Способ изготовления тензопреобразователя давления

 

Изобретение относится к измерительной технике и позволяет упростить технологию изготовления.В полупроводниковой пластине, ориентированной в плоскости lOOl , определяют базовое кристаллографическое направление 110 , После нанесения на пластину металлического и фоторезнстивного слоев поворачивают продольную ось тензопреобразователя в любую сторону на угол 22,5 от базового направления. Создают токовые и потенциальные контакты и придают тензопреобразователю необходимую форму и толщину, подвергая пластину с нанесенным на нее в определенном месте пицеином химическому травлению. с (Л С ю со

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН (5и 4 С 01 Е 9/04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н A BTGPCHGMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3780988/24-10 (22) 06,08,84 (46) 15.02,87. Бюл. N - 6 (71) Специальное опытное проектноконструкторско-технологическое бюро СО ВАСХНИЛ (72) Е,В.Козеев, А.П.Бондарь, А.В.Ноздреватых и Н.А.Ваймер (53) 531,787(088,8) (56) Ваганов В.И. Интегральные тензопреобразователи. М,: Энергоатомиздат, 1979.

Гридчин В.А. и др, Интегральный тензопреобразователь на поперечной тензоЭДС, — Физика и техника полупроводников. Труды / НЭТИ, Новосибирск, 1976, „.SU, 1290110 А1 (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТЕНЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ ДАВЛЕНИЯ (57) Изобретение относится к измерительной технике и позволяет упростить технологию изготовления. В полупроводниковой пластине, ориентированной в плоскости 100}, определяют базовое кристаллографическое направление (110 g . После нанесения на пластину металлического и фоторезистивного слоев поворачивают продольную ось тензопреобразователя в любую сторону на угол 22,5 от базового направления. Создают токовые и потенциальные контакты и придают тензопреобразователю необходимую форму и толщину, подвергая пластину с нанесенным на нее в определенном месте пицеином химическому травлению.

1290110 и з обре т е н и я

Формула

Способ изготовления тензопреобразователя давления, включающий выполнение полупроводниковой пластины в плоскости $700j, в которой выбирают базовое кристаллографическое направление, после чего Ориентируют продольную ось тензопреобразователя Относительно него, формируют токовые и потенциальные контакты и придают

40 тензопреобразователю определенные форму и толщину, О т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью упрощения технологии изготовления, в качестве базового выбирают кристаллографическое направление t110J после чего ориентируют От этого направления продольную ось тензопреобразователя о .в любую сторону на угол 22,5 в плоСКОСТИ ПЛЯСТИНЫ.

Полев ук Корректор С.Черни

Заказ 7890/36 Тираж 799 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб,, д.4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г.ужгород, ул.Проектная,4

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к датчикам механических величин, и может быть использовано в преобразователях механических и акустических давлений в электрический сигнал.

Целью изобретения является упрощение технологии изготовления.

Способ изготовления тензопреобразователя осуществляют следующим образом.

Вырезают полупроводниковую пластину, ориентированную в плоскости

j100j. Производят определение базового кристяллографического направления (1103, например, методом скола, или по геометрии фигур травления, или методом световых фигур.

Наносят сначала сплошной металлический слой, затем слой фоторезиста.

После этого поворачивают ось фотошаблона, параллельную созданному на нем рисунку токовых контактов и перпендикулярную оси, на которой расположены потенциальные контакты от базового направления в любую сторону на угол 22,5 для плоскости (100j. Создают токовые и потенциальные контакты, например засвечивают нанесенный предварительно фоторезист через фотошаблон и проявляют его, за тем травят металлическую пленку, фор мируя таким образом металлические площадки под контакты, и производят их вжигание для получения в заданных местах омических контактов. Далее придают определенную форму и толщину тензопреобразователю, например шлифуют полупроводниковую пластину до толщины примерно в два раза больше требуемой. Наносят сплошным слоем пицеин через металлическую маску с отверстиями, которые задают внешнюю геометрическую форму тензопреобрasователя, расплавляя его паяльником, термически испаряя в вакууме, при этом надежно закрывая пицеином токовые и потенциальные контакты.

Затем снимают маску и опускают олуСоставитель 0 °

Редактор А.Лежнина Техред A.Êðàâ÷ проводниковую пластину (с нанесенным на нее пицеином в определенном мес те) в химический травитель и травят ее до получения необходимой для тен5 зопреобразователя толщины.

Формирование таким образом формы и толщины тензопреобразователя позволяет улучшить стабильность его рабочих характеристик, так как не происходит образование дефектов и дислокаций, которые образуются при механической резке и влияют на временную стабильность параметров. Представляf5 ется возможность варьирования толщиной тензопреобразователя, что важно при его практическом использовании.

Групповой способ изГОт вления тензопреобразователей осуществляется аналогично способу изготовления еди20 ничного тензопреобразователя, необходимо только мультиплицировать рисунок на фотошаблоне. Разделение пластины с и элементами осуществляется путем защиты пицеином каждого и дальнейшего травления до разделения пластины на отдельные тензопреобразователи.

Способ изготовления тензопреобразователя давления Способ изготовления тензопреобразователя давления 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и позволяет улучшить линейность выходной характеристики датчика

Изобретение относится к измерительной технике и позволяет уменьшить погрешности измерения

Изобретение относится к диагностике двигателей с впрыском топлиУ на и позволяет повьгсить точность устройства за счет увеличения отношения сигнал/шум

Изобретение относится к измерительной технике и используется для измерения давлений жидких и газообразных сред

Изобретение относится к приборостроению и позволяет уменьшить погрешность измерения в условиях воздействия высоких температур и быстроменяющихся давлений

Изобретение относится к измерительной технике и позволяет уменьшить; погрешность измерения в диапазоне низких давлений за счет исключения влияния температурных деформаций

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике-и позволяет повысить надежность преобразователя в условиях вибрации и ударных нагрузок

Изобретение относится к приборостроению и позволяет повысить качество продукции путем снижения температурного градиента и уменьшением металлоемкости

Изобретение относится к конструированию и технологии производства чувствительных элементов для датчиков давления, расходомеров и акселореметров

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к микроэлектронным измерительным преобразователям перепада давлений, и может быть использовано для измерения перепада давлений жидких и газообразных сред, например в расходомерах перепада давлений в качестве дифференциального монометра

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, в частности к тензометрическим датчикам давления

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано при разработке малогабаритных полупроводниковых высокочувствительных преобразователей деформации и температур

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для регистрации давления различных сред

Изобретение относится к области измерительной техники и автоматики и может быть использовано в малогабаритных полупроводниковых электромеханических преобразователях разностного давления газообразных или жидких веществ в электрический сигнал

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при измерении давления агрессивных жидких и газообразных сред

Изобретение относится к преобразователям давления в дискретный электрический сигнал и может быть использовано автоматизированных системах управления
Наверх