Устройство для распыления жидкости

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

„„SU„„1242249 А1 (5!) 4(В 05 В 1 14

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

3СК

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ И, „., К А ВТОРСКОМ У СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3842073/23-05 (22) 21.! 1.84 (46) 07.07.86. Бюл. № 25 (72) Д. И. Лившиц и В. А. Газецкий (53) 66.069.83 (088.8) (56) Патент США № 4094466, кл. 239—

145, опублик. 1978.

Авторское свидетельство СССР № 835501, кл. В 05 В 1/14, 1981. (54) (57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ РАСПЫЛЕ—

НИЯ ЖИДКОСТИ, содержащее полый корпус с равномерно расположенными на внутренней поверхности отверстиями и выполненным на наружной поверхности по образующей корпуса пазом, сообщающимся с отверстиями, отличающееся тем, что, с целью повышения качества распыления путем повышения скорости движения жидкости в струе, корпус выполнен составным из втулки и размещенного в ней стакана, а отверстия выполнены в последнем с продольным сечением в виде трапеций, большие основания которых обращены к пазу, при этом паз выполнен с поперечным сечением в виде трапеции, обращенной большим основанием к отверстиям.

1242249

Составитель И. Мороаова

Редактор А. (або Техред И. Верее Корректор Л.!1атай

Лакан 3645, 13 Тираж 681 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, 7K,— — 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», r. Ужгород., ул. Проектная, 4

Изобретение относится к технике распыления жидкости и может быть использовано в полуllpol30äíèêîâoì производстве для распыления проявляющегося раствора при фотолитографической обработке.

Цель изобретения — повышение качества распыления путем повышения скорости движения жидкости в струе.

На фиг. 1 изображено устройство для распыления жидкости, сечение вдоль оси отверстий; на фиг. 2 — вид А на фиг. 1; на фиг. 3 — сечение Б — Б на фиг. 1.

Устройство для распыления жидкости содержит полый корпус, выполненный составным из втулки 1 и размещенного в ней стакана 2, и имеющий на внутренней поверхности отверстия 3 и выполненный на наружной поверхности по образующей корпуса паз 4, сообщенный с отверстиями 3.

Отверстия 3 выполнены в стакане 2 с продольным с:чением в виде трапеций, большие основания которых обращены к пазу 4, при этом паз 4 выполнен с поперечным сечением в виде трапеции, обращенной большим основанием к отверстиям 2. Причем наиболее хорошие результаты работы устройства достигаются в том случае, если величина большего основания трапеции паза 4 выбрана равной диаметру d меньшего основания отверстий 3, а отношение диаметра меньшего основания отверстий 2 к величине меньшего основания трапеции паза выбрано не более 1,5.

Устройство работает следующим образом.

Жидкость, например проявляющий раствор, под давлением подается в полость втулки 1 и оттуда попадает в полость стакана 2. Через отверстия 3 она распыляется наружу в виде струи. Благодаря форме отверстий 3 уже на входе в паз 4 струи от каждого отверстия 3 преобразуются в линейную струю, скорость движения жидкости в которой несколько меньше на выходе, чем на входе. Благодаря тому, что форма паза 4 имеет на выходе сечение в 1,5 раза меньшее, чем на входе. скорость движения

20 жидкости в линейной струе при отрыве от втулки 1 увеличивается, что значительно улучшает качество распыления за счет стабилизации ламинарности и равномерности потока.