Односторонний вакуумный клапан шиберного типа

 

Изобретение относится к арматуростроению . Цель изобретения - повышение надежности. Клапан имеет электропривод с редуктором и микропереключатели , что позволяет полностью автоматизи|)овать операции управления. В корпусе клапана установлен зазор с кареткой, связанный с редуктором электропривода, а на каретке закреплен ползун с клапаном, герметизирующим фланец патрубка в крайнем положении . На электроприводе закреплены микропереключатели, фиксирующие затвор в крайнем положении. 3 з.п« ф-лы, 13 ил. (Л с

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (19) (11) (51) 4 F К 51 02.

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ, «:» ; „:..

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ

К А BTOPCHOlVIY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3913119/23-08 (22) 14.06.85 (46) 07. 12,86. Бюл. N 45 (72) Н.И. Белобоков, В.М. Ляпин и В.А. Макаренко (53) 621.646(088.8) (56) Патент США Р 4044993, кл. 251-158, 1977.

Авторское свидетельство СССР

Р 966373, кл. F 16 К 3/18, 1978.

Авторское свидетельство СССР

I 429212, кл. F 16 К 3/04, 1973. (54) ОДНОСТОРОННИЙ ВАКУУМНЫЙ КЛАПАН

ШИБЕРНОГО ТИПА (57) Изобретение относится к арматуростроению. Цель изобретения — повышение надежности. Клапан имеет электропривод с редуктором и микропере" ключатели, что позволяет полностью автоматизировать операции управления.

В корпусе клапана установлен зазор с кареткой, связанный с редуктором электропривода, а на каретке закреплен ползун с клапаном, герметизирующим фланец патрубка в крайнем положении. На электроприводе закреплены микропереключатели, фиксирующие затвор в крайнем положении. 3 s.n. ф-лы, 13 ил.

1275175

Изобретение относится к арматуро- строению и может быть использовано в вакуумной аппаратуре.

Цель изобретения — повышение надежности работы путем обеспечения 5 автоматизации герметизации патрубков установок.

На фиг. 1 изображена кинематическая схема кпапана, вид спереди; на фиг. 2 — разрез Л-А на. фиг. 1, затвор !О в крайнем переднем положении; на фиг. 3 — то же, в крайнем заднем положении; на фиг. 4 — разрез 8-Б на фиг. 2, затвор в запертом положении; на фиг. 5 — то же, в открытом состоя- 1> нии; на фиг. 6 — разрез B-B на фиг.2, соединение электронривода с корпусом и механизмами клапана; ча фиг. 7 то же, соединение коммутатора с ходовым BHHT ом; на фиг. 8 — разрез 1. --Г на фиг. 2, соединение роликов каретки с направляющими корпуса; на фиг.9 разрез Д-Д на фиг, 2, соединение электроцвигателя с редуктором; на фиг. 10 — вид Е на фиг. 7, соединение пружины коммутатора; на фиг„11 вид Ж ча фиг. 7, соединение пружины коммутатора с крышкой редуктора„" на фиг. 12 — вид 3 на фиг. 7, положение плоского лепестка тяги коммутатора в зв канале ходового винта штока; на фиг.13" соединение Г-образного рычага со штоком и опорно-присоединительной вилкой торцового съемного фланца.

Клапан содержит коробчатый корпус

1 прямоугольного сечения, образованного двумя боковыми 2 и двумя присое" динительно-монтажными стенками-верхней 3 и нижней 4, в каждой из которых выполнено rro отверстию 5 и б и О присоединительному фланцу 7 и 8,которые расположены соосно между собой.

По периметру отверстия 5, на внутренней стороне стенки 3, закреплен элемент 9 герметизации, например резиновое кольцо (фиг. 1-6), Внутри корпуса 1 на боковьис стенках 2 закреплены по одной направляющей 10 каждая из которых имеет .по две взаимно параллельные опорные поверхности 11, расположенные параллельно, и по одной поверхности 12, расположенные перпендикулярно плоскости элемента 9 герметизации (фиг.8), На передней стенке 13 корпуса 1 закреплен опорный вкладыш 14 с зацепом 15. Задняя час.ть корпуса 1 имеет присоединительный фланец !б, закрытый торцовым съемным фланцем 17, герметизирующий корпус 1 (фиг. 1-3).

