Магниторазрядный насос

 

МАГНИТОРАЗРЯДНЫЙ НАСОС, содержащий магнитную систему и герметичный корпус с размещенными в нем катодами, вьптолненными из геттерного материала, и расположенным между ними ячеистым анодом, ячейки которого вьтолнены в виде полых цилиндров, установленных с возможностью перемещения в направлении, перпендикулярном оси цилиндров, отличающийся тем, что, с целью повышения и стабилизации быстроты откачки , ячейки анода вьшолнены из биметалла и снабжены разрезом по образующей цилиндра, при этом края разреза расположены внахлестку, а коэффициент расширения слоя биметалла со стороны внешней поверхности цилиндров превьш1ает этот коэффициент со стороны их внутренней поверхности. 00 00 о со

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЩИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

09) (1!) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

° °

° «Ф

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3529737/18-21 (22) 29.12.82 (46) 23.04.84. Вюл. H 15 (72) С.П. Лукьянов и Е.М. Рудницкий (53) 621. 521 (088.8) (56) 1. Васильев Г.А. Магнитораэрядные насосы. M., "Энергия", 1970.

2. Патент франции )) 2244257, кл. Н 01 J 41/12, 1972 (прототип). (54) (57) МАГНИТОРАЗРЯДНЬЙ НАСОС, содержащий магнитную систему и герметичный корпус с размещенными в нем катодами, выполненными иэ геттерного материала, и расположенным между ниЗШ Н01 J4100 Н01 J41 12 ми ячеистым анодом, ячейки которого выполнены в виде полых цилиндров, ° О установленных с возможностью перемещения в направлении, перпендикулярном оси цилиндров, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения и стабилизации быстроты откачки, ячейки анода выполнены из биметалла и снабжены разрезом по образующей цилиндра, при этом края разреза расположены внахлестку, а коэффициент расширения слоя биметалла со стороны внешней поверхности цилиндров превышает этот коэффициент со стороны их внутренней поверхности.

1088091

Указанная цель достигается тем, 50 что в магниторазрядном насосе, содержащем магнитную систему и герметичный корпус с размещенными в нем катодами, выполненными из геттерного материала, и расположенным между 55 ними ячеистым анодом, ячейки кото рого выполнены в виде полых цилиндров, установленных с возможностью пеИзобретение относится к вакуумной технике, а именно к магниторазрядным насосам, и может найти применение при откачке электровакуумных приборов и других объемов различного назначения.

Известен магниторазрядный насос, содержащий магнитную систему и герме тичный корпус с размещенными в нем катодами из геттерного материала и 10 расположенным между ними ячеистым анодом с ячейками в виде полых цилиндров (1) .

В таких насосах при давлении выше

10 мм рт.ст. происходит сильное 15 распыление катода и в местах пересечения осей ячеек анода с катодами в последних образуются кратеры. Срок службы магнитораэрядного насоса поэтому определяется толщиной катодных 20 пластин, увеличение которых приводит к увеличению массы насоса и повышению его стоимости.

Известен также магниторазрядный насос, содержащий магнитную систему 25 и герметичный корпус с размещенными .в нем катодами, выполненными из геттерного материала, и расположенным между ними ячеистым анодом, ячейки которого выполнены в виде полых цилиндров, установленных с возможностью перемещения в направлении, перпендикулярном оси цилиндров °

Срок службы таких насосов повышен за счет обеспечения воэможности

35 перемещения анодных ячеек в направлении, перпендикулярном их оси,что позволяет располагать под ячейками новые участки катода, еще не обработанные разрядом f2) .

Недостатками этого насоса явля-. ются невысокая скорость откачки и невозможность ее стабилизации в процессе работы насоса, когда давление откачивающего газа меняется в широких пределах.

Целью изобретения является повышение и стабилизация скорости откачКИ е ремещения в направлении, перпендикулярном оси цилиндров, ячейки анода выполнены из биметалла и снабжены разрезом по образующей цилиндра, при этом края разреза расположены внахлестку, а коэффициент расширения слоя биметалла со стороны внешней поверхности цилиндров превышает этот коэффициент со стороны их внутренней поверхности.

На фиг. 1 показан насос, общий вид; на фиг.2 — разрез А-А на фиг.1, на фиг.3 — ячейка анода.

Магнитораэрядный насос содержит герметичный корпус 1, катоды 2, анод

3 в виде цилиндрических ячеек, выполненных из биметалла, магнитную систему 4, электрический. ввод 5 и откачкой патрубок 6 ° При этом анод

3 установлен между катодами 2 с возможностью перемещения относительно катодов в направлении, перпендикулярном оси ячеек анода.

Насос работает следующим образом.

При подаче на анод 3 высокого положительного потенциала в насосе возбуждается разряд Пеннинга в скрещенных электрическом и магнитном полях и в результате ионной бомбардировки происходит распыление катодов, выполненных иэ геттерного материала.Образующаяся при этом пленка геттера связывает остаточные газы.

При запуске. насоса (работа при повышенном давлении) ячейки анода имеют большой диаметр. В процессе, работы насоса в режиме запуска в разряде выделяется мощность в виде тепла, в результате чего анод 3 разогревается до температуры, которая может достигать 300оС. Под влиянием этого нагрева биметаллические ячейки деформируются (фиг.3), что приводит к уменьшению их в диаметре, и быстрота действия в этой области давления получается максимальной. По мере понижения давления в насосе уменьшается разрядный ток и выделяемая мощность, что приводит к понижению температуры на аноде и увеличению диаметра ячеек вплоть до исходного, Таким образом, и в этой области давления достигается максимальная скорость откачки.

В результате уменьшения и увеличения диаметра ячейки центр ячейки смещается (фиг.3), смещается и эона

1088091

А-A

ФигЗ

Составитель А. Захаров

Техред Т.Маточка Корректор А. Зимокосов

Редактор И. Шулла

Заказ 2683/50

Тираж 683" Подписное

ВНИИПИ Гос9дарственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная,4 интенсивного распыления на катодах, обеспечивая тем самым увеличение срока службы насоса. Распыпяемый с, катодом.геттер оседает на поверхность анода, образуя пленку, способную сорбировать газы.

Таким образом, предлагаемая конструкция насоса позволяет повысить и стабилизировать скорость откачки в широком диапазоне давлений без ухудшения срока службы по сравнению с известной.