Сорбционный элемент вакуумного адсорбционного насоса

 

Изобретение относится к вакуумной технике. Цель изобретения - повышение надежности сорбционного элемента . Для этого его пластина выполнена из смеси 1 адсорбента с порошком высокотеплопроводного металла. Эквидистантно боковым поверхностям пластини размещена сетка 2, Теплопроводность и коэффициент линейного расширения смеси 1 и сетки 2 равны, что исключает возникновение внутренних напряжений при изменении т-ры элемента и обеспечивает равномерность охлаждения смеси и сетки. 1 ил. (Л с tf-/

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН (19) (1I) А1 (50 4.F 04 В 37/04

:ФГ гГФ Ц1: Р(ф .

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АBTGPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3955458/25-06 (22) 23.09.85 (46) 30.08.87. Бюл.У 32

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

f10 ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (72) В.О.Токарев, Н.Н.Павлов, В.А. Казаков, С.A. Êîòîâ, О.Е. Островский, А.В.Гоциридзе, А.В.Гудков и А.И.Рудской (53) 621.528.3(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

В 1280188, кл. F 04 В 37/02, 1985. (54) СОРБЦИОННЬП1 ЭЛЕМЕНТ ВАКУУМНОГО

АДСОРБЦИОННОГО НАСОСА (57) Изобретение относится к вакуумной технике. Цель изобретения — повышение надежности сорбционного элемента, Для этого его пластина выполнена из смеси 1 адсорбента с порошком высокотеплопроводного металла. Эквидистантно боковым поверхностям пластины размещена сетка 2. Теплопроводность и коэффициент линейного расширения смеси 1 и сетки 2 равны, что исключает возникновение внутренних напряжений при изменении т-ры элемента и обеспечивает равномерность охлаждения смеси и сетки. 1 ил.

1333835

Составитель В.Кряковкин

Техред Л.Сердюкова Корректор М.Шароши

Редактор И.Рыбченко

Заказ 3938/30 Тираж 574 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб.,д.4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r.Óæãoðoä, ул.Проектная,4

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям рабочих элементов адсорбционных насосов.

Целью изобретения является повышение надежности сорбционного элемента.

На чертеже представлен элемент, продольный разрез.

Сорбционный элемент вакуумного адсорбционного насоса содержит пластину, выполненную из смеси 1 адсор-бента с порошком высокотеплопроводного металла и армированную сеткой 2, размещенной эквидистантно относительно боковых поверхностей пластины и выполненной из материала, имеющего теплопроводность и коэффициент линейного растяжения, равные соответственно теплопроводности и коэффициенту .линейного расширения смеси.

Элемент работает следующим обра" зом. 1

В адсорбционном насосе элемент соединяется с охлаждающей поверхностью. В процессе работы смесь 1 адсорбента и порошка охлаждается и. адсорбент интенсивно поглощает газ, поступающий. в насос. Сетка 2, армирующая пластину, обеспечивает прочностные характеристики элемента при температурных деформациях, причем условие равенства коэффициентов линейного расширения « меси и материала сетки исключает возникновение внут5 ренних напряжений при изменении температуры элемента, а условие равенства теплопроводностей — равномерность охлаждения смеси и сетки. Размещение сетки эквидистантно относительно боковых поверхностей пластины также обеспечивает одинаковые температурные условия с обеих сторон сетки при охлаждении пластины с торцов, что исключает возникновение внутрен15 них напряжений, à следовательно, повышает надежность сорбционного элемента в целом при эксплуатации.

Формула изобретения

20 <.

Сорбционный элемент вакуумного адсорбционного насоса, содержащий пластину, выполненную из смеси адсорбента с порошком высокотеплопровод25 ного металла и армированную сеткой, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности, сетка размещена эквидистантно относительно боковых поверхностей пластины и

g0 выполнена иэ материала, имеющего теплопроводность и коэффициент линей. ного расширения, равные соответствен но теплопроводности и коэффициенту

Линейного расширения смеси.

Сорбционный элемент вакуумного адсорбционного насоса Сорбционный элемент вакуумного адсорбционного насоса 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет новысить технологичность и экономичность изготовления криосорбционного элемента, а также улучшить его откачные характеристики

Изобретение относится к процессам осаждения тонких пленок

Изобретение относится к способу изготовления пористых газопоглотительных устройств с пониженной потерей частиц и к устройствам, изготавливаемым этим способом

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики сорбциониого элемента

Изобретение относится к перегрузочному оборудованию и предназначено преимущественно , для погрузочных манипуляторов с гидравлическим приводом и вакуумным захватным органом

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к насосам для создания вакуума, и может быть использовано в грузозахватных вакуумных устройствах

Изобретение относится к газопоглощающим материалам, в частности к спеченным неиспаряющимся геттерам, и может быть использовано в вакуумной технике и микроэлектронике, в частности в разрядных приборах. Спеченный неиспаряющийся геттер содержит три слоя, при этом первый и третий слои выполнены из порошка сплава титан - ванадий при их соотношении, вес.%, 70:30, второй слой - из смеси упомянутого порошка сплава и интеркалированного углерода при их соотношении, вес.%, (80:20)-(99:1), толщина первого и третьего слоя составляет 20-200 среднего размера порошка сплава, толщина второго слоя составляет 1-6 толщины первого или третьего слоя, активная площадь слоев эквивалентна геометрической площади геттера не менее 500-кратного значения, при этом пористостью спеченного геттера составляет 30-60%. Техническим результатом изобретения является расширение функциональных возможностей, повышение сорбционных свойств и механической прочности. 6 пр., 1 табл., 1 ил.
Наверх