Способ очистки четырехиодистого кремния

 

Класс 121, 38 1

¹ 118813

СССР

1

g аф :

1 . °:о, ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Ю. Д. Губанов, В. К. Ковырзин, С. П. Далыкин и Ю. П. Саврасов

СПОСОБ ОЧИСТКИ ЧЕТЫРЕХИОДИСТОГО КРЕМНИЯ

Заявлено 27 марта 1958 r. за № 595781/23 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Известные способы очистки четырехиодистого кремния, например ректификация, сублимация и зонная очистка в вертикальном аппарате, не позволяют получать продукт достаточной степени чистоты.

При применении зонной очистки в вертикальном аппарате имеет место явление ликвации, что делает невозможным удаление из четырехиодистого кремния ряда примесей, например иодистой сурьмы и др.

С целью устранения вредного влияния ликвации, предлагается способ очистки четырехиодистого кремния от иодистой сурьмы и других примесей путем зонной плавки, заключающийся в том, что плавку ведут в трубчатом аппарате, рабочая часть которого загрузочным патрубком разделена на две ветви, одна из которых расположена горизонтально, а другая наклонена к ней под углом 10 .

Способ осуществляют следуюп aм образом (см. чертеж). Четырехиодистый кремний из ампулы 1 через загрузочный патрубок 2 загружают в рабочую трубу аппарата (установки), имеющую две ветви: горизонтальную 8 и наклонную 4, причем наклонная ветвь составляет с осью горизонтальной ветви угол в 10 .

Рабочая труба заполняется четырехиодистым кремнием так, чтобы уровень его был несколько выше середины горизонтальной ветви 8.

В начале наклонной ветви 4 «генератором пустот» б создается пустота, с помощью которой расплавленная зона перемещается вдоль наклонной ветви и доходит до патрубка 2, при этом из ампулы 1 подается порция четырехиодистого кремния, равная количеству слитого материала при образовании пустоты.

Печь б наклонной ветви отводится в первоначальное положение и процесс повторяется снова. Расплавленная печью б наклонной ветви зона подхватывается печью 7 горизонтальной ветви и перемещается в конец горизонтальной ветви, таким образом осуществляется перенос примесей к ампуле 8 с отходами. После того, как в наклонной ветви совершится некоторое число проходов (в зависимости от исходного № 118813 сырья), начнется отбор чистого продукта в ампулы 9. Процесс проводится в атмосфере инертного газа, напускаемого через краны 10 при атмосферном давлении, Описываемый способ очистки четырехиодистого кремния обеспечивает более полное удаление примесей из продукта.

Предмет изобретения

Способ очистки четырехиодистого кремния от иодистой сурьмы и других примесей путем зонной плавки, отличающийся тем, что, с целью устранения вредного влияния ликвации, плавку ведут в трубчатом аппарате, рабочая часть которого загрузочным патрубком разделена на две ветви, одна из которых горизонтальная, а другая наклонена к ней под углом в 10 .

Подп. к печ. 24.111-59 г.

Тираж 815 Цена 25 коп.

Информационно-издательский отдел.

Объем 0,17 п. л. Зак. 1766

Типография Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Петровка, 14.

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Редактор Н. С, Кутафина Гр. 4$