Способ изготовления полюсных наконечников

 

Изобретение относится к технике магнитной записи и воспроизведения информации и позволяет упростить технологию изготовления наконечников при уменьшении их магнитного сопротивления. На листе из магнитно-мягкого материала осаждают через маску тонкопленочные площадки 3 из немагнитного материала. После вакуумного напыления на площадки 3 магнитно-мягкого материала на полученную трехслойную заготовку 6 наносят с двух сторон слой фоторезиста . Затем вводят заготовку 6 в полость двустороннего фотощаблона 7, совмещая его рисунок 8 с площадками 3. Формирование конфигурации полюсных наконечников осуществляют двусторонним фототравлением заготовки, для чего ее после экспонирования , проявления и задубливания помещают в серную кислоту. 4 ил. i GO О hO со со Фиг.З

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (д) 4 б 11 В 5/127, 5/31

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3932961/24-10 (22) 23.07.85 (46) 07.04.87. Бюл. № 13 (71) Киевский научно-исследовательский и конструкторский институт периферийного оборудования (72) О. Н. Анпилогов, В. М. Галанский, Л. Н. Карлуков, С. Н. Миронов, В, М. Недоступ и О. В. Харламов (53) 681.84.083.8 (088.8) (56) Патент Японии № 56-52367, кл. G 11 В 5/12, 1981.

Патент С Ш А. № 4436593, кл. G ll В 5/12, 1984.

„„SU„„1302319 д1 (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛЮСНЫХ НАКОНЕЧНИКОВ (57) Изобретение относится к технике магнитной записи и воспроизведения информации и позволяет упростить технологию изготовления наконечников при уменьшении их магнитного сопротивления. На листе из магнитно-мягкого материала осаждают через маску тонкопленочные площадки 3 из немагнитного материала. После вакуумного напыления на площадки 3 магнитно-мягкого материала на полученную трехслойную заготовку 6 наносят с двух сторон слой фоторезиста. Затем вводят заготовку 6 в полость двустороннего фотошаблона 7, совмещая его рисунок 8 с площадками 3. Формирование конфигурации полюсных наконечников осуществляют двусторонним фототравлением заготовки, для чего ее после экспоHèðîвания, проявления и задубливания помешают в серную кислоту. 4 ил.

1302319

Изобретение относится к технике магнитной записи / воспроизведения.

Цель изобретения — упрощение технологии изготовления полюсных наконечников при уменьшении их магнитного сопротивления.

На фиг. 1- — 4 изображены стадии изготовления полюсных наконечников.

Способ осуществляют следующим образом.

На лист 1 из магнитно-мягкого мате- !О риала, например ленточного пермаллоя, тол-! циной 20---100 мкм осаждают (вакуумным напылением) при вакууме 10" мм рт.ст. со скоростью 10 — -100 А/с через маску 2 тонкопленочные площадки 3 из немагнитного материала, например титана, с вырезом 4 на одной из сторон при темпер3Турс нагрева листа 300 — -400 C (фиг. 1).

Затем (фиг. 2) проводят осаждение (вакуумное напыление) при вакууме 10" мм рт.ст. со скоростью 5---15 мкм/мин слоя 5 маг- О пиTIlo-мягкого материал3, например, перxlаллоя, толщиной 20 — 100 мкм на тонкопленочные площадки 3 из немагпитного материала с получением трехслойной заготовки 6.

Затем заготовку 6 обезжиривают и наносят слой фоторезиста с двух сторон и высу- 25 шивак)т его при. комнатной температуре.

После этого (фи<. 3) полученную заготовку 6 с фоторезистом вводят в полость двустороннего фотошаблона 7 и при помощи, например, микроскопа llpo(50äÿò совмещение тонкопленочных площадок 3, видиMbfx сквозь слой 5 магнитно-мягкого материала и фоторсзист с рисунком прозрачного фотошаблона 7. (1p» этом рисунок 8 одной из сторон фотошаблона 7 предварительно совмещен с рисунком 9 другой стороны фотошао;!она 7 (фи(. 4) 33!ем iipn- 35 водят двустороннее фототравление с получением полюсного наконечника из листового и полюсного наконечника из осажденного материалов, разделенных рабочим зазором на стороне тонкопленочной площадки 3, прилежащей к стороне с вырезом 4.

Двустороннее фототравление можно, fiaпример, выполнять следующим образом. Заготовку 6 с нанесенным фоторезистом экспонируют, проявляют и задубливают в терм ош кафу.

Окончатслы!у!о опера!1!ИО травлспия Осуществляют в серной кислоте (о полного растворения незащHILLcifllbfx фоторезпсl ом мест заготовки.

Форщла изобретения

Спо< oб изготовл IIHJJ полюсиых наконечников, заключающийся и том, что формируют трехслой;<ую заготовку путем oc3êäåния н3 нижний ма JIHTlfblH слой иемагHHTПОГО И HCPX II PI М (! ГНИТ!101 О С, IOCВ, На ffOCHT н3 53I oòoâêv фоторсзист и формируюl конфИ ГУ Ра ЦИ!О 110Л !ОС11Ы Х П)!КОН(ЧНИ КОИ ФОТОтравлением заготовки, от.!ини)ои1ийея тем, что, с целью упрощения технологии изготовления полюспых наконе llf)IKof3 при уменьшении Нх магнH1 ногÎ сопротивления, при

g)0Plv1HPOf53ffHH ТРСХС, 1ОНПОИ З31 ОТ015КИ Н3 нижниЙ !(!11!И!!т15ыи с IOH из )13I питно-мяГКОГО ЛИСТ(1 OC3)K;13 JOT IOP(.:5 М(!СКУ II(Х13ГнитныЙ слОЙ Б I3H;Lc TOJIKoflл()llo II!I>lx II, IOI E3док, фоторезист наносHT с jвух сторон заготовки, а нрп формировании копфигураПИ И ПОЛ ЮСН ЫХ П 3 ОПЕ Ill 3 KGII OCVIIICCTB„ 1 ЯЮТ двусторопнес фо!итра!)лени(заг<гговки с 1юмощью LJ)ócгоронпеi о фотоп13блопа, рисунок

1 O T O P O I 0 C O 15 )1 C I I i; I 10 Т (Т O f l K O I I, I C i l < J × 1 Ь1 М И I i, 1 0ЩЗДКЗМИ ПЕМЗГIIII J JJOI O C,JOE!.

Г! !» ь н; . > ь > . Е н » н о > >.

1>ол>>н>ор И. 11нно.>нй:, н Тс.: р!., I! 13ороо «о;>р, н !»; .%3. 1! н, .:

:3нказ 949,50 1 i!!>1>:+ > ..i > I I(> >н н>:но!

l3lll1И111I оо3лао тн> нного ко>>н".о>н (г> I >и>;> iii ..; :и )" р: i iiií ii >р> i! iii!

I 13035, .Чос>>нн, Ж .35. н н> нн i;;;:r>.. н. -1 5

I 1рон !но 1(тн(>!»>»->i>гн! гря>1>н>>ноно! iii> . : . f>; >! Г>о, I .. .н! > ро!. \ ! I f>i>>н! н I)!. 1