Устройство для измерения геометрических параметров
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в магаиностроении, метрологии, геодезии, геофизике и других областях преимущественно для линейных измерений. Целью изобретения является обеспечение увеличения диапазона при измерении расстояний за счет уменьшения погрешностей флуктуации оптического тракт а. Устройство содержит источник излучения, интерферометр , опорное зеркало которого укреплено на пьезоэлементе, и фотоприемник, установленный на выходе интерферометра. Генератор пилообразного напряжения, связанный с пьезоэлементом, и умножитель частоты с коэффициентом умножения с,// (где а - амплитуда смещения пьезоэлемента с опорным зеркалом в интерферометре ) позволяют с помощью синхронного детектора выделять составляющую сигнала фототока с амплитудой , пропорциональной огибающей интенсивности интерференционного сигнала, и с частотой df /Д, где I - частота генератора. На амплитуду выделяемого сигнала флуктуации среды не оказывают влияния. 1 ил. i СЛ IsD 4i СЛ оо 00 4
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (51) 4 G 01В 21/02
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Н АBTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21 ) 357 9386/ 24-28 (22) 12,04.83 (46) 23.07..86, Бюл. Р 27 (71) Владимирский политехнический институт (72) А.С.Медовиков (53) 53) 7 (088. 8) (56) Авторское свидетельство СССР
N - 1026010, кл.G 01 В 21/00. 1979. (54) УСТРОЙСТВО gJIH ИЗМЕРЕНИЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в машиностроении, метрологии, геодезии, геофизике и других облас" тях преимущественно для линейных измерений. Целью изобретения является обеспечение увеличения диапазона при измерении расстояний за счет уменьшения погрешностей флуктуаций
„„Я0„„1245884 А i оптического тракта. Устройство содержит источник излучения, интерферометр, опорное зеркало которого укреплено на пьезоэлементе,и фотоприемник, установленный на выходе интерферометра. Генератор пилообразного напряжения, связанный с пьезоэлементом, и умножитель частоты с коэффициентом умножения с1/1 (где а — амплитуда смещения пьезоэлемента с опорным зеркалом в интерферометре) позволяют с помощью синхронного детектора выделять составляющую сигнала фототока с амплитудой, пропорциональной огибающей интенсивности интерференционного сигнала, и с частотой 4 f /P, где — частота генератора. На амплитуду выделяемого сигнала флуктуации среды не оказывают влияния. 1 ил.
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использована, в машиностроении, метрологии, геодезии, геофизике и других областях преимущественно для линейных измерений.
Цель изобретения — обеспечение увеличения диапазона при измерении расстояний путем уменьшения погрешностей флуктуаций оптического трак(245884 разность хода интерферирующих пучков; длина волны.
Источник 7 в виде генератора пилЬобразных звуковых колебаний с помощью пьезоэлемента и опорного зеркала интерфераметра 2 модулирует разность хада интерферирующих пучков па пилообразному. закону, что приводит
10 к модуляции интенсивности та.
На чертеже изображена блок-схема устройства, Устройство содержит источник 1 излучения, интерфераметр 2, опорное зеркало которого. укреплено на пьезоэлементе, фотоприемник 3, установленный на выходе интерферометра, схему обработки сигнала в виде синхронного детектора 4, измерителя 5 амплитуды, умножителя 6 частоты и источника 7 переменного напряжеt ния. Источник 7 переменного напряжения выполнен в виде генератора пилообразных звуковых колебаний и соединен с пьезоэлементом опорного зеркала интерферометра 2 и через умножитель 6 частоты — с одним входом синхронного детектора 4, другой вход которого соединен с выходом фотоприемника 3, а выход — с входом измерителя 5 амплитуды.
Устройство работает следующим образом.
Излучение от источника 1, пройдя через интерферометр 2, создает на фотоприемнике 3 интерференционную картину с интенсивностью
+) +7 j /$ 2П Р Д 7 /У(Ь)/.ад((Я+а Г1Л. 2 (2) Так как изменение модуля функции ! 5 когерентнасти достаточно плавное, та при изменении разности хода будет изменяться только фаза, записанная в выражении (2). Синхронный детектор 4 выделяет амплитуду 20 сигнала 2Л,Т lf(на иастсте af !h, где <л — амплитуда смещения зеркала, которую измеряют измерителем 5 амплитуды. Ф а р м у л а и э о б р е т е н и я Устройство для измерения геометрических параметров, содержащее источник излучения, интерферометр, опор 30 ное зеркало которого укреплено на пьезоэлементе, фотоприемник, установленный на выходе интерферометра, схему обработки сигнала, источник переменнога напряжения, соединенный с пьезоэлементам, и измеритель амплитуды, а т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью обеспечения увеличения диапазона при измерении расстояний, схема обработки сигнала выполнена 4g в виде соединенных последовательно умножителя частоты, вход которого соединен с.выходом источника перемен наго напряжения в виде генератора пилообразных звуковых колебаний, и синхрочного детектора, второй вход которого соединен с фотоприемником, а выход — с измерителем амплитуды, 1245884 Составитель Е.Глазкова Редактор А.Козориз Техред М.Ходанич Корректор,М.Пожо Заказ 3985/3) Тираж 670 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб,, д.4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г,ужгород, ул.Проектная, 4