На съемном фланце 17 выполнены на внешней стороне цилиндрический патрубок 18 с винтовой резьбой 19 на конце 20 и цилиндрическим каналом 21, расположенными перпендикулярно плоскости фланца !6, на:знутренней стороне — опорно-присоединительная вилка

22 с двумя направляющими продольными пазами 23 и 24, расположенными в плоскости, параллельной оси проходных отверстий 5 и 6 корпуса 1, и имеющими по две опорные 25 и 26 и .одной упорной 27 поверхностями в каждом пазу 23 и 24, и с одним присоединительным пазом 28, выполненным на конце одной из направляювпгх 29: вилки 22, в плоскости, перпендикулярной этой бси, и имеющим проушины 30, с закрепленной в их цилиндрических отверстиях осью 31., на которой вращательно подвижно закреплен Г-образный двуплечий рычаг 32. Одно плечо 33 последнего соединено посредством серьги 34 и осей 35 и 36 = вильчатой проушиной 37 каретки 38 затвора 39, второе плечо

40, посредством дугообразной серьги

41, оси 42 и оси 43, на торцах которой закреплены опорно-направляющие ролики 44 и 45, расположенные в соответствующих направляющих пазах 23 и

24 вилки 22 и взаимодействующие с их опорньпж 25 и 26 и упорной 27 поверхностями, соединено с вильчатой проушиной 46 штока 47, имеющего ходовой винт 48 и цилиндрический бурт 49,расположенный между ходовым винтом 48 и проушиной 46 и соединенный герметизирующим сильфоном 50 " торцом 51 цилиндрического патрубка 18 (фиг.1-3, 8 и 13) °

В корпусе 1 установлен затвор 39, каретка 38 которого посредствЬм двух горизонтальных осей 52 и закрепленных на них четырех опорных роликов

53 соединена с опорными поверхностями 11 и четырех вертикальных осей 54. с закрепленными на них опорными роликами 55, с опорными поверхностями 12 направляющих 10 корпуса 1 и посредством четырех серег 56 — с осями 57 ползуна 58 (фиг. 1-6), На ползуне 58 винтовым выступом

59 закреплен запорный герметизирующий клапан 60, имеющий герметизирующую поверхность 6 !.

127

Каретка 38 имеет на торце с проушиной вертикальную стойку 62 с горизонтальным отверстием 63, в котором закреплен регулируемый ограничитель 64 смещения ползуна 58, взаимодействующий с торцовой опорной поверхностью

65 ползуна 58, на переднем торце регулируемый по длине ограничитель 66 перемещения каретки 38, упирающийся в опорную поверхность 67 вкладыша 14 (фиг. 4 и 5).

Ползун 58 на переднем торце имеет упорный ролик 68, закреппенный на оси в проушинах 69 ползуна 58 и упирающийся в поверхность 67 и зацеп 70, входящий в зацепление с зацепом 15 вкладьппа 14 (фиг. 1, 4 и 5).

В каретке 38 выполнено вертикальное отверстие 71, в котором закреплен упор-ограничитель 72 сближения ползуна 58 с кареткой 38, взаимодействующей с опорной поверхностью 73 ползуна 58 (фиг. 8).

Ползун 58, кроме того, соединен.с кареткой 38 двумя спиральными пружинами 74, закрепленными на стержнях

75 в подпружиненном состоянии и размещенными в боковых выборках 76 каретки 38 (фиг. 1 — 5).

