Компенсационный объектив для контроля формы вогнутых асферических поверхностей

 

Изобретение относится к оптическому приборостроению и позволяет увеличить апертуру контролируемых поверхностей. Объектив содержит фокусирующий компонент из исправленного на сферическую аберрацию объектива 1 и выпукло-плоской линзы 2, за которым установлена менисковая линза 3. Задний фокус фокусирующего компонента расположен на плоской поверхности линзы 2. При контроле поверхностей определяют форму волнового фронта, образованного отраженными от поверхности лучами 4. Объектив применим для контроля асферических поверхностей высших порядков с апертурным углом 60°. 1 ил. (Л ю оо о со

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3831926/24-10 (22) 27.12.84 (46) 30.07.86. Бюл. № 28 (71) МВТУ им. Н. Э. Баумана (72) Д. Т. Пуряев и Н. Н. Кулакова (53) 771.351.7 (088.8) (56) Пуряев Д. Т. Методы контроля оптических асферических поверхностей. М.: Машиностроение, 1976, с. 136 †1.

Авторское свидетельство СССР № 202547, кл. G 01 В 11/30, 1964. (54) КОМПЕНСАЦИОННЫЙ ОБЪЕКТИВ

ДЛЯ КОНТРОЛЯ ФОРМЫ ВОГНУТЫХ АСФЕРИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ

ÄÄSUÄÄ 1247809 А1 (5y) 4 G 02 В 9/12 //G 01 В 11/24 (57) Изобретение относится к оптическому приборостроению и позволяет увеличить апертуру контролируемых поверхностей. Объектив содержит фокусирующий компонент из исправленного на сферическую аберрацию объектива 1 и выпукло-плоской линзы 2, за которым установлена менисковая линза 3.

Задний фокус фокусирующего компонента расположен на плоской поверхности линзы 2. При контроле поверхностей определяют форму волнового фронта, образованного отраженными от поверхности лучами 4.

Объектив применим для контроля асферических поверхностей высших порядков с апертурным углом 60 . 1 ил.

1247809

Формула изобретения

Составитель В. Архипов

Техред И. Верес Корректор В. Вутяга

Тираж 50! Г!одписное

ВНИИПИ Государственно: о комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раугдская наб., д. 4!5

Филиал ППП «Г1атент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Редактор H.1Бвыдкая

Заказ 4121!46

Изобретение относится к оптическому приборостроению, в частности к устройствам для интерференционного контроля формы асферических поверхностей оптических деталей.

Цель изобретения — увеличение апертуры контролируемых поверхностей.

На чертеже изображен компенсационный объектив, схема его применения и ход лучей в нем.

На схеме обозначены: 1 — компонент, исправленный на сферическую аберрацию (объектив); 2 — выпукло-плоская линза; 3— менисковая линза; 4 — контролируемая асферическая поверхность; à — задний фокус системы, состоящей из первого компонента и выпукло-плоской линзы; o. — апертурный угол; Z, О, Y — начало координат для асферической поверхности.

Компенсационный объектив действует следующим образом.

Первый компонент 1 (объектив) формирует сферический волновой фронт, апертура которого увеличивается в п раз (и — показатель преломления линзы 2) после выхода лучей из линзы 2. Конструктивные параметры объектива 1 и линзы 2 выбраны так, что задний фокус F фокусирующего компонента, состоящего из компонентов и 2, располагается на плоской поверхности линзы 2. Лучи, вышедшие из точки F, поступают на менисковую линзу 3 и направляются по нормалям к контролируемой поверхности 4, после отражения от которой повторяют свой путь в обратном направлении. Лучи, отраженные от поверхности 4, оздают анализируемый волновой фронт, форму которого определяют либо по результату взаимодействия с волновым фронтом сравнения, либо по эталонному волновому фронту, создаваемому интерферометром, либо с помощью вспомогательных оптических элементов.

Например, у компенсационного объектива для контроля асферической поверхности, меридиональный профиль которой задан уравнением вида у = Az+ Bz + Cz", 10 крайняя нормаль к асферической поверхности наклонена к оптической оси на угол

51"; апертурный угол o = 54, относительное отверстие первого компонента равно 1:2.

Остаточная волновая аберрация всей системы в двойном ходе лучей не превышает

0,07л, где Х = 632,8 нм — длина волны. изобретение может использоваться для контроля асферических поверхностей высших порядков с апертурным углом o = 60, в частности для контроля эллиптических поверхностей, образованных вращением эллипса вокруг малой оси.

Компенсационный объектив для контроля формы вогнутых асферических поверхностей, содержащий фокусирующий компонент из исправленного на сферическую аберрацию объектива и выпукло-плоской линзы, от.гинающийся тем, что, с целью увеличения апертуры контролируемых поверхностей, за фокусирующим компонентом установлена менисковая линза, обращенная вогнутостью к выпукло-плоской линзе, а задний фокус фокусирующего компонента совмещен с плоской поверхностью выпукло-плоской линзы.