Способ получения трихлорсилана и четыреххлористого кремния из отходов, содержащих полисиланхлориды и полисилоксанхлориды

 

1. Способ получения трихлорсилана и четыреххлористого кремния из отходов, содержащих полисиланхлориды и полисилоксанхлориды, включающий концентрирование отходов, их испарение и хлорирование в реакционной зоне с последующей конденсацией полученных продуктов, отличающийся тем, что, с целью снижения пожаровзрывоопасности процесса, повышения производительности процесса и снижения энергозатрат, хлорирование ведут газообразным хлором в смеси с водородом при их соотношении 1 : (0,3 - 1,2).

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что, с целью комплексного использования сырья, в качестве водорода используют абгазный водород после синтеза трихлорсилана и/или процесса водородного восстановления.

3. Способ по п.1, отличающийся тем, что скорости ввода хлора и водорода составляют 0,5 - 85 и 1,2 - 45 м/с соответственно.

4. Способ по п.1, отличающийся тем, что, с целью интенсификации процесса, перед подачей в зону реакции отходы подвергают диспергированию.



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к способам получения соединения кремния, в частности тетрахлорсилана

Изобретение относится к технологии получения поликристаллического полупроводникового кремния из природных кремнийсодержащих концентратов

Изобретение относится к химической промышленности и может быть использовано при производстве кремния
Наверх