Раствор для травления поверхности диэлектриков перед металлизацией

 

Изобретение относится к металлизации диэлектриков, в частности металлизации основы печатных плат при получении рисунков печатных плат полуаддитивным или аддитивным способами , и позволяет достичь высокой скорости травления и большой величины. адгезии при пониженном расходе травителя. Известный травитель на основе СгО и IL SO дополнительно содержит поверхностно-активное вещество - натриевую соль ди-н-гексилового эфира сульфоянтарной кислоты (СВ-1017) при следующем соотношении, г/л: CrO-j 550- 600; H-SO 280-300; СВ-1017 0,5-1,0; И О до Г л. 1 табл. с :АР Об 0:

СОЮЗ СОНЕТСНИХ

СООИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН пи Ми>

А1 (5D 4

О г

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3913286/31-26 (22) 10.06.85 (46) 23.06.87. Бюл. У 23 (71) Научно-исследовательский институт физико-химических проблем Белорусского государственного университета им. В.И, Ленина (72) Л.В. Бондаренко и Л.И. Степанова (53) 621.794.42(088.8) (56) Bacwa M., Nenow D ° Das Beizen

von Schlagzahen Polystirol in ChromIV-ОхЫ Oberflache Surface. 1973, 14, Р 7, $. 200-206. (54) РАСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ ПОВЕРХНОСТИ ДИЭЛЕКТРИКОВ ПЕРЕД ИЕТАЛЛИЗАЦИЕЙ (57) Изобретение относится к металлизации диэлектриков, в частности ме- таллизации основы печатных плат при получении рисунков печатных плат полуаддитивным или аддитивным способами, и позволяет достичь высокой скорости травления и большой величины адгезии при пониженном расходе травителя. Известный травитель на основе

Cr0 и Н SO дополнительно содержит

4 поверхностно-активное вещество — натриевую соль ди-н-гексилового эфира сульфоянтарной кислоты (СВ-1017) при следующем соотношении, г/л СгО. 550600; Н 80 280-300; СВ-1017 0,5-1,01

Н О до 1 л. 1 табл. 1 13186

Изобретение относится к металлизации диэлектриков, в частности металлизации основы печатных плат при получении рисунков печатных плат полуаддитивным или аддитивным способами е; и может быть использовано при избирательной и неизбирательной металлизации диэлектриков, в том числе стеклотекстолита с эпоксикаучуковым адгезивом, применяемых в радиоэлектронной 10 промышленности и приборостроении.

Цель изобретения — увеличение скорости травления, адгезии осаждаемого металла к поверхности диэлектрика и уменьшение расхода ионов Cr(VI) при травлении.

Образцы стеклотекстог ита обезжиривают в 0,5 -ном моющем растворе ("Новость") в течение 5 иин при 60+5 С с последующей промывкой в проточной во- 20 де и сушкой. Затем проводят обработку образцов в диметилформамиде в течение 90 с и промывку в проточной и дистиллированной воде. Раствор травителя готовят растворением в воде

Cr03, Н SÎ (уд. вес 1,84 г/см ) и

ПА — натриевой соли ди-н-гекаилового эфира сульфоянтарной кислоты (СВ-1017);

07 2

Использование предлагаемого травителя делает процесс металлизации более экономичным, так как убыль концентрации Сг(7?) в единицу времени и на единицу площади обрабатываемого материала в растворе меньше, а скорость травления вьш е. Заметно вырастет качество металлизированного диэлектрика и его эксплуатационные характеристики, поскольку существенно возрастает адгезия металлического покрытия.

При увеличении или уменьшении содержания СгО. и Н $0, а также содержания ПАВ-1017 происходит резкое уменьшение скорости травления поверхности диэлектриков и адгезии осаждаемого металла.

Предлагаемый раствор может быть использован не только для травления

СТЗК, но и при подготовке поверхности

ABC пластмасс, полистирола, поликарбоната и Пр., причем и для этих материалов при его использовании увеличивается адгезия металла к диэлектри|ку, возрастает. скорость травления и снижается расход травителя на единицу площади диэлектрика.

После проведения операций предва- ЗО рительной подготовки поверхности с. использованием различных травителеи образцы активируются в светочувствительной композиции и экспонируются,, Затеи проводят осаждение меди из раствора тонкослойного химического меднения и гальванического меднения до толщины 20-30 мкм.

Составы раствора травителя и лог у- 40 ченные после травления характеристики приведены в таблице.

Из приведенных в таблипе данных видно, что при введении в травитег1ь

ПАВ СВ-1017 в количестве 0,5-1,0 г/л адгезия осаждаемого металла увеличи-вается в 2-2,5 раза, скорость травг ения возрастает по сравнению с известным раствором в 6-6,5 раз прн минимальном расходе шестивалентного хро- у ма. формула изобретения

Раствор для травления поверхности диэлектриков перед металлизацией, включающий хромовый ангидрид, серную кислоту, поверхностно-активное вещество на основе натриевой соли органической кислоты и воду, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью увеличения скорости травления, адгезии осаждаемого металла к поверхности ди" электрика и уменьшения расхода ионов

Сг(VI) при травлении, в качестве поверхностно-активного вещества он содержит натриевую соль ди-н-гексилового эфира суль@оянтарной кислоты (СВ-1017) при следующем соотношении компонентов, г/л1

СгО. 550-600

í„so 280-300

CB-1017 0,5-1,0

Н„.О До1л

1318607

Содврхание, г/л

Взаимодействие

ЛАВ с травите»

I лвн без рабочей нагрузки

Величина вдгезин, г/3 кк

Состав короста равлекня, /ск . нин

CB- 1 017 а --лау

ptm сульфат

0, Н,Sq (уд. вес

1,84 г/ск ) До 1,3 10 ! л

t 550 280

0 5

1,2

Концентрация

Ст (VI) соответствует ясходной концентрации после введенил ЛАВ

>400

1 3 ° !0

1,3. 10 в

0,8!Оп

1,2

1,4

1,0

0,8

«п

1 2

>400

114

40-50 и

0,2

300-320

6 5

>400 То хе

t,3 ° 10 в 1,2

° I

0,5

1,2

>400

1,3 ° 10 +

l 3 AD !0 ч

I°

l i 0

1,2

1,4

3,2 !О 15

2,0

300-320 !

80-220

O 6 tO 8,8

«и»

60 и

t,4I IO

0,8 !Оч

8 575 290

9 400 150

10 700 400

0,8

l,4

1 2

«и»

0;2

1,2

280-300

220-270

Исследование затруднено ввиду появления э объеме раствора нрнстаплов н

1,3

0,3

Лерво начала ная концентрация

Ст (VI) падает почти в 2 раза при введения

ЛАВ

0,8 До 1л 0,25 ° 10

; 1! 500 250

12 550 280

l 3 600 300

7,5

35-40

300-320

300-350

320-370

0,4 10

0 8 10«4

l,0

8,7 40-45! хз

912

Составитель Г. Сальникова.Редактор В. Петраш Техред М.Моргентал Корректор С. Черни

Заказ 2480/22 Тираж 633 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35,, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород, ул. Проектная, 4 2 600 300

3 600 300

4 600 280

5 600 280

6 600 280

7 600 280

Расход крома (VI) в единицу времени, r/íèê

Расход хрома (VI) на единицу илонлдн протрав ленной поверхности г/сн

1,2