Источник многозарядных ионов

 

Источник многозарядных ионов по авт.св. 760821, отличающийся тем, что, с целью повышения плотности тока многозарядных ионов, резонатор снабжен диэлектрической камерой, а система извлечения ионов выполнена в виде высоковольтного и заземленного электродов, установленных в упомянутой камере.



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к плазменной технике и может использоваться для генерации потоков заряженных частиц, например ионов, в технологических целях и в космических двигательных установках

Изобретение относится к электронно-лучевым и пучково-плазменным приборам СВЧ и предназначено для использования в качестве усилителя или генератора мощного излучения в аппаратуре научного и прикладного назначения

Изобретение относится к электронике, в частности к электронно-лучевым СВЧ-приборам, предназначенным для усиления или генерации мощного излучения, и может быть использовано в аппаратуре научного и прикладного назначения

Изобретение относится к технике СВЧ и может использоваться при создании радиоаппаратуры для связи, радиолокации, в измерительной технике, в научном приборостроении

Изобретение относится к области плазменной обработки при изготовлении полупроводников
Наверх