Способ измерения давления

 

Изобретение относится к вакуумному приборостроению. Цель изобретения - повьппение точности измерения давления в автоматизированных системах управления. Электронный ток ка-. тода регулируется по закону, определяемому приведенным соотношением. При соблюдении приведенной зависимости между электронным током катода и ионным током градуировочная характеристика ионизационного вакуумметра становится монотонной во всем интервале измеряемых давлений. 1 ил. со ю а со ю 4

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (дц 4 G 01 L 21/30

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТ0РСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3982599/24-10 (22) 29.11.85 (46) 30.07.87.Бюл.й 28 (72) А.А.Биршерт . (53) 531.787 (088.8) ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (56) Лекк Дж. Измерение давления в вакуумных системах. N.: ИЛ, 1966, с. 108.

Кузьмина В.В., Левина Л.Е., Творогов И. В. Вакуумметрическая аппаратура техники высокого вакуума и течеискания. М.: Энергоатомиздат, 1984, с.159.

„„SU„„1326924 А 1 (54) СПОСОБ И31"П:РЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ (57) Изобретение относится к вакуумному приборостроению. Цель изобрете- ния — повышение точности измерения давления в автоматизированных системах управления. Электронный ток ка- . тода регулируется по закону, определяемому приведенным соотношением.

При соблюдении приведенной зависимости между электронным током катода и ионным током градуировочная характеристика ионизационного вакуумметра становится монотонной во всем интервале измеряемых давлений. 1 ил.

1326

924 2

Р =,(1/1,)""" (2) или в виде в о, / 1

Известно, что для рабочего участка характеристики ионизационного вакуумметра, ионный ток этого приббра зависит от давления и электронного тока катода следующим образом:

"1е Р где К вЂ” приведенная чувствительность манометрического преобразователя.

С учетом уравнения (4) уравнение (3) можно записать в виде

К1е P/Kl p Po (P/Po)

Отсюда, с учетом уравнения (2 ), имеем: пр- и, и;

1е I пр- и; и;

Io = COll st. о (6) Таким образом, уравнение (6) определяет ту зависимость между электронным током катода и ионным током, при соблюдении которой градуировочная характеристика ионизационного вакуумметра становится монотонной но всем интервале измеряемых давлений в соответствии с уравнением (1 ).

Иэ уравнения (6) и (3) можно определить требуемую занисимость электронного тока катода от давления

П II

1,/1, = (Р,/P) " . (7)

Эта линейная зависимость изображена на чертеже в виде двойной штрихпунктирной линии.

Регулировку электронного тока катода по зависимости (6 )может обеспечить микропроцессорное устройство.

Таким образом, регулируя электронныи ток катода предлагаемым способом, можно получить монотонную градуировочную характеристику иониэационного вакуумметра во всем интервале давлений, исключив разрывы градуировочной характеристики, вызываемые переключением тока катода с одного постоянного уровня на другой. Одновременно исключается влияние индивидуальных характеристик манометрических преобразователей на точность измерения давления (таких, на пример, как повьппенное газоныделение катодов при скачкообразном иэме (1/1о) = (Р/Ро) (1) 55

Из уравнения (1 ) следует, что предлагаемая градуировочная характеристи— ка может быть записана в виде

Изобретение относится к вакуумно-, му приборостроению, н частности к ионизационным накуумметрам, действие которых основано на ионизации мо(; 5 лекул газа электронным ударом и измерении силы тока образованных положительных ионов, который является функцией давления газа.

Цель изобретения — повьппение точности измерения давления в автоматизированных системах управления.

На чертеже иллюстрируется осуществление способа измерения давления. 15

На чертеже в логарифмическом безразмерном масштабе изображена пунктирной линией градуировочная характеристика ионизационного вакуумметра, работающего по известному способу при различных значениях электронного тока катода в зависимости от поддиапазона измеряемого данления.

Градуировочная характеристика I(р) дана в виде графической безразмерной 25

I/Iî оТ P/Pî rде Iо ионный ток вакуумметра, соответствующий верхнему пределу электронного тока и нижнему пределу измеряемого давления Ро °

В качестве примера взят случай, когда используются три различных значения электронного тока катода, относящиеся между собой как 1:0,1;, :0 0I. Зависимость электронного то-! Ка катода (точнее отношение 1 /1 ) от измеряемого давления (точнее, от отйошения P/Po) для известного случая изображена в нижней части чертежа штрихпунктирной ломаной линией.