На цилиндрическом патрубке 18 флан ца 17 посредством накидной гайки 77 закреплен быстросъемный электропривод 78 с коммутатором 79 крайних положений затвора 39 и червячным редуктором 80, у которого выполнено: 35 в ступице 81 червяка 82 — осевой канал-муфта 83, соединенный шпонкой 84 скольжения с валом 85 электродвигателя 86, в ступице 87 червячного колеса 88 — маточная резьба 89, соеди- 40 ненная и взаимодействующая с ходовым винтом 48 штока 47, а на подшипниковой крышке 90 — цилиндрический уступ

91, соединенный и взаимодействующий с накидной гайкой 77 и торцом 51 пат- 5 рубка 18 фланца 17 (фиг. 8 и 9) .

На наружной крьппке 92 подшипника

93 червячного колеса 88 редуктора 80 закреплена винтами 94 фигурная лирообразная пластинчатая пружина 95 с двумя боковыми Г-образными лепестками 96, расположенными крестообразно относительно центра пружины 95, один из которых соединен с кнопкой микропереключателя 97 крайнего переднего, 55

-другой — с кнопкой микропереключателя 98 крайнего заднего положений зат вора 39. В центральном отверстии 99

4 соосно со ступицей 87 .l . üìчного ко леса 88 гайками 100 закреплен цилиндрический упор 101 с осевым каналом

102 и тягой 103 с плоским лепестком

104 на конце. Наружный конец тяги

108 закреплен в канале 102, а в ходовом винте 48 штока 47 выполнен осевой цилиндрический канал 105, в устье которого закреплена упорная пробка 106 с щелевидным отверстием 107, размеры которого соответствуют размерам плоского лепестка 104 тяги 103, причем наружный торец 108 пробки 106 упирается в торец 109 цилиндрического упора 101, а внутренний торец 110 удерживает лепесток 104, расположенный в канале 105 ходового винта 48 перпендикулярно плоскости щелевидного отверстия 107 упорной пробки 106 (фиг. 6, 7, 10, 11, 12) .

Клапан присоединен фланцем 7 к фланцу 111 вакуумной камеры, внутренний объем которой он герметизирует от окружающей среды. К негермети-. зируемому фланцу 8 может быть присоединен фланец 112 другой вакуумной ка,меры транспортно-передающего устрой,ства, средства вакуумирования, или он может оставаться открытым на атмосферу. Газовый состав или величина давления газа внутри корпуса 1 будут такими же, что и внутри объема присоединенного устройства (фиг. 1).

Клапан работает следующим образом..

Через соединительный электрокабель от ЭВМ или переключающего устройства подается питание на электро- двигатель 86 электропривода 78. Вращение вала 85 со шпонкой 84 скольжения через осевой канал-муфту 83 пере дается червяку 82 редуктора 80.

Червяк 82 вращает соединенное с ним червячное колесо 88 со ступицей

87. Резьбовое соединение 89 сообщает возвратно-поступательное движение ходовому винту 48, штоку 47 с цилиндрическим буртом 49 и сильфоном 50, проушине 46 с осью 43 и опорно-направ ляющими роликами 44 и 45 и заднему торцу дугообразной серьги 41. Ролики

44 и 45 обкатывают поверхность 26 направляющих продольных пазов 23 и 24 опорно-присоединительной вилки 22,не касаясь поверхностей 25. Сильфон 50 растягивается и обеспечивает герметизацию пространства между торцом 51 цилиндрического патрубка 18 и цилиндрическим буртом 49 штока 47.

1275175 d

Второй торец дугообразной серьги 41 с осью 42 и коротким плечом 40

Г-образного двуплечего рычага 32 перемещается по дуге вокруГ оси .31.

Дугообразная впадина серьги 41 охватывает ступицу рычага 32 в соединении его посредством оси 31 с присоедини"-. тельным пазом 28 направляющей 29 вилки 22 (фиг. 13), При этом ролики 44, и 45 переносят нагрузки на вилку 22 10 фланца 16 корпуса 1 и предотвращают возникновение моментов кручения: и изгиба в структуре сильфона 50, а паз

28 направляющей 29 исключает колебания рычага 32, серьги 41 и штока

47 в плоскостях, параллельных осям

42, 43 и 31.

