Устройство для получения кремния высокой частоты термическим разложением тетраиодида кремния

 

Класс 40а, 46 № 127025

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

И. А. Иноземцева и С. Н. Рязанцев

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ КРЕМНИЯ ВЫСОКОЙ

ЧИСТОТЫ ТЕРМИЧЕСКИМ РАЗЛО)КЕНИЕМ ТЕТРАИОДИДА

КРЕМНИЯ

Заявлено 2О апреля 1959 г. за _#_e 626292/22 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Опубликовано в «Бюллетене изобретений» № 6 за 1960 г.

Известные в лабораторной практике спиральные и ленточные аппараты для получения заготовок кремния высокой чистоты термическим разложением тетраиодида кремния мало пригодны для завод"кой практики, вследствие низкой производительности; использование же укрупненных установок такой конструкции приводит к частым авариям от растрескиьания кварцевых ампул и труб.

Предлагаемая установка, выполненная из кварца в очетании с металлической ампулой для конденсации иода, исключает эти недостатки и делает ее пригодной для заводских условий.

Установка состоит (см. чертеж) из кварцевой ампулы 1 с тетраиодидом кремния, внутренней танталовой трубы 2, нагреваемой током, наружной кварцевой трубы 8 и металлической ампулы 4 для конденсации иода охлаждающим змеевиком от фреоновой холодильной установки, Внутренняя танталовая труба сворачивается спирально пз танталовой ленты и зажимается танталовыми контактами 5 с молибденовыми электродами б. Коническим срезом ширины танталовой ленты создается искусственный перепад температуры по длине трубы (— 200 ).

Работа установки складывает я из следующих операций: из всей системы, проверенной предварительно на вакуумную плотность, форыкуумным насосом откачивается воздух; одновременно включается нагрев танталовой трубы и фреоновое охлаждение металлической ампулы; иодит кремния в кварцевой ампуле расплавляется прои помощи горелки, после чего под ампулу подставляется печь для поддержания температуры на уровне 135 — 140 . Пары тетраиодида кремния поступают в танталовую трубку, нагретую до 880 — 1100, где происходит их термическое разложение; кремний при этом откладывается на стенках танталовой трубы, а иод конденсируется в металлической ампуле. По окончании проЛ 127025 — ) цес а ампула с иодом поступает на синтез тетраиодида кремния; кремниевая заготовка извлекается из танталовой трубки при разворачик ании

TBEITBJI0BOH ФОЛЬГИ.

И"кусственно создаваемый по длине трубы перепад температуры позволяет получать кремниевые заготовки с определенным распределением примесей по длине трубы, благодаря чему повышается чистота монокристаллов кремния при проведении зонной плавки от наиболее чистого конца заготовки.

Предмет изобретения

Устроиство для получения кремния высокой чистоты термическим разложением тетраиодида кремния, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью получения трубчатых кремниевых заготовок, оно выполнено в виде танталовой трубы, нагреваемой до 1100 е искус"твенно создаваемым перепадом температуры в 200 по длине трубы, с проведением диссоциации тетраиодида кремния внутри трубы и конденсацией получаемого в результате разложения иода в никелевой, охлаждаемой фреоном, ампуле.

Е ода !

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Редактор Jl. М. Струве Гр, 16.1

Подл. к печ. 20.1I-60 r.

Тираж 650 Цена 25 коп.

Информационно-издательский отдел, Объем 0.17 п. л. Зак. 1675

Типография Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Петровка, 14,