Способ определения кислорода в пленках кремния

Авторы патента:

G01N31/22 - с помощью химических индикаторов (G01N 31/02 имеет преимущество)

G01N21/77 - путем наблюдения за действием химического индикатора

1. Способ определения кислорода в пленках кремния, включающий нанесение пленки кремния, определение количества материала пленки и последующую количественную регистрацию, отличающийся тем, что, с целью повышения точности, параллельно наносят контрольную пленку на подложку, не реагирующую со щелочами, весовым методом регистрируют количество нанесенной пленки, обрабатывают раствором щелочи, определяют в ней кремний спектрофотометрическим методом и по разности веса пленки и количества кремния судят о количестве кислорода.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что кремний переводят в молибденокремниевый комплекс с последующим его восстановлением.

Похожие патенты:

Способ определения кобальта // 1276984

Изобретение относится к области аналитической химии, а именно к способам фотометрического определения кобальта, и может быть использован при анализе объектов сложного состава в химической и металлургической промышленности

Способ определения никеля // 1275285

Изобретение относится к аналитической химии, а именно к способам определения никеля, и позволяет повысить селективность определения в широком интервале щелочности и экспрессность определения

Способ определения титана (п) // 1273793

Изобретение относится к области аналитической химии, а именно к способам определения титана (П ) в присутствии титана ( Iff ) , и позволяет повысить точность и расширить диапазон определяемых содержаний титана (у )

Способ определения воды в нефтяных и нефтехимических продуктах // 1272234

Изобретение относится к способу определения воды в нефтяных и нефтехимических продуктах и позволяет повысить точность анализа

Способ поверки фотоколориметрических газоанализаторов // 1272233

Изобретение относится к способу поверки фотоколориметрических газоанализаторов , может быть использовано при санитарно-химическом анализе воздуха и позволяет обеспечить возможность поверки

Способ определения таллия в природных и промышленных объектах // 1272232

Способ определения фосфора (y) // 1270697

Изобретение относится к аналитической химии, а именно к методам спектрофотометрическогр определения фосфора (V), и может быть использовано при анализе различньк фосфоросодержащих образцов

Способ определения мышьяка (y) // 1270694

Изобретение относится к способу определения мышьяка, может быть использовано в химической промышленности и позволяет повысить чувствительность и ускорить время анализа

Способ фотометрического определения тантала // 1269016

Изобретение относится к области аналитической химии, в частности к фотометрическим методам определения танталй с использованием органических реагентоЬ, и позволяет повысить селективность анализа танталсодержащих растворов

Способ определения меди /п/ // 1262372

Изобретение относится к способу определения меди (II), может быть использовано в химической промьшшенности и позволяет повысить чувствительность и избирательность контроля

Способ приготовления индикаторной массы для определения кислорода // 1270659

Изобретение относится к способу приготовления массы для определения кислорода, может быть использовано в химической промышленности, позволяет расширить диапазон определяемых концентраций и обеспечивает многократное использование массы