Длинное плечо 33 рычага 32, вращаясь вокруг оси 31, перемещает ось

35, серьгу 34, .ось 36 и каретку 38 с вильчатой проушиной 37 и затвором

39 (фиг. 3). Стрелки а поясняют направление перемещения штока 47,стрелки — дугообразной серьги 41 н пле25 ча 40 рычага 32, стрелки (— плеча

33 рычага 32 и серьги 34, угол 8 относительное положение плеча 33 и серьги 34 при крайнем заднем положении затвора 39. При крайнем переднем

30 положении затвора 39 угол В приближается в 180 (фиг. 2). Стрелки 2 поясняют направление перемещения затвора 39.

Подачей реверсивного электрспитания на электродвигатель 86 создается З5 работа кинематической схемы клапана и перемещение затвора 39 в обратном направлении. Изменяют на обратное направление вращения вал 85 электродвигателя 86, червяк 82 и червячное колесо 88 редуктора 80. Движутся в обратном направлении ходовой винт

48, шток 47 с сильфоном 50 и проушиной 46, ось 43 с опорно-направляющими роликами 44 и 45, задний торец

45 дугообразной серьги 41. Ролики 44 и

45 обкатывают поверхности 25 направляющих продольных пазов 23 и 24 вилки 22, не касаясь поверхности 26. 5О

Сильфон 50 сжимается. Г-образный двуплечий рычаг 32 вращается на оси

31 и перемещает ось 35, серьгу 34,,ось 36 и затвор 39 в крайнее переднее положение. 55

Движение деталей механизмов клапана в обратном направлении происходит до момента упора роликов 44 и 45 в упорные поверхности 27 пазов 23 и 24 вилки 22 (фиг. 6).

Этот момент и определяет крайнее переднее положение затвора 39. В это время длинное плечо 33 рычага 32 и серьга 34 в соединении осью 35 образуют угол l3 равный 180 .

Герметичное эапирание клапана осуществляется перемещением каретки 38 затвора 39 в направлении от съемного фланца 17, т.е. в крайнее переднее положение. Каретка 38 перемещается из крайнего заднего в крайнее переднее положение и наоборот иа роликах

53 по поверхностям 11 и на.роликах

55 по поверхностям 12 направляющих

10 боковых стенок 2 корпуса 1. Она может =овершать только прямолинейные возвратно-поступательные движения. Вместе с кареткой 38 перемещаются все детали затвора 39: ползун

58 с осями 57, серьгами 56, проушинами 69, упорным роликом 68 и зацепом 70; клапан 60 с винтовым выступом 59 и герметизирующей поверхностью

61; ограничители 64, 66 и 72 перемещения спиральные пружины 74 со стержнями 75.

В свободном положении ползун 58 с клапаном 60 под действием пружин

74 смещены вперед и прижаты опорной поверхностью 73 к упору-ограничителю

72 (фиг. 8). Между герметизирующей поверхностью 61 клапана 60 и элементом 9 герметизации имеется зазор h,; между "..орцами зацепов 70 ползуна и

15 корпуса — горизонтальный зазор, а серьги 56 наклонены вперед на угол

1.

Пружины 74 растягиваются, сжимают ся, перемещаются вместе с затвором

39 и вращаются на стержнях 75 в боковых выборках 76 каретки 38 (фиг. 3), не касаясь при этом поверхностей каретки 38, ползуна 58 и направляющих

10.

При движении вперед каретки 38 первыми достигают крайнего переднего положения ползун 58 с упорным роликом 68 и зацепом 70 и клапан 60.

Ролик 68 упирается в опорную поверхность 67 вкладыша 14 передней стенки 13 корпуса 1. Каретка 38 продолжает двигаться вперед, подкатываясь под ползун 58 до упора ограни чителя 66 в поверхность 67 (фиг.4).

