4 и точного центрирования проф14ля уплотнения служит

30 центрирующе-запирающее устройство 5, которое контактирует с седлом 13.

Данная конструкция позволяет более точно регулировать усилие герметизации и последующую нагрузку, так как винт 12 имеет малый шаг; минимальное перемещение заслонки в момент герметизации обеспечивается при больших углах поворота приводного винта. В этом случае зависимость перемещения h от угла А определяется зависимостью h=lsinot, где 1 — длина серьги, и

40 имеет вид, показанный на фиг. 2, что более полно соответствует теоретическому рабочему циклу клапана.

Конструкция позволяет более точно регулировать усилие герметизации и последую45 щую разгрузку, что повышает долговечность и надежность по герметичности устройства.

1006843

Фиг. Z

Составитель М. Кольцова

Редактор С. Патрушева Техред И. Верес Корректор М. Демчик

Заказ 2092 59 Тираж 923 Поднисное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

1 l3035, Москва, )К вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4