Способ выделения дихлорсилана из парогазовой смеси
1. Способ выделения дихлорсилана из парогазовой смеси производства полупроводникового кремния путем двухступенчатой низкотемпературной конденсации хлорсиланов при температуре на первой ступени -65 oC -70oC с выводом целевого продукта с второй ступени, отличающийся тем, что, с целью повышения степени извлечения дихлорсилана в конденсируемый продукт и повышения в нем концентрации дихлорсилана, парогазовую смесь предварительно барботируют через смесь жидких хлорсиланов, состав которой соответствует соотношению хлорсиланов в исходной парогазовой смеси, причем температуру на второй ступени поддерживают равной -75,5 oC -115oC.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что вывод целевого продукта начинают при конденсации хлорсиланов из парогазовой смеси, в которой концентрация дихлорсилана соответствует состоянию насыщения при температуре -70 oC -75oC, а заканчивают при конденсации парогазовой смеси, в которой концентрация дихлорсилана равна исходной.
3. Способ по пп.1 и 2, отличающийся тем, что барботирование парогазовой смеси через смесь жидких хлорсиланов ведут при -40 oC -50oC.