Серьги 56 поворачиваются на осях 52 до вертикального положения. В этом

1275175 положении угол равен нулю, ползун

58 давит на клапан 60, герметизирующие поверхности 61 деформируют сечение элемента 9 герметизации и создают герметичное соединение клапана 5

60 с фланцем 7, зацеп 70 входит в зацепление с зацепом 15 кладыша 14, ролик 68, вращаясь на оси проушины

69, поднят перекатыванием по поверх— ности 67, пружины 74 растянуты и

10 давят на стержни 75, стремясь сблизить ползун 58 с кареткой 38, торцовая опорная поверхность 65 ползуна

58 упирается в ограничитель 64 стойки 62 каретки 38, что исключает возможность смещения серег 56 на угол, больший заданного. Так выполняется положение Закрыто".

Положение "Открыто" выполняется работой механизмов в обратном направ- 20 лении и в обратной последовательности, Отводится назад каретка 38 с осями 52 и 54, роликами 53 и 55, серьгами 56, стойкой 62, ограничителями

64 и 66 (фиг. 4 и 5). Зацеп 15 удерживает зацеп 70, а вместе с ним ползун 58 и клапан 60 в крайнем переднем положении, серьги 56 поворачиваются на осях 52 на угол

Происходит разгерметизация соеди нения поверхности 61 клапана 60 с элементом 9 герметизации фланца 7.

При этом преодолевается сила избы1 точного давления газов на клапан 60 со стороны отверстия 6.

Клапан 60 с ползуном 58 под действием пружины 74 смещается вперед и приближается к каретке 38. Опорная поверхность 73 ползуна 58 упирается в упор-ограничитель 72, образуются зазоры h между поверхностью 61 клапана 60 и элементом 9 герметизации и 1 между торцами зацепов 15 и 70.

В таком положении затвор 39 отво— дится в крайнее заднее положение,освобождая пространство, соответствующее цилиндрическому объему отверстий

5 и 6, через которое выйолняются соответствующие технологические операции между устройством с фланцем 112 и камерой с фланцем 111, например, перегрузка обрабатываемых деталей, откачка газов и т.п.

Выключения электродвигателя 86 Ы электропривода 78 выполняются по электрическим сигналам коммутатора 79 после выполнения операции "Открыто" и Закрыто . После выполнения опера. ции "Закрыто" наружный торец 108 упорной пробки 106 упирается в торец

109 цилиндрического упора 101 и перемещает его вместе с тягой 103 и центральной частью пружины 95. Плас.тинчатая пружина 95 давит крайним изгибом Г-образного лепестка 96 на кнопку микропереключателя 98 и включает его (фиг. 7, 8, 10 и 11).После выполнения операции "Открыто внутренний торец 110 упорной пробки 106 упирается в плечи лепестка 104 (фиг. 7 и 12) тяги 103 и влечет за собой тягу 103 вместе с цилиндрическим упором 101 и центральной частью пружины 95. Пружина 95 давит крайним изгибом второго Т-образного лепестка 96, расположенного по другую сторону от середины, на кнопку микропереключателя 97 и включает его.

Во время, когда поверхности 108 и

110 пробки 106 не касаются поверхностей t09 упора 101 и плеч лепестка

104 тяги 103, пластинчатая пружина

95 занимает нейтральное положение и

Г-образные лепестки 96 не касаются кнопок микропереключателей 97 и 98.

Они выключены, Операции нагрева корпуса I, его стенок 2 — 4 и 13 и фланца 17 во время обезгаживания внутреннего объема клапана осуществляются без электропривода 78. Он отсоединяется от цилиндрического патрубка 18 и íà его место присоединяется устройство,имеюшее маточную гайку с ручным приводом.

Отсоединение электропривода 78 осуществляется следующим образом.