В точках а-a„ b — Ь, градуировочной характеристики, соответствующих точкам с — с и d - d зависи1 I мости электронного тока катода, точнов измерение давления затруднено, 45 особенно в автоматизированных системах.

Для поньппения точности измерения давления предлагается изменить градуировочную характеристику ионизационного вакуумметра до монотонной за50 висимости, изображенной на рисунке сплошной линией, подчиняющейся зависимости

1326924 кении тока эмиссии, разброс приведенной чувствительности раэных мано метров ). ро нный

J закону, Ie

Формула изобретения где I

I е, и и, pjp, Составитель В.Шестак

Редактор А,Ревин ТехредА.Кравчук Корректор В.Гирняк

Заказ 3272/36 Тираж 776 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д .4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г.Ужгород, ул. Проектная, 4

Способ измерения давления с помощью иониэационного вакуумметра путем измерения ионного тока при одновременной регулировке электронного тока катода .и последующем расчете величины давления по градуировочной зависимости, о т л и ч а ю щ и й— с я тем, что, с целью повышения точ- 1 ности измерения давления в автоматизированных системах управления, электток катода 1 регулируют по определяемому соотношением °

I Ð Iñ = сопьС, — измеряемый ионный ток; ионный ток, соответствующий заданному верхнему пределу электронного тока катода и нижнему пределу измеряемого давления; заданный верхний предел электронного тока катода; — число порядков измеряемого давления; число порядков иэменения ионного тока.

Способ измерения давления Способ измерения давления Способ измерения давления 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к измерительной технике

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к измерению давления и паров в высоковакуумных системах

Изобретение относится к области вакуумной техники

Изобретение относится к технике вакуумных измерений, в частности к манометрам на основе иони .защГонных камер со встроенным источником радиоактивного излучения

Изобретение относится к приборостроению и позволяет повысить точность измерения давления в диапазоне среднего и высокого вакуума за счет снижения фона модуляции и улучшения сфабштьности режима элект ронйого ионизационного преобразователя давления

Изобретение относится к области вакуумной техники, а именно к измерению давления разряженного газа с помощью вакуумметров, и позволяет расширить диапазон измерений в сторону высоких давлений

Изобретение относится к приборостроению и позволяет расширить диапазон измерений давления паров щелочных металлов в сторону низких давлений

Изобретение относится к приборостроению и позволяет повысить точность измерений высокого и сверхвысокого вакуума за счет снижения инерционности регистрации нестационарного давления

Изобретение относится к технике измерения низких давлений и позволяет повысить надежность и безопасность в эксплуатации устройства для измерения вакуума за счет снижения амплитуды напряжения импульсов питания разрядного промежутка датчика

Изобретение относится к технике измерения вакуума и может быть использовано при создании ионизационных вакуумметров для измерения высокого и сверхвысокого вакуума. Вакуумметрический преобразователь содержит концентрически расположенные штыревой анод, полый цилиндрический холодный катод, одновременно являющийся постоянным магнитом, намагниченным в осевом направлении, и конические полюсные накладки, формирующие в активной зоне преобразователя поперечное электрическому магнитное поле. Кроме того, преобразователь содержит центрирующую шайбу, к которой крепится электродная система преобразователя. Также в преобразователь введены дополнительные электроды, на которые подается постоянное напряжение от дополнительных внешних выводов, включаемое на нижних пределах измерения, а конические полюсные накладки электрически изолированы от цилиндрического холодного катода с помощью тонких диэлектрических шайб или диэлектрических слоев, нанесенных на поверхности конических полюсных накладок, контактирующих с торцевыми поверхностями цилиндрического холодного катода; при этом конические полюсные накладки электрически соединены между собой и с корпусом, а цилиндрический холодный катод электрически соединен со своим внешним выводом с помощью дополнительного провода. Технический результат заключается в повышении точности измерений. 1 ил.

Изобретение относится к вакуумному приборостроению

Наверх