Магниторазрядный насос

 

Изобретение может быть использовано при откачке больших потоков водорода в электрофизических установках , в технологических процессах обработки электровакуумных приборов в среде водорода. Магниторазрядный насос (МРИ) содержит полюса 1 магнитной системы, герметичный корпус 2, катоды 3 в виде пластин с кольцевыми перемы1 ками (П) 5, анод 4 с круглыми отверстиями. Катоды 3 изготовлены из титана и установлены параллельно друг другу. П 5 соосны отверстиям в аноде 4. Против отверстий в аноде 4 расположены участки катодов, отделенные от остальной их части П 5, с об-; разованием разрядных ячеек. П 5 могут быть выполнены и в виде цилиндрических стенок, образованных в материале катодов кольцевыми ттроточками, выполненными на поверхности катода как со стороны, обращенной к аноду, i так противоположной стороны. с Изобретение увеличивает ресурс МРН.. 1 з.п. ф-лы, 2 ил. (Л с СО сл 4 05 С71 J 5 йPтk)№f |:llp l / / / 77 /// / 7 Фиг,1

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУ БЛИН (51}5 Н 01 J 41/20

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTGPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (46) 30.07. 91. Бюл. У 28 (21) 4012680/21 (22) 23. 12 ° 85 (72) С.П. Лукьянов, Е.М. Рудницкий, Е.И. Контор и С.С. Шишловский (53) 621.528(088.8) (56) Васильев Г.А. Магниторазрядные насосы. М.: Энергия,. 1970, с. 4 1-44.

Патент ФРГ Р 2365951, кл. Н 01 J 41/20, опублик. 1973. (54) МАГНИТОРАЗРЯДНЫЙ НАСОС (57) Изобретение может быть использовано при откачке больших потоков водорода в электрофизических установках, в технологических процессах обработки электровакуумных приборов в среде водорода. Магниторазрядный насос (МРН) содержит полюса 1 магнит„„SU„„1351465 А1 ной системы, герметичный корпус 2, катоды 3 в виде пластин с кольцевыми перемычками (П) 5, анод 4 с круглыми отверстиями. Катоды 3 изготовлены из титана и установлены параллельно друг другу. П 5 соосны отверстиям в аноде 4. Против отверстий в аноде 4 расположены участки катодов, отделенные от остальной их части П 5, с образованием разрядных ячеек. П 5 могут быть выполнены и в виде цилиндрических стенок, образованных в материале катодов кольцевыми проточками, выполненными на поверхности катода как со стороны, обращенной к аноду, так и с противоположной стороны. Я

Изобретение увеличивает ресурс МРН..

1 з.п, ф-лы, 2 ил.

1351465

Изобретение относится к области вакуумной техники и может найти применение при откачке больших потоков водорода в электрофизических уста5 новках, в технологических процессах обработки ЭВП в среде водорода, а также при откачке вакуумных объемов различного назначения до сверхнизких давлений в различных отраслях промы- 1О шленности.

Целью изобретения является увеличение ресурса магнитораэрядного насоса. Цель достигается за счет сни/ женйя механических напряжений в мате- 15 риале катодов при работе насоса.

Иа фиг. 1 представлена конструктивная схема рабочей части насоса; на фиг. 2 — изображена зависимость ресурса t насоса от отношения дна- 20 метра перемычки d ê диаметру d от» верстий в аноде, Устройство состоит иэ полюсов 1 магнитной системы, герметичного корпуса 2, плоских катодов 3, ячеистого 25 анода 4. Катоды выполнены с кольцевыми перемычками 5.

Катоды изготовлены из титана и установлены параллельно друг другу.

Переьа,:чки 5 соосны отверстиям в ано- 30 де 4. Таким образом, против отверстий в аноде расположены участки катодов, отделенные от остальной их части пе-,ремычками 5. Эти участки совместно с соответствующими им участками анода З5 образуют разрядные ячейки. Перемычки могут быть выполнены в виде цилиндрических стенок, образованных в материале катодов кольцевыми проточками, выполненными на поверхностях катода 4О как со стороны, обращенной к аноду (внутренняя поверхность), так и с противоположной стороны (наружная поверхность).

Работает устройство следующим образом.

При подаче на электроды высокого напряжения между анодом 4 и катодом

3 зажигается разряд в скрещенных электрическом и магнитном полях — " 5О разряд Пеннинга. Образовавшиеся поло" жительные ионы бомбардируют поверхность геттерных катодов 3, вызывая

его распыление. Откачка активных газов происходит за счет сорбции рас.пыляемым материалом катодов эа счет внедрения ионов в катоды. Инертные гази откачиваются в основном за счет внедрения ионов,.

Титан и водород. хорошо реагируют друг с другом образуя гидрид титана. Наивысшая измеренная концентрация водорода в титане соответствует соединению TiH и рассматривается

I не как химическое соединение, а как твердый раствор водорода в титане.

Раствор титан — водород имеет больший объем, чем сам титан, что приводит к возникновению в зонах внедрения водорода внутренних напряжений, вызывающих нарушение структуры геттерного материала катода, постепенное его разрушение и выход из строя.

Поверхность катодных пластин, бомбардируемая ионами, является проекций активной эоны разряда в ячейках анода, и, например, при круглых ячейках представляет собой круг, диаметр которого меньше диаметра ячейки на два циклотронных радиуса электрона, находящегося вблизи стенки ячейки анода.

Таким образом, диаметр распыляемой поверхности геттерного катода или зоны поглощения водорода равен диаметру активной эоны разряда, вследствие чего на катодных пластинах соосно разрядным ячейкам анода образуются нераспыляемые поверхности. В результате выполнения в этой нераспыляемой поверхности перемычек:выделенные места внедрения водорода свободно расширяются при увеличении их объема, не вызывая разрушения катодов.

Как показали испытания, выполнение перемычек на катодных пластинах позволяет увеличить ресурс (фиг. 2) катодов при работе на водороде и по высить надежность работы насоса в диапазоне повышенных давлений при откачке других газов.

Формула изобретения

1. Иагниторазрядный насос, содержащий магнитную систему, герметичный корпус и размещенную в нем электродную систему, состоящую из двух параллельных пластин - катодов и расположенного между ними анода с круглыми отверстиями, формирующими разрядные ячейки отличающийся тем, что, с целью увеличения ресурса насоса эа счет снижения механических напряжений в материале катодов, катоды вьп|олнены с кольцевыми, алло

600

de

10 и д

Фиг.2

Составитель В.Ким

Техред М.Ходанич Корректор Л. IIawaO

Редактор Т.Юрчикова

Тираж 316 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035» Москва, Ж-35 Раушская наб., д. 4/5

Заказ 3130

««

Производственно-полиграфическое предприятие, г.ужгород, ул.Проектная,4.

3 1351465 4 соосными:отверстиям s аноде перемыч- 2. Насос по п. 1, о т л и ч аками, обладающими меньшей жесткостью ю шийся тем, что неремачкИ в радиальном направлении, чем кольце- выполнены в виде цилиндрических вой слой материала катода постоянной стенок, расположенных между нарами толщины с наружным и внутренним ра- g кольцевых, соосных отверстиям в анодиусами, равными соответственно на- де проточек разных диаметров, вы олруяньм и внутренним радиусам пере- пенных в материале катода на иаруамычек, при этом перемычки выполнены ной по отношению к разрядной ячейке в пределах кольцевой области с на-. и внутