Устройство для нанесения покрытий на изделия преимущественно из кварца

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ НА ИЗДЕЛИЯ ПРЕИМУЩЕСТВЕННО ИЗ КВАРЦА, содержащее камеру с проемом для загрузки изделия, установленный с возможностью перемещения нагреватель, узел нанесения покровного слоя, приспособление для перемещения изделий и систему удаления газообразных продуктов, отличающееся тем, что,- с целью повьппения чистоты покрытия, оно снабжено съемным контейнером с манипулятором , расположенным вне камеры , система удаления газообразных с продуктов выполнена в виде трубок, служащих направляклцими приспособлеСО ния для перемещения изделия, вьшолненного в виде лодочки, а нагреватель установлен снаружи камеры с возможностью горизонтального перемещения вдоль ее оси.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (39) (11) . (>)4 С 03 С 17 245

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Фиг 1

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЬП ИЙ

Н ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3597835/29-33 (22) 23.05.83 (46) 07.08.85, Бюл. й- 29 (72) П.Л. Бари, А.А. Вовк, Л.А. Гончаров, В.П. Макаревич, Э.С. Миленин, M.À. Полянов, С.Б. Прохоров, А.Г. Чемеринский, В.Г. Андониев, В.А. Гавва, Г.Г. Девятых и Е.M. Я1еплягин (71) Государственный ордена Октябрьской. Революции научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности (53) 666.1.056(088.8) (56) Hailer Е.Е., Hansen W.L., Hubbard G.S. and Gouldning F.S.

IEEE ТгапзасСi опз on Nuclear Science. Vol. Ns 23, Nol Feb, 1976, р. 81-87.

Авторское свидетельство СССР

N- 701971, кл. С 03 С 17/00, 1976. (54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ

ПОКРЪ|ТИЙ НА ИЗДЕЛИЯ ПРЕИМУЩЕСТВЕННО

ИЗ КВАРЦА, содержащее камеру с проемом для загрузки изделия, установленный с возможностью перемещения нагреватель, узел нанесения покровного слоя, приспособление для перемещения изделий и систему удаления газообразных продуктов, о т л и— ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения чистоты покрытия, оно снабжено съемным контейнером с манипулятором, расположенным вне камеры, система удаления газообразных продуктов выполнена в виде трубок, служащих направляющими приспособления для перемещения изделия, выполненного в виде лодочки, а нагреватель установлен снаружи камеры с возможностью горизонтального перемещения вдоль ее оси.

1 11714

Изобретение относится к области получения материалов особой чистоты, в частности, германия.

Целью изобретения является повышение чистоты покрытий, 5

На фиг. 1 приведена схема устройства для нанесения покрытий на изделия иэ кварца с контейнером; на фиг. 2 — то же, беэ контейнера; на фиг 3 — сечение А-А на фиг. 1. 10

Устройство содержит камеру 1 с

»»роемом для загрузки изделий, систему удаления газообразных продуктов, состоящую из трубок 2, служащих одновременно направляющими для 15 перемещения изделий, имеющих отверстия 3 для вывода газов, штуцеров 4 для подачи продувочного газа и 5 для вывода газов из камеры 1, узел нанесения покровного слоя, содержа- 20 щий горелку 6 со штуцерами 7 для ввода реагентов, съемный контейнер

8 с манипулятором 9 и штуцером 10 для ввода продувочного газа, расположенными вне камеры 1, механизм 11 перемещения изделия 12, выполненного в.,виде лодочки, нагреватель 13 с механизмом 14 перемещения, выполненнь»»». с возможностью горизонтального перемещения вдоль оси камеры 1 и

30 установленнь»й вне камеры, выдвижные п,»»атформы 15 с бачками 16 для реагентов, подаваемых в горелку 6, и бач ка»»и 17 для поглощения отводимых газов, шток с крышкой 18.

Устройство работает следующим об- З5 разом.

Лодочка 12, подлежащая покрытию, доставляется в герметичном контейнере 8, с него снимаетсй крьппка (не 40 показана) и он стыкуется с камерой 1.

Через штуцеры 4 и 10 в систему пода-, ется инертный газ для продувки камеры 1 и контейнера 8, который выводится через отверстия 3 по трубкам нап- 5 равляющих 2 и далее через штуцер 5— в поглотительный бачок 17. С помощью манипулятора 9 лодочку 12 вталкивают в камеру 1, после чего контейнер

8 снимают вместе с манипулятором 9, на открытый конец камеры 1 устанавливают крьппку со штоком 18, шток соединяют с лодочкой 12 и повторяют про,дувку камеры 1 инертным газом. После отвода пустого контейнера фон загряз- нения в нем (и в камере) не повышается, поскольку непрерывная подача инертного газа, вплоть до закрытия сосуда, препятствует попаданию в него окружающего воздуха.

В том случае, когда лодочку 12 надо покрыть пироуглеродом (ПУ), ее проталкивают штоком при помощи механизма 11 в рабочую зону нагревателя 13, нагреватель включают и через горелку 6 подают углеродсодержащий газ.

После выдержки по заданному режиму нагреватель 13, не выключая его, отводят от камеры 1 с помощью механизма 14. Лодочку перемещают в холодный конец камеры 1, снимают крышку со штоком, устанавливают контейнер 8, проводят продувку его инертным газом, лодочку 12 переводят манипулятором 9 в контейнер 8. Последний отсоединяют, торцевой крышкой (не показана) и направляют на склад. Доставляют очередной контейнер с новой лодочкой, подлежащей покрытию, и операции повторяют. Поскольку нагреватель

13 не выключался, то его надвигают на камеру 1 в горячем состоянии, что позволяет экономить время на разогрев.

В том случае, когда лодочку надо покрыть аморфной двуокисью кремния (Б»-0 ), в горелку 6 подают реагенты из бачка 16 и газового блока, горелку 6 поджигают на воздухе и устанавливают на камеру 1, Камеру продувают инертным газом. Под факелом горелки 6 в заданном режиме перемещают лодочку 12, на которой оседает слой двуокиси кремния. Для отжига покрштия лодочку помещают в рабочую зону нагревателя 13, где происходит остекловывание слоя двуокиси кремния.

Выгрузку лодочки производят так же, как и после покрытия ПУ.

Повьппение качества и чистоты покрытия достигается тем, что механизированное перемещение лодочки осуществляется плавно с постоянной скоростью, лодочка, подготовленная к покрытию, а затем покрытие лодочки хранятся в герметичных контейнерах, процесс покрытия осуществляют в герметичном, объеме, выгрузку лодочек »»роизводят беэ контактирования их с окружающим воздухом.

Высокая производительность дости-. гается механизацией манипуляции и

4 иг 1

A-А

Составитель А. Борисов

Редактор Н. Егорова Техред Т.Дубинчак Корректор В. Бутяга

Заказ 481K/23 Тираж 457 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

3 1 поддержанием печи в горячем состоянии, а также повышением выхода год-. ного продукта.

Удобства и безопасность эксплуатации достигаются тем, что все опе171441 4 рации производятся в закрытом объеме и механизированы.

Зонная плавка германия в лодочках, покрытых пленкой из ПУ и SiO

2 позволяет повысить чистоту примесного фона с 5 ° 1.0 до 2 10 см .