Затвор 39 отводят в крайнее заднее положение, ходовой винт 48 занимает крайнее переднее положение (фиг.3) отвинчивают накидную гайку 77 с винтовой резьбы 19 конца 20 паурубка

18 и освобождают цилиндрический уступ

91 подшипниковой крышки 90 от соединения с торцом 51 патрубка 18,после чего затвор 39 незначительно смещается вперед. Поворачивают электропривод 78 на 90 в положение, при котором плоскости лепестка 104 тяги

103 и щелевидного отверстия 107 пробки 106 совпадают. Включается электродвигатель 86 или поворачивается вручную червяк 82 редуктора 80 до полного вывинчивания ходового винта 48 из осевого отверстия 89 червячного колеса 88, отсоединяют электропривод

78 от торца 51 цилиндрическогс патрубка 18 вместе с накидной гайкой

77, коммутатором ?9, червячным редуктором 80 и тягой 103 с плоским лепест ком 104. 5

Операции присоединения электропривода 78 и устройства с ручным управлением к торцу 51 патрубка 18 выполняется в обратной последовательности. 10

Клапан имеет несколько пар соединений, посредством которых осуществляется регулирование оптимальных условий работы механизмов.

Положение герметизирующей поверхности 61 запорного герметизирующего клапана 60 относительно герметизируемых поверхностей элемента 9 герметизации и фланца 7 корпуса 1 устанавливают ввинчиванием винтового высту- щ па 59 клапана 60 в резьбовое отверстие ползуна 58 и проставкой калиброванной прокладки между сопрягаемыми поверхностями клапана 60 и ползуна

58; ограничителя 66 каретки 38 отно- 25 сительно плоскости 67 вкладыша 14— ввинчиванием ограничителя 66 в резьбовое отверстие переднего торца каретки (фиг. 4 и 5); ограничителя 64 относительно торцовой опорной поверхности 65 ползуна 58 — ввинчиванием ограничителя 64 в горизонтальное отверстие 63 вертикальной стойки 62 каретки 38; упора-ограничителя 72 относительно опорной поверхности 73 пол35 зуна 58 — ввинчиванием ограничителя

72 в вертикальное отверстие 71 каретки 38..

Оптимальное положение ограничителей 64, 66 и 72 фиксируют контргайками о

Положение торца 109 цилиндрического упора 101 коммутатора 90 (фиг.7, 10, 11) относительно наружного торца

108 упорной пробки 106 устанавливают перемещением в радиальном направлении центра фигурной лирообразной пластинчатой пружины 95 на поверхности наружной крьппки 92 подшипника

93 и креплением ее винтами 94, в осевом направлении — цилиндрического упора 101 в центральном отверстии 99 пружины 95 двумя гайками 100, навинченными на наружную резьбовую поверх ность упора 101; плоского ленестка 55

104 относительно внутреннего торца

110 и щелевидного отверстия 107 пробки 106 (фиг. 12) — ввинчиванием тяги

175 10

103 в осевой резьбовой канал 102 упора 101 и креплением ее контргайкой,.

Иикропереключатели 97 и 98 включаются в то время, когда затвор 39 еще не достиг своего крайнего положения и выключаются с задержкой после того, как затвор достиг своего крайнего положения. В электросхеме управления электроприводом 78 предусмотрена блокировка по току, что исключает длительную перегрузку электродвигателя 86.

Формула изобретения

1. Односторонний вакуумный клапан шиберного типа, содержащий корпус прямоугольного сечения с двумя соосно расположенными проходными отверстиями, выполненными в стенках корпуса с присоединительными фланцами, на одном из отверстий имеется герметизирующий элемент, направляющие, закрепленные на боковых стенках и взаимодействующие с опорными роликами каретки затвора, в котором установлены ползун, соединенный с помощью серег с кареткой, и закрепленный на ползуне клапан с герметизирующим эластичным кольцом, пружины возврата и опорный ролик ползуна, установленный с возможностью контакта с торцовым упором каретки и зацепом ползуна, взаимодействующим с опорным вкладьппем и зацепом корпуса, и герметично прикрепленную к корпусу крьппку-фланец, отличающийся тем, что, с целью повьппения надежности работы, на внешней стороне крьппки-фланца выполнены цилиндрический патрубок с винтовой резьбой на конце, установленным на нем электроприводом и цилиндрическим каналом, расположенными перпендикулярнс плоскости крьппкифланца, а на его внутренней стороне установлена опорно-присоединительная вилка с двумя направляющими продольными пазами, расположенными параллельно оси проходных отверстий корпуса, причем в каждом пазу выполнены по две опорных и одной упорной поверхности, а на конце одной из вилок в плоскости, перпендикулярной ее оси, выполнены проушины, в которых расположена ось и на ней с возможностью вращения закреплен Г-образный двуплечий рычаг, одно плечо которого соединено посредством серьги с кареткой затвора, а другое — с помощью

