Стекло для герметизации корпусов полупроводниковых приборов
СТЕКЛО ДЛЯ ГЕРМЕТИЗАЦИИ КОРПУСОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЕЛХ ПРИВОРОВ, включающее , ZnO, AljO, PbO, ZrOj, отличающееся тем, что, 6 целью снижения КТР и повышения химической стойкости, оно дополнительно содержит VjOj при следукячем соотношении компонентов, мае,%:. ,64-7,34 33,68-42,16 , 34,51-39,83 ZnO ,6,17-6,24 РЪЪ9,56-13,45 ZrQji0,02-0,75 0,03-2,22 Vj05
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИН (1Ю . (И) 4(51) С 03 С 3 14
Ц,., „я
ЯЩ% Рк д(,1
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ н лвтсвсноми сеидатвъствм
ГОСУДАР(ТВЕННО КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21 ) 3568441/29-33 (22) 07.01.83 (46) 07.01.85. Бюл. В 1 (72) И.Л.Раков, З.Н.Шалимо, Н.П.Соловей, A.Ï.Ìîëî÷êî, В.A.Ãoëîñîâ, A.Н.Хальмский и A.Ã,Ãðóøîâ (71) Минский радиотехнический институт и Минское произв(щственное объединение "Горизонт" (53) 666.112.9 (088.8) (56) 1. Патент США 9 3088833, кл. 106-47, опублик. 1960.
2. Авторское свидетельство СССР по заявке 9 3426336/29-33 кл. С 03 С 3/12, 1982. (54)(57) СТЕКЛО ДЛЯ ГЕРМЕТИЗАЦИИ
КОРПУСОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ, включающее S102 B209, ZnO, Al 0, PbO, ZrO<, отличающееся тем, что, с целью снижения KTP и повышения химической стойкости, оно дополнительно содержит V 0 при следующем соотношении компойентов, мас,Ъ:.
810 3,64-7,34
В 0 33,68-42,16
ZnO 34,51-39,83
А1Ф 09 6,17-6,24
РЬЪ 9,56-13е45
ZrOg 0,02-0,75
7 05 0,03-2,22
1133239
Содержание компонентов, мас.В. в составе
Компоненты
4(7 ) 2 (7) 1 pq4) 7,34
7,27
7,30
3,64
Si02
34„06
39,83
33,85
39, 58
33,68
39,38
42,16
34,51
ZnO
6,24
6,17
6,20
6,17
А1 О
9,56
10,81
13,45
13,42
РЬО
2,22
2,21
0,03
0,05
0,75
0,05
0,02
0,05
ZrO2
Изобретение относится к производ ству легкоплавких стекол, которые ,могут быть использованы для спаев с металлом, в частности со сплавом
29НК, при изготовлении проходных стеклоиэоляторов корпусов интегральных микросхем.
Известно припоечное стекло. (1), включаюi.ее, мас.%:
SiO 10-13
20-25
ZnO 40-48
Pbo 14-29
СиО 10-13
Недостатком известного стекла является то, что оно кристаллизуется при спаивании.
Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату является припоечное стекло $2j, используемое.при герметизации корпусов полупроводниковых приборов, включающее, мас.%:
РЪО 61-67
ZnO 14-17 в о 13-16
Я О
1-3
MgO 0,1-2
А12 09
1-3
2г02 0,1-2
Указанное стекло также не может быть использовано для спаивания со сплавом 29НК, так как КТР превышает 79 10 7 град, кроме тсЛго, у него недостаточно высокие электроиэоляционные характеристики, и химическая стойкость °
Целью изобретения является снижение КТР и повышение химической
:стойкости.
Эта цель достигается тем, что стекло для герметизации корпусов полупроводниковых приборов, включающее
Si02 В О, Zn0, А1203, РЬО, ЕгО дополнительно содержит ч О при
5 следующем соотношении компонентов, мас.Ъ:
Sio2 3,64-7,34
Я 0 33,68-42,16
ZnO 34,51-39р83
10 А1 203 6,17-6,24
РЬО 9,56-13,45
ZrOg 0,02-0,75
У 0 0,03-2,22
При составлении шихт используют
15 сырьевые материалы марки "хч" и
"чда". Стекла варят в силитовой электропечи при температуре 1200 20 С.
Выработку стекла производят методом отливки расплава на холодную метал20 лическую плиту.
Составы предлагаемого стекла приведены в табл. 1, сравнительные свойства предлагаемых и известного стекол - в табл. 2.
Иэ данных табл. 2 видно, что предлагаемое стекло по сравнении с известным имеет низкий ТКЛР (50,452,2 10 град, у известного 74.484,2 10 град, значительно лучшие
ЗО электрические свойства, возможность получения спая с металлом (коваром), а также высокую химическую устойчивость
Таким образом, предлагаемое стекло удовлетворяет требованиям к материалам для спаев со сплавом 29НК и может быть использовано для герметизации корпусов полупроводниковых приборов.
Ожидаемый экономический эффект
40 составляет 60 тыс. руб.
Таблица 1
1133239
Т а блица 2
Состав
Свойства стекол
3 (7 „) 4 (7 1 Известный
1 (7 41
2 (71
Температура начала размягчения,"C
402-417
540
550
525
550
ТКЛР в интервале
20-400 C, g 10 град 50,4
50,25 74,4-84,2
52 2
Sv, Ом см, при С о
400
350
Потери веса при кипячении в воде, В 0,30
0,23, 0,20 1,35-1,46
0,10
Составитель О.Самохина
Редактор Н.Лазаренко Техред A. Бабинец Корректор.М. Розман
Заказ 9912/22 Тираж 457 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4
5,8 10
1,0- 10
6,5 10 6,2 ° 10 1,25 ° .10
9 9 Ю
1,23 ° 10 1,41 10 1,53 10 6,6-10
