Ионный источник масс-спектрометра

 

йодный ИСТОЧНИК МАСС-СПЕКТРОМЕТРА , срдержащий испаритель, ио низатор и щелевую ионно-оптическую . систему с вытягивакнцим электродом, отличающийся тем, что, с цепью повышения воспроизводимости результатов анализа, между ионизато-ром и вытягивающим электродом установлен дополнительный электрод, эдекч трически соединенный с ионизатором и жестко связанный с вытягивающим электродом.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

\СОЭЛЮ\М

РЕСПУБЛИК

Р1)Ю Н 01 J 27/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ fHHT СССР

Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3327370/18-25 (22) 03,08.81 (46) 07.02.91. Бюп,,У 5 (72) Л.Л.Чилипенко (53), 621. 35 (088. 8) (56) Самсонов С.П., Кутявкн Э.П. Од- ноленточный источник ионов для массспектрометра ИИ-1305. "Приборы и техника эксперимента", 1973, И 2, с. 255.

Галль Л.Н, и др. Трехленточный ис- точник ионов. Журнап технической фи-,. зики, т. 32, 1962 с. 202.

Изобретение относится к области масс-снектрометрии и может быть ис- . пвльзовано для прецизионного анализа образцов твердой фазы.

Известны ионные источники массспектрометра поверхностного типа,, содержащие, ленту с образцом и ионнооптическую систему.

Недостатком этих источников является изменение их геометрии при проведении опытов, требукицих разборки источника и замены ленты.

Ближайшим техническим решением к предпоженному является ионньФ источник масс-спектрометра, содержащий испаритель с исследуемыми образцами, ионнзатор и щелевую ионно-оптическую систему с вытягивающим элек-тродом.

Этот источник — трехленточный, . что обеспечивает его преимущества по сравнению с одноленточными, Однако источник имеет невысокую воспроизво..SU„„1029786, А1

2 (54) (57) иоцньй источник иЛСс-СпкКТРОЮТРА, содержащий испаритель, ио:низатор и щелевую ионно-оптическую систему. с вытягивакицим электродом, отличающий сятем, что, с целью повышения воспроизводимости 1 результатов анализа, между ионизатором и вытягивающим электродом установлен дополнительный электрод элек трически соединенный с ионизатором .и жестко связанный с вытягивающим электродом. димость результатов измерений иэ-за изменения пространственного положения лент при переборке и искажений в ре" зультате этого электрического поля в области формирования ионного пучка.

Целью изобретения является повы- шение воспроизводимости результатов анализ а.

Дпя достижения этой цели в известном источнике масс-спектрометра, содержащем испаритель, ионизатор и щелевую ионно-оптическую систему с вЫтягивающим электродом, между иониза-; тором и вытягивающим электродом установлен дополнительяай электрод, электрически соединенный с ионизатором и жестко связанный с вытягивающим электродом.

На чертеже изображен предлагаежй I источник

На нижнем стакане 1 серийного ис1 точника установлены ленты ионнзатора

2 И ИРПЛПИт&Ля Ч. ИОЯРi-л ix ronv ct

10297S6 система смонтирована на верхнем, съемном стакане 4. Дополнительный электрод 5, аналогичный вытягивающему электроду 6, закреплен непосредственно на нем с помощью изоляционных втулок так, чтобы расстояние h между лентами испарителя и данным электродом составляло 0,5 мм. Ширина щели дополнительного электрода приблизительно равна ширине щели вытягивающего электрода: точнее значение ее подбирается экспериментально. Дополнительный электрод находится под потенциалом ионизатора. f5

Действие дополнительного электрода заключается в следующем.

При наличии дополнительного электрода, установленного межцу ионно-оптической системой и испарителем с:ио- 20 .низатором, имеются погрешности установки лент только по отношению к этому электроду. А так как потенциалы дополнительного электрода и лент, равны, различия в пространственном их положении 25 относительно друг друга не приводят к изменению электрического поля в этой области. С другой стороны, поскольку дополнительйыЪ электрод жестко

° связан с вытягивающим электродом, и g0 их взаимное расположение не нарушается в процессе разборки и перезарядки источника, электрическое поле и в этой области всегда сохраняется неизменным. В результате электрическое поле ионно-оптической системы не saвисит от геометрии лент, и влияние их пространственного положения на точ" ность измерений практически исключается, что резко увеличивает воспроизводимость результатов анализа и существенно упрощает процесс юстировки источника.

В таблице представлены данные измерений изотопного состава одного и того же образца рубидия, выполненных с использованием предлагаемого ионного источника (источник Р l) и известного источника (источник У 2).

В

Р опы- Изотопное отношение Rb/ Rb

Источник У 1 Источник У 2

2,677 -0 002

2,676+0,002

" 676+0,002

2 ° 677+0 002

2,676+0,002

2, 676+0, 0002

2,67l+0 002

2,660+0, 002

2 688+О,ОО2

2,680+0,002

2,674 0,002

2,668+0,.002

3

5

Как видно из таблицы, воспроизводимость результатов анализа, проведенного нредложенвым йсточником, выше, чем при использовании известного источника.

Установка дополнительного электрода к снижению "светосилы" источника не приводит. Изобретение позволяет повысить воспроизводимость результатов анализа и упростить процедуру юстировки источника после переборок.

Ионный источник масс-спектрометра Ионный источник масс-спектрометра 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к устройствам для получения интенсивных пучков ионов большой площади поперечного сечения произвольной формы с равномерным распределением плотности тока по сечению пучка, которые могут быть использованы для различных технологических операций в высоком вакууме (например, травление, нанесение тонких пленок, легирование), а также в ускорительной технике

Изобретение относится к газоразрядной плазменной технике и технологии, в частности к устройствам генерации низкотемпературной газоразрядной плазмы в больших объемах

Изобретение относится к ионно-оптическим ускорителям ионов и может быть использовано в ионных двигателях

Изобретение относится к области ускорительной техники и может быть использовано для получения мощных, высокооднородных пучков ленточной геометрии

Изобретение относится к электрофизике, в частности к системам, служащим для получения потоков частиц, используемых, например, для вакуумного нанесения тонких пленок

Изобретение относится к области электронной техники и может найти применение при изготовлении интегральных схем с большой информационной емкостью методом литографии, а также в других процессах прецизионной обработки поверхности материалов ионным лучом, например нанесение на субстрат рисунков с изменением в нем поверхностных свойств материалов, в частности изменение типа проводимости в полупроводниковых материалах путем внедрения легирующих ионов, изменение других физических свойств материала за счет внедрения одноименных и инородных ионов, создание на поверхности новых слоев в результате осаждения атомов вещества из окружающих паров облака под влиянием падающих ионов, удаление вещества с поверхности субстрата в результате его распыления

Изобретение относится к технике получения импульсных мощных ионных пучков

Изобретение относится к ионным источникам и может быть использовано в масс-спектрометрии для элементного анализа жидкостей и газов, в ионной технологии и т.д

Изобретение относится к ионным источникам с закрытым дрейфом электронов, которые могут быть использованы в качестве двигателей, в частности, для космических кораблей, либо в качестве ионных источников для промышленных операций, например нанесение покрытий напыления в вакууме

Изобретение относится к ионным источникам для циклотронов (внутренним, закрытого типа) и может использоваться в циклотронной технике
Наверх