Способ соединения стекла с металлом

 

СПОСОБ СОЕДИНЕНИЯ СТЕКЛА С МЕТАЛЛОМ путем изготовления стеклянной заготовки по порошковой технологии , нагрева и последующего охлаждения металлостеклянной сборки, отличающийся тем, что, с целью повышения качества одновременного Слая стекла со сталью и коваром, стеклянную заготовку изготавливают из стекла молибденовой группы с коэффициентом термического расширения () 10 1-/град., нагрев осуществляют до температуры 1000-1020 с в течение 1,5-2 ч, выдерживают при этой температуре 5-15 мин, после чего охлаждают со скоростью 2-3°С/мин до 200-250 С, а затем с выключенной печью.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (19) (11) 3(51) С 0 С 2 /02

1 )

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPGHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР по делАм изОБРетений и ОтнРытий (21) 3263566/29-33 (22) 19.03.81 (46) 30.09.83. Бюл. 1(36 (72) Л.В. Кондакова, Р.С. Коршунова, В.А. Михайлова и В.Г. Ипатов (53) 666. 1 ° 037.5(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

N 804588, кл. С 03 С 27/00, 1978.

2. Роус Б. Стекло в электронике.

M., "Советское радио", 1969, с, 121123 °,(54)(57) СПОСОБ СОЕДИНЕНИЯ СТЕКЛА

С МЕТАЛЛОМ путем изготовления стеклянной заготовки по порошковой технологии, нагрева и последующего охлаж дения металлостеклянной сборки, о т .л и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения качества одновремен" ного спая стекла со сталью и коваром, стеклянную заготовку изготавливают из стекла молибденовой группы с коэффициентом термического расширения (48-52) 10 (1-/град., нагрев осуществляют до температуры 1000- 1020 С в тео чение 1,5-2 ч, выдерживают при этой .температуре 5- 15 мин, после чего охлаждают со скоростью 2"3 С/мин до

О

О

200-250 С, а затем с выключенной печью.

Составитель С. Белобокова

Техред А.Ач Корректор И, Ватрушкина

Редактор В, Петраш

Тираж 486 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 7455/20

Филиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул, Проектная, 4

1 10446

Изобретение относится к полупроводниковой технике, конкретно к спо". собам получения спаев между стеклом и различными материалами, в частности сталью и коваром. 5

Известен способ изготовления узлов из стекла и ковара, включающий никелирование ковара на участка <, не подлежащих спаиванию со стеклом, на толщину 18-24 мкм, обезгаживающий отжиг 10 и спаивание ковара со стеклом, причем спаивание ведут в защитной среде при

940-1000 С в течение 5- 10 мин, а охо лаждение до 650-700 С осуществляют

О

B защитной среде, после чего в среде водорода (1) .

Данный способ трудоемок, так как имеет место предварительная металлиэация, а для осуществления способа используют защитную среду и среду водорода, Наиболее близким к предлагаемому является способ соединения металла со стеклом, включающий изготовление стеклянной заготовки по порошковой 25 технологии, нагрев и последующее охлаждение сборки )2) .

Известный способ предназначен для соединения стекла с одинаковыми по KTP металлами, ЗО

Цель изобретения - повышение качества одновременного спая стекла со сталью и коваром, Поставленная цель достигается тем, что согласно способу соединения стек-З5 ла с металлом путем изготовления стеклянной заготовки по порошковой технологии, нагрева и последующего охлаждения металлостеклянной сборки, стеклянную заготовку изготавливают иэ стекла О молибденовой группы с коэффициентом термического расширения (48-52) "

-7

110 1/град.,нагрев осуществляют до температуры 1000-1020 С в течение

1,5-2 ч, выдерживают при этой темпе- 45

10 2 ратуре 5-15 мин, после чего охлаждают со скоростью 2-3 С/мин до 200"250 С, а затем с выключенной печью.

На чертеже представлена схема, поясняющая предлагаемый способ, Пример 1. Собранный и установленный в графитовую кассету узел, содержащий стеклотаблетку 1 из стекла марки С 48-2 (OC1 11027.010-75), обечайку 2 из стали и гермоввод 3 из ковара, помещают в холодную герметич.ную печь сопротивления, Нагрев ведут до 1000 С в течение 1,5 ч. Делают вы дерику при этой температуре в течение

15 мин, далее снижают температуру до

200 С со скоростью 2 С/мин, а затем о ведут охлаждение вместе с выключенной печью.

Пример 2. Подготовительные операции те же, что и в примере 1.

Нагрев осуществляется до 1020 С в течение 2 ч, далее следует выдержка при этой температуре в течение 5 мин, затем заваренный узел охлаждают до

250 С со скоростью 3 С/мин, а далееа о вместе с выключенной печью, Полученные спаи обладают следующими свойствами: о

Термостойкость спая, С 200

Вакуумная плотность

-r спал, торр 10 — 1О

Механические испытания: вибропрочность Все спаи в диапазоне сохранили частот 10-2000 Гц герметичи ускорение 15 9 ность в течение 5 ч термоциклирование То же от +100 до — 60 С (5 циклов)

Использование предлагаемого способа позволит упростить технологию изготовления полупроводниковых приборов, повысить их термостойкость и герметичность,