1275175

10

6 2

Put.Ã

25 серьги дугообразной формы, на торцах которой закреплены опорно-направляющие ролики, расположенные в соответствующих направляющих пазах опорноприсоединительной вилки, соединено с электроприводом через шток, на котором выполнен цилиндрический бурт, герметично соединенный сильфоном с торцом цилиндрического патрубка.

2. Клапан по п.1, о т л и ч а ю— шийся тем, что электропривод набжен микропереключателями крайних положений и червячным редуктором, кинематически связанным с затвором.

3. Клапан по пп. 1 и 2, о т л и— ч а ю шийся тем, что на редукторе закреплена пластинчатая пружина с двумя боковыми Г-образными лепестками, расположенными крестообразно 20 относительно ее центра, один из которых соединен с микропереключателем крайнего заднего положения, а другой— с микропереключателем крайнего переднего положения, и выполнен упорный элемент с осевым каналом и тягой с плоским лепестком на конце, а в ука1 занном штоке выполнен осевой цилиндрический канал, в устье которого закреплена упорная пробка с щелевидным отверстием, размеры которого соответствуют размерам плоского лепестка тяги, причем наружный торец упорной пробки взаимодействует с упорным элементом, а внутренний удерживает лепесток тяги, расположенной в канале штока, перпендикулярно плоскости щелевидного отверстия упорной пробки.

4. Клапан по п.1, о т л и ч а ю— шийся тем, что торец каретки,сое. диненный с серьгой Г-образного рычага, снабжен вертикальной стойкой, в которой закреплен регулируемый ограничитель смещения ползуна, а в корпусе каретки выполнено вертикальное отверстие, в котором закреплен упорограничитель сближения ползуна с кареткой.

1275175

5g УР уу . УЯ,Яф

7Я г

Л

4 б

У5

УЮ

УР У/я

Фиг. 6

5И Eb y

57 (,9 :;

76

Ю .-.

О з = ж

38

5У 53 у 7 „Я f

1 Я l5 74

Ус и Л

Х7 б7

f9 д 4 1Р75 бб

1275!75

Г- I

4Ьа. 8

Фиг. 13

ЯНИИПИ Заказ 6546/28 Тираж 880 Подписное

Произв.-полигр. пр-тие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Односторонний вакуумный клапан шиберного типа Односторонний вакуумный клапан шиберного типа Односторонний вакуумный клапан шиберного типа Односторонний вакуумный клапан шиберного типа Односторонний вакуумный клапан шиберного типа Односторонний вакуумный клапан шиберного типа Односторонний вакуумный клапан шиберного типа Односторонний вакуумный клапан шиберного типа Односторонний вакуумный клапан шиберного типа 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к оборудованию вакуумных приборов и может быть использовано для герметичного перекрытия двух высоковакуумных объемов с перепадом давления в диапазоне 10-5 - 10-7 Па

Изобретение относится к оборудованию вакуумных приборов и может быть использовано для герметичного перекрытия двух высоковакуумных объемов с перепадом давления в диапазоне 10-5 - 10-7 Па

Изобретение относится к оборудованию для термического напыления порошкообразных материалов, к интерфейсу сменного сопла для использования с плазменной пушкой для термического напыления

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к сверхвысоковакуумным коммутационным устройствам и может найти применение для перекрытия магистралей ускорителей заряженных частиц

Изобретение относится к трубопроводной арматуре и можут быть использовано в высоковакуумной аппаратуре

Изобретение относится к вакуумной технике и предназначено для использования в клапанных цельнометаллических соединениях
Наверх