Способ получения трихлорсилана и четыреххлористого кремния

 

1. Способ получения трихлорсилана и четыреххлористого кремния из кремнийсодержащего сырья, включающий стадии хлорирования, абсорбционной конденсации и очистки сконденсированных продуктов ректификацией, отличающийся тем, что, с целью повышения степени чистоты по борту, в качестве абсорбента используют смесь четыреххлористого кремния и гексахлоридисилоксана или смесь четыреххлористого кремния, трихлорсилана и гексахлордисилоксана.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что, с целью снижения потерь хлорсиланов содержание гексахлоридисилоксана в абсорбенте поддерживают в пределах 1 - 80 мас.%.

3. Способ по пп.1 и 2, отличающийся тем, что содержание трихлорсилана в абсорбенте поддерживают в пределах 0,1 - 10 мас.%.