Запорная пара сверхвысоковакуумного клапана

 

И.чобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в разьемных уг1лотняюни1х узлах сверхвысоковакуум- Hoii коммутационной апнаратуры. Целью изобрегения является повышение надежности герметизации и долговечности занор- Hoii за счет уменьшения натекания HVтем предохранения уплотнительных поверхностей от попадания инородных частпц. Для этого запорная пара выполняется с применением электретных политетрафторэтиленовых пленок, имеющих противоположные заряды на седле и уплотняющем диске, при этом электретные пленки захватывают инородные нейтральные и заряженные частицы благодаря кулоновским и индукционным силам . Для обеспечения внешнего электрического поля над уплотнительными поверхностями электризованные электретные пленки размещены с внешней и внутренней сторон от уплотнительного пояска. Наличие зарядов разных знаков на пленках диска и седла, расположенных друг против друга, препятствует прохождению инородных частиц к зоне уплотнения, что уменьшает натекание. 3 ил. (Л оо СХ) ел ;о оо

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„Я0„„1348598 А 1 (1)) 4 F !6 К 5! /02, 25, 00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А BTOPCKOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (2 ) 4036!)0773! -08

j 22) 1.03.86 (46) 30. 10.87. Бю.ч. Л 40 (7!) Ч(3«ковский институт электронного Машиностроения (/2) Б. Г.,1 ьв(333 (53) 621.646 (088.8) (56) 11атснт СШЛ Ло 3973753, кл. 251 204, о и ъ б.ч и к. 1976. (54) ЗЛ11ОР11АЯ ПАРЛ СВЕРХВЫСОКОВЛКУУМ11ОГО КЛЛПА(-1А (57) (1:3(>(5р«те33ие относится к 13dK3 MII0H т«хникс и может оыть использовано в разъемны х х плоти я ю гци х 3, Зч а х с верх вы((3к(3ва кx ) Mной k(IMMóòàöèoííoé аппаратуры. Целью изобр«3«ния является повышение надежности г(рм«тизации и долговечности з 3п(3рш3й llà(II I за сч«ч уM«IIüø«IIèH IIàò«Killlия ихтем предохранения уплотнительных поверхностей от попадания инородных частиц. Для этого запорная пара выполняется с применением электретных политетрафторэтиленовых пленок, имеющих противоположные заряды на седле и уплотняющем диске, при этом электретные пленки захватывают инородные нейтральные и заряженные частицы благодаря кулоновским и индукционным силам. Для обеспечения внешнего электрического поля над уплотнительными поверхностями электризованные электретные пленки размещены с внешней и внутренней сторон от уплотнительного пояска. Наличие зарядов разных знаков на пленках диска и седла, расположенных друг против друга, препятствует прохождению инородных частиц к зоне уплoTнения, что уменьшает натекание. 3 ил.

1348598

Формула изобретения

Фиг 2

Фиг 1 (. о « I (i H il i «. > и I . М н к «и ч к и н (>

I «;(;>ко>р Л. Ренин I «iI>«((l1 8(р««корр«ктор >"(. (1б>ручнр

:3,>к;>.> 4В54 Зт 1 ирн>н 8(l;3 11онни«ное

13l ll1l11I11! о«у (нр«гв нного >»1(if>«l » (:(.(.Р (го,(«г(н(и изобретений и открыл ий ! I;3035, >Мн>скн;I. k, З5, Р»у «н«кня ннб., (4 5

11роизнод«твенно-нолигрыфич««л>н нр(н»рия(и«, i Ун(город, ул 11роектння, 4

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в разъемных уплотняющих узлах сверхвысоковакуумной коммутационной аппаратуры.

Цель изобретения — повышение надежности герметизации и долговечности запорной пары путем предохранения уплотнительных поверхностей от попадания инородных частиц.

На фиг. 1 изображена запорная пара 10 сверхвысоковакуумного клапана в открытом положении; на фиг. 2 — у зе ч уплотнения диска с электретами и диэлектриком; на фиг. 3 — узел уплотнения седла с электретами и диэлектриком.

Запорная пара сверхвысоковакуумного клапана состоит из запорного диска 1 н седла 2 с диэлектриками 3 (на(!ример, из оксида кремния). На диэлектриках 3 диска 1 и седла 2 с внешней и внутренней сторон уплотнительного пояса 4 размещены противоположно электризова нные электретные пленки5и6.

Для создания внешнего электрического поля электретные пленки выполнены из материалов с большими временами диэлектрической и дипольной релаксации, например из монозаряженного неметаллизированного политетрафторэтилена, способного годами удерживать реальные заряды. Пленки 5 и 6 создают в открытом положении клапана внешнее электростатическое поле как над собой, так и над уплотняющими поясами 4, благодаря чему происходит захват электретными пленками инородных заряженных и нейтральных частиц (из-за действия кулоновских и индукционных сил). Кулоновские силы приводят к притяжению заряженных частиц, а индукционные силы обус.чавливают притяжение нейтральных частиц путем наведения в них дипольных моментов. В закрытом положении клапана образующееся электрическое поле с внешней и внутренней стороны зоны уплотнения препятствует прохождению инородных частиц в зоне уплотнения, что уменьшает натекание.

Запорная пара сверхвысоковакуумного клапана, содержащая металлические седло и запорный диск с уплотняющими поясками, отличающаяся тем, что, с целью повышения надежности герметизации и долговечности, на седло и диск с внешней и внутренней стороны от уплотняющего пояска нанесено диэлектрическое покрытие, на котором размещены противоположно электризованные электретные п.ченки, причем пленки диска и седла, расположенные напротив друг друга, заряжены противоположно.