Способ получения четыреххлористого кремния

 

Способ получения четыреххлористого кремния из отходов производства кремния, содержащих полисиланхлориды, включающий хлорирование отходов газообразным хлором при повышенной температуре, отличающийся тем, что, с целью снижения энергоемкости процесса и его упрощения, хлорирование проводят в две стадии, на первой стадии при 20 - 25oC, а на второй при 250 - 500oC.



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к способам получения соединения кремния, в частности тетрахлорсилана

Изобретение относится к технологии получения поликристаллического полупроводникового кремния из природных кремнийсодержащих концентратов

Изобретение относится к химической промышленности и может быть использовано при производстве кремния
Наверх