Токоподводящий узел к резистивному нагревателю

 

69) (И) СОЮЗ СОВО СНИХ

ССЦ44МОЮ

359 Н 05 В 3 08

1 (, ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР Ю ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ н ав есиоии.еаидвтввствм

I (21 ) 3463881/24+07 (22) .62 07.82 ,(46.) 0:7 ° 61. 84. Бюл. 9 1 .(72") С, Н. Аманян, П. A. Арсеньев, Х. С. Вагдасаров и A. И. КеворкОв (71) Московский ордена Ленина и ордена Октябрьской Революции энергетичес-:. кий;институт (53):621 . 3. 036. 662(088.. 8). (56 ): 1. Патент. Англии Р 1395997, кл. Н 2 Е, 1975. 2. Патент ФРГ 9 1106888, кл. 21 h 2/02, 1961.

З.-АВторское, свидетельство СССР :В 616713, Кл. Н 05 В 3/08. 1978. (54}(57 );ТОКОПОДВОДЯЩНЯ УЗЕЛ К РЕ3ИСТКВНОМУ НАГРЕВАТЕЛЮ, содержащий стержйевой токоввод, связанный с резистивным нагревателем через. симметрично изогнутые компенсирующие упругие пластины, один конец которых жестко прикреплен к тсйовводу, . о тл и ч а ю шийся тем,.wc, с це-. лью повышения надежности компенсации путем уменьшения линейных деформаций и скоса нагревателя в установках для выращивания высокотемпературных моиокристаллов, к одному концу нагревателя прикреплен переходной элемент, к которому с другой стороны присоеди-. нены вторые концы упругих компенсирующих пластин дугоОбразной формы„ а в переходной элемент заглублена и жестко связана с .ним изоляционная втулка, сквозь которую проходит уста Е

Ф новленный с зазором токоввод, параллельный оси .нагревателя.

1066041

Иэобретение относится к электро- технике, точнее к Реэистивным нагревателям, и может быть применено в печах для высокотемпературной плавки материалов, на установках по выращиванию высокотемпературных монокристаллов.

Известен нагревательный узел, в котором нагреватель подключен к токовводу через деформированную пружину из токопроводящего .материала, эа- tO крепленную симметрично относительно нанагревателя на одном из его концовЩ Однако в данной конструкции имеется неравномерность деформации и невозможность компенсировать продоль- )5 ныа.температурные удлинения.

Известен также нагревательный узел в котором нагреватель соединен с токо.подводом через три гибкие пластины, расположенные по окружности нагревате ля С2 J..

В указанной конструкции невозмож,ны компенсация скоса нагревателя, изготовленного из тонкостенного вольфрама и молибдена, а также применение его в установках по выращиванию монокристаллов.

Известен также нагревательный узел с компенсатором температурных . удлинений резистивного нагревателя, выполненным в виде плоской деформи- ЗО

Рованной пружины из токопроводящего материала, закрепленной. симметрично относительно нагревателя на одном из

его концов Расположенных в плоскости перпендикулярнОЙ пРОдольнОЙ Оси 35 нагревателя и выполненных V -образно с закругленными основаниями с углом.между ветвями 2-80 С33.

При изготовлении ветвей применяют молибденовые или вольфрамовые пласти- О ны, которые очень хрупкие, и поэтому требуют специальной аппаратуры и нагрева в процессе получения той фор мы, которая предложена в конструкции.

В случае непараллельности осей закругления при высокотемпературной компенсации происходит скос нагревателя, что приводит к изменению температурного поля внутри нагревателя, а также к невозможности применять в нагревателях, в которых компенсатор 5О установлен параллельно оси нагревателя.

Цель изобретения — повышение на дежности компенсации путем уменьшения линейных деформаций и скоса на- 55 гревателя в установках для выращивания высокотемпературных монокристалЛОВ.

Поставленная цель достигается тем, чтО B токоподводящий узел K p93HO бО тнвному нагревателю, содержащему,стержневой токоввод, связанный с резистывным нагревателем через симметрично изогнутые компенсирующие упругие пластины,. один конец которых.жестко прикреплен к токовводу, к одному концу нагревателя прикреплен пере ходной элемент, к которому с другой стороны присоединены вторые концы упругих компенсирующих пластин дугообразной формы, а в переходной элемент заглублена и жестко связана с ним изоляционная втулка, сквозь которую проходит установленный с зазором токоввод, йараллельный оси на гревателя.

На фиг. 1 и 2 изображены фронтальная и профильная проекции токоподводящего узла; на фиг. 3 — соединение нагревателя с токовводом через предлагаемый токоподводящий узел.

ТокопоДвОдящий уэел к резистивному нагревателю состоит из нагревателя 1 резистивного, например коакснального.„ керамической изоляционноу втулки 2, которая жестко связа на, например впрессована с переходным токопроводящим элементом 3, к которому крепятся одни концы изогнутых по дуге симметричных компенсирующих пластин 4, другие концы которых жестко прикреплены через держатель 5 к токовводу б.

Устройство работает следующим Образом.

При повышении температуры линейная деформация нагревателя 1 будет демпфироваться перемещением вторых концов симметричных компенсирующих пластин 4 вместе с переходным элементом 3, в котором жестко заглублена изоляционная втулка 2, сквозь которую проходит с зазором токоввод б, установленный параллельно Оси нагревателя и устраняющий скос нагревателя.

Таким ооразом, использование изобретения позволяет поддерживать постоянный фронт кристаллизации при выращивании мойокристаллов, увеличит срок службы нагревателей, упростит изготовление компенсатора и сэкономит дорогостоящий вольфрам и молибден, нз которых изготавливают нагреватели и пластины компенсатора. Применяют токоподводящий узел к резистивному коаксиальному нагревателю установок для выращивания высококачественные монокристаллы. Также возможно примеиение компенсатора и для других типов нагревателей, например стержневых.

1066041

ВНИИПИ Эакаэ 11061/59

Тираж peg одписное филиал ППП "Патент", r,Ужгород. Ул.Проектная,4