Источник ионов

 

Изобретение относится к ускорительной технике. Цель изобретения - повьшение надежности и уменьшение габаритов источника ионов. По мере расходования распыляемого электрода (Э) 2, содержащего рабочее вещество, увеличивается положительный потенциал на сборнике 4. В скрещенных магнитном поле В и электрическом поле Е, образующемся в системе сборник 4-разрядная камера 3, происходит дрейф плазмы ч сторону Э 2 со скоростью V .р Е + + B/Bj. Выполнение сборника 4 изолированным , размещение его вдоль противоположной металлической накладки 5, а также расположение Э 2, сборника 4 рабочего вещества и металлической накладки 5 в проекции разрядной камеры 3 на N полюс по часовой стрелке исключает расплавление Э 2, т.е. последний при сборке устанавливается на границе пучка первичных электронов. Источник позволяет осуществить продолжительную работу в режиме, обеспечивающем стабильный пучок ускоренных многоразрядных ионов твердых веществ. 2 ил. i (Л 0N3 vl СО 4 4 Фиг,

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ЗСЕС! Р - -: —;

1 13,, 1

1 с

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3878880/24-21 (22) 11.01.85 (46) 07.08.87. Бюл. К - 29 (71) Объединенный институт ядерных исследований (72) Ю.П.Третьяков (53) 621.384.6(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Р 637894, кл. Н 01 J 37/34, H 05 H 13/00, 1976.

Авторское свидетельство СССР

И . 502422, кл. Н 01 J 37/34, Н 05 Н 13/00, 1976. (54) ИСТОЧНИК ИОНОВ (57) Изобретение относится к ускорительной технике. Цель изобретения— повышение надежности и уменьшение габаритов источника ионов. По мере расходования распыляемого электрода (Э)

2, содержащего рабочее вещество, уве„„SU,„, 1279447 А1

Д11 4 H 01 J 37/34) H 05 Н 13/00 личивается положительный потенциал на сборнике 4. В скрещенных магнитном поле В и электрическом поле Е, образующемся в системе сборник 4-разрядная камера 3, происходит дрейф плазмы сторону Э 2 со скоростью 7 = Е „ +

+ В/В . Выполнение сборника 4 изолироBBHHhM размещение его вдоль противоположной металлической накладки 5, а также расположение Э 2, сборника 4 ра— бочего вещества и металлической накладки 5 в проекции разрядной камеры

3 íà N полюс по часовой стрелке исключает расплавление Э 2, т.е. последний при сборке устанавливается на границе пучка первичных электронов. Источник позволяет осуществить продолжительную работу в режиме, обеспечивающем стабильный пучок ускоренных многоразрядных ионов твердых веществ.

2 ил.

1279447

Изобретение относится к ускорительной технике, а именно к ионным источникам циклотронов, ускоряющих многозарядные ионы.

Поэтому источник снабжен дистанционным механизмом перемещения распыляемого электрода.

Целью изобретения является повышение надежности и уменьшение габаритов ð источника ионов.

На фиг.1 изображен источник ионов, сечение в медианной плоскости электромагнита; на фиг.2 — то же, вертикальный разрез. 15

На держателе 1 закреплен распыляемый электрод 2, который введен в разрядную камеру 3. В разрядной камере

3 установлен изолированный сборник 4 рабочего вещества, к которому подклю- 2р чен положительный полюс регулируемого выпрямителя (на чертеже не показан).

На боковой поверхности разрядной камеры 3 закреплена металлическая накладка 5 со щелью. 25

Ф

Извлекающий электрод б установлен напротив щели. Катод 7 и антикатод 8 расположены соосно с разрядной камерой 3 и параллельно оси 9 электромагнита (ыа чертеже не показан). Векторы 3р магнитного поля В и электрического поля Е задают направление скорости дрейфа плазмы 7

Работа устройства происходит следующж образом.

По мере расходования распыляемого электрода 2, содержащего рабочее вещество, увеличивают положительный потенциал н» сборнике 4. В скрещенных

:1»гнитном поле В и электрическом поле !., образующемся в системе сборник 4 р;içðÿапая камера 3, происходит дрейф плазмы в сторону распыляемого электро..та 2 се скоростью ч Р х В с;

В"-!!а фиг.1 схематически показаны траек о.. м гонов, бомбардирующих распы.-.я емьп ; е,. ектро „ . Таким образом под.-,.ерживается »данный ток распыляемо5Р 0 электрод» и пе расход рабочего веществ».

В распоряжение оператора циклотрона постунае быстрый, в отличие от механического перемещения способ возЭ

55 действия на распыляемый электрод. Полное-ью исключаются ошибочные дейст1чы: B источнике с подвижным держателем . .лектрода при черезмерной подаче электрода в разряд, когда электрод попадает под пучок первичных электронов с катода, он расплавляется. B предлагаемом устройстве такое положение исключается: распыляемый электрод при сборке устанавливается на границе пучка первичных электронов, т.е. уровень с проекцией края катода, а в дальнейшем за счет расходования рабочего вещества распыляемая грань электрода только удаляется от этой границы.

Предлагаемый источник позволяет осуществить продолжительную работу в режиме, обеспечивающем стабильный пучок ускоренных многоразрядных ионов твердых веществ (например кобальта). Ликвидация механизма перемещения распыляемого электрода позволяет сконструировать компактный источник многозарядных ионоь твердых веществ.

Формула изобретения

Источник ионов, содержащий электромагнит с N и Я полюсами, в зазоре между которыми параллельно оси электромагнита установлены расположенные соосно катод, разрядная камера и антикатод, причем на боковой поверхности разрядной камеры закреплена металлическая накладка, содержащая эмиссионную щель, напротив которой установлен извлекающий электрод, а во внутренней полости разрядной камеры в области, ограниченной накладкой, размещены распыляемый электрод с рабочим веществом и сборник рабочего вещества, причем плоскость основания указанного сборника параллельна, а плоскость торца распыляемого электрода перпендикулярна плоскости накладки, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности и уменьшения габаритов, сборник распыленного вещества выполнен изолированным, расположен вдоль противоположной металлической накладке боковой поверхности разрядной камеры и подключен к положительному полюсу дополнительно введенного регулируемого выпрямителя, который своим отрицательным полюсом подключен к разрядной камере, при этом распыляемый электрод, сборник рабочего вещества и металлическая накладка в проекции разрядной камеры на N полюс размещены по часовой стрелке соответственно.

1279447

Редактор О.Стенина

Заказ 3611/1 Тираж 698 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Производственно-полиграфическое предприятие,г.ужгород,ул.Проектная,4

Уд

Составитель Ю.Самошенков

Техред М.Моргентал Корректор N.Шароши

Источник ионов Источник ионов Источник ионов 

 

Похожие патенты:

Циклотрон // 1114317

Микротрон // 1102480

Изобретение относится к плазменной технике и предназначено для вакуумного ионно-плазменного нанесения тонких пленок металлов и их соединений на поверхность твердых тел

Изобретение относится к области металлургии, в частности к распылительному катоду для процессов нанесения покрытий в вакуумной камере, и может найти применение в машиностроении при изготовлении изделий с нанесенным покрытием

Изобретение относится к источнику фильтрованной плазмы вакуумной дуги (варианты) и способу создания фильтрованной плазмы

Изобретение относится к способу травления магнетронным распылением в вакуумной камере (2) металлической полосы (4), движущейся на опорном валке (3) напротив противоэлектрода (5)
Наверх