Вентиль-натекатель

 

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (191 (11) г (511 4 Р 16 К 51/02

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ л л Ъ;

1 и сэ " > II .

3 @»

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Я.,,,,:-

И АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3739201/25-08 (22) 19.03.84 (46) 15.01..88. Бюл. М 2 (71) Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе (72) Б.А. Мамырин (53) 621. 646(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

У 966378э кл. F 16 K 31/02 1981 °

Данилин Б.С. Конструирование вакуумных систем, М., ГОС Энергоиздат, 1 959 ° с. 90.

Рот А. Вакуумные уплотнения. М,, Энергия, 1971, с. 395-410, рис. 6-„ ,117 (54) (57) ВЕНТИЛЬ-НАТЕКАТЕЛЬ, содержащий тонкостенную металлическую трубку и взаимодействующий с ней пережимной элемент, о т л и ч а юшийся тем,-что, с целью расширения функционапьных воэможностей:: и диапазона редуцирования, пережимной элемент выполнен в. виде пластиZd ны шириной Ь >, где d - диаметр

2 трубки, и подвижного клина с радиусом К закругления ребра равным (0,7-1,5)11, где Ь вЂ” толщина стенкитрубки, при этом пластина;и клин вы полнены из материала с числом твердости Н Ъ Н, где Н, - число тверИ дости материапа трубкй. е

1212121

Изобретение относится к области вакуумной техники, в частности к

1 устройствам, предназначенным для создания течи газа из объема с боль5 шим давлением в объем с малым давле» нием, когда редуцирование давления достигает 10 и более, и может найти применение s масс-спектроскопии, физике поверхностей, физике плазмы и т.д.

Целью изобретения является расширение функциональных воэможностей и диапазона редуцирования за счет обеспечения воэможности работы в ус- 15 ловиях сверхвысокого и высокого вакуума.

На фиг.1 изображен предпагаемый натекатель; на фиг.2 — разрез А-А на фиг.l; на фиг.3 — узел I на фиг.l 20 в увеличенном масштабе; на фиг.4— узел Г на фиг.2 в увеличенном масштабе.

Вентиль-натекатель содержит тонкостенную металлическую трубку 1, 25 пережимной элемент, выполненный в

3 Й

-виде пластины 2 шириной Ь > где d — диаметр трубки, и подвижного клина 3 с радиусом R эагружения 30 . ребра 4, равным (0,7-1,5)h, где

h толщина стенки . трубки 1. Пластина

2 размещена в основании 5 приводного механизма, а клин 3 — на его подвижном рычаге 6, связанном с основа- 5 нием 5 через ось 7. Приводной меха-. низм содержит регулировочный винт 8, цилиндрический вкладыш 9 с резьбой и пружину 10.

Вентипь-натекатель работает сле- 40 дующим образом.

Один конец трубки 1 соединяется с емкостью, из которой будет.напускаться гаэ, второй - с системой, куда он должен натекать. При помощи .поворота регулировочного винта 8 и перемещения пластины 2 трубка 1 пережимается до соприкосновения ее сте нок между собой. Эатем пластина 2 закрепляется (например, с помощью . контргайки) и дальнейшие регулировки производятся только гри помощи регулировочного винта 8.

Для полного закрытия натекания необходимо такое усипие, при котоРом 55 произойдет деформация материала трубки 1.

Прекращение улучшения вакуума при увеличении давления на трубку 1 будет свидетельствовать о полном перекрытии трубки I положение рукоятки регулировочного винта 8 при этом отмечается как соответствующее отсутствию натекания. При отвертывании регулировочного винта 8 начинается на" т екание.

Расширение диапазона редуцирова ния достигается благодаря тому, что при первом же пережатии трубки 1 пережимным элементом происходит остаточная деформация материала трубки 1, так что все неровности внутренней и наружной поверхностей трубки 1, а также неровности соприкасающихся с ней поверхностей клина 3 и пластины

2 автоматически выбираются и получается молекулярно плотное соединение внутренних стенок трубки 1. При этом плотность соединения стенок трубки 1 в месте пережатия ее пережимным элементом контролируется по показаниям вакуумметра и может плавно изменяться путем изменения давления на трубку клина запорного органа, обеспечивая регулирование натекание газа в систему при вакууме 10 —

10 " Торр.

Так как внутренняя поверхность трубки 1 не идеально чистая, то молекулярная холодная сварка в области пережатия трубки 1 не происходит, а асимметрия распределения деформирую- щих усилий (плоскость и клин) приводит к возникновению значительных натяжений и в материапе трубки 1.

Возникновение этих натяжений создает "эффект пружины", благодаря которому при уменьшении сдавливающего усилия в месте пережима трубки ) раскрывается щель, через которую и происходит натекание газа. Этот пружинный эффект имеет место, когда ший Д рина Ь пластины 2 Ь ) †-- где й—

2 диаметр трубки, а радиус К закругления ребра клина 3 равен (0,7-1,5)Ь, где h — - толщина стенки трубки 1, и материал ппастииы 2 и клина 3 имеет равную ипи большую твердость по сравнению с материалом трубки l. Выбранная ширина пластины 2 исключает де- . формацию трубки 1, при которой трубка 1 оказывается не полностью пережатой при закрытии вентиля — натекателя.

1212121

Составитель М,Кольцова

Техред И.Верес . Корректор И.Муска

Редактор Н,Коган

Тираж 784

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-.35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 715

Подписное

Производственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород, ул. Проектная, 4