Способ изготовления электродов фотоэлектронного прибора

 

СПОСОБ ЮГОТОВЛКШШ ЭЛЕКТРОДОВ ФОТОЭЛЕКТРОННОГО ПРИБОРА , включающий изготовление электродов из нержавеющей легированной стали и обработку электродов в атмосфере водорода , отличающийся тем, что, с целью снижения уровня яркости темновогр фона 1фибора путем уменьшения отражения света от электродов, в качестве материала электродов выбирают хромоникелевую немагнитную сталь, для обработки используют yвJгaжнeнный водород с точкой росы 15-20 С, а обработку гфоводят при 1000-1200(; в течение 20-30 мин.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИИ

А1

„„SU„„1184392 (® И 01 Л 9/02

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

IlO ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГННТ ССС

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕниЯ.

Н АВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3722326/21 (22) 09.04.84 (46) 23.09.91. Бвл. Р 35 (72) А.Г.Берковский, В.В.Борисов, IO.È.ÃóáàHîâ и Б.Г.Дашевский (53) 621.385.832(088,8) (56) Авторское свидетельство СССР

Р 396746, кл. И 01 1 9/20, 1970..

Патент ФРГ 1"- 1293927, кл. 21 р 29/40, 1970, 1 (54) (57) СПОСОБ ИЭГОТОВЛП1ИЯ ЭЛГКТРОДОВ ФОТОЭЛЕКТРОННОГО ПРИБОРА, включаИзобретение относится к области электр овакуумной техники, в -частности к способам изготовления металлических электродов Аотоэлектронных приборов, а именно электронно-оптических преобразователей (ЭОП) и усилителей яркости изображения (УИ).

При разработке 3011 и .УИ возникает задача максимального снижения уровня яркости темнового Аона в приборе, возникновение которого обусловлено несколькими причинами. Одной из них является отражение светового потока от внутренних металлических электродов ЭОП и УИ на Аотокатод, приводя. щее к возникновению паразитных Аоновых засветок экрана прибора (обратная оптическая связь) . Уменьшают отражение света путем чернения электродов или нанесением специальных покрытий на электроды.

Целью изобретения является снижение уровня яркости темнового фона вщий изготовление электродов из нержавеющей легированной стали и обработку электродов в атмосАере водорода, отличающийся тем, что, с целью снижения уровня яркости темнового Аона прибора путем уменьшения отражения света от электродов, в качестве материала электродов выбирают хромоникелевув немагнитнув сталь, для обработки используют увлажненный водород с точкой росы 15-20 С, а обработку проводят при 1000-1200 С н течение 20-30 мин. прибора путем уменьшения отражения С света от электродов.

Получаемый технико-экономический эффект состоит н увеличении инАорма екай тивной способности прибора.

Способ изготовления Аотоэлектронного прибора согласйо изобретения (X включает следувпие операции: изготовление электродов из нержа- ф веющей высоколегированной немагнитной стали, (например, 12Х18И10Т), (Я обработку электродов в атмосАере водорода в увлажненной среде с точкой росы +(15-25) С при 1000-1200 С в течение 20-30 мин.

В качестве исходного материала для изготовления электродов ЗСП или УИ используют немагнитный сплав типа

12Х18П10Т, содержащий (в Х) 18 хрома, 10 никеля, 0,5 титана, 0,12 углерода, остальное — железо (нержавеющая сталь) .

Для уменьшения отражения света от электродов последние чернят. Изменение цве1184392

1(орректор С. Г1екмар

Техред И.Попович

Редактор Е.Гиринская

Заказ 3728 Тираж, Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101 та электродов достигается за счет обработки электродов во влажном водороде нри определенном режиме. Режим обработки электродов (точка росы водоро-) да, температура и время) выбран из условия получения черного бархатного цвета электродов при сопротивлении черненного слоя не выше 10 OM/Q . При таком сопротивлении электропроводность элект-1 родов, обработанных предлагаемым способом, практически такая же, как у необработанных. Поэтому электрическое поле в приборе не искажается.

Электроды, изготовленные из сплава

12Х18Н1ОТ, загружают в водородную печь, предварительно водород увлажняют любым известным способом до точки росы

+(15-25) С, поднимают температуру в печи до 1000-1200 С и отжигают элект- 0 роды при этой температуре в течение

20-30 мин, после чего печь выключают.

Электроды, охлажденные до 50-100 С, извлекают из печи. При такой обработке уменьшается общее газосодержание элект-1 родов и осуществляется взаимодействие легирующей добавки, s частности хрома, с примесями влаги и кислорода в водороде. При указанных режимах отжига, определяющих наличие необходимого коли3 чества влаги и кислорода, поверхностный слой электродов приобретает черный бархатный цвет. При этом проводимость электродов не изменяется, т.к. взаимодействие хрома с водородом происходит .только в поверхностном слое. В приборах с электродами, изготовленными согласно изобретению, практически отсутствует отражение света от них, следствием чего является снижение уровня яркости темнового фона в ЭОП и УИ.

При температуре в печи, меньшей

1000 С, времени отжига электродов при б этой температуре в пределах 20-30 мин и точке росы водорода +(15-25) С поверхностный слой полностью не прорабатывается и цвет электродов получается черным. Гсли при температуре, меньшей

1000 (; увеличить время отжига электродов (>ЗО мин) или точку росы водорода (025 r), то цвет поверхности существенно не изменяется, но увеличивается газоотделение при изготовлении

ЭОП или УИ, Увеличение температуры

О

)1200 С при использовании водорода с точкой росы +(15-25) С и временем отжига электродов при этой температуре 20-30 мин приводит к тому, что поверхностный слой получается рыхлым, изменяются его сопротивление и цвет, Уменьшение времени отжига ((20 мин, и точки росы (<15 С) при температуре о

9 большей 1200 С, приводит к неоднородности поверхности но цвету.

Изготовление электродов ЭОП и УИ предлагаемым способом позволило но сравнению с известным способом существенно уменьшить отражение света от их поверхности, о чем свидетельствовало уменьшение уровня яркости темпового фона готового прибора (ЭОП и УИ).

Так, в однокамерном ЭОП с коэффициентом преобразования 20-40, металлические электроды которого были изготовлены предлагаемым способом, уровень яркости темнового фона цо сравнению с известными способами изготовления уменьшен в 10 раз. В многокамерных усилителях яркости изображения с большим коэффициентом преобразования эффект еще выше. Кроме того, FBK как. сплав 12Х18Н10Т, из которого выполне» ны электроды, не обладает магнит- ° ными свойствами, то предлагаемый способ может быть использован при изготовлении электродов ЭОП и УИ как с электростатической, так и с электромагнитной фокусировкой электронного потока.