Способ получения четыреххлористого кремния
Авторы патента:
Способ получения четыреххлористого кремния из отходов производства кремния, содержащих полисиланхлориды, включающий хлорирование отходов газообразным хлором при повышенной температуре, отличающийся тем, что, с целью снижения энергоемкости процесса и его упрощения, хлорирование проводят в две стадии, на первой стадии при 20 - 25oC, а на второй при 250 - 500oC.
Похожие патенты:
Способ получения гексахлордисилана // 987916
Способ получения тетрахлорсилана // 953798
Изобретение относится к способам получения соединения кремния, в частности тетрахлорсилана
Спосособ получения дихлорсилана // 656967
Способ получения силанов // 2152902
Изобретение относится к технологии получения поликристаллического полупроводникового кремния из природных кремнийсодержащих концентратов
Способ получения кремния // 2415809
Изобретение относится к химической промышленности и может быть использовано при производстве кремния
Способ получения октахлортрисилоксана // 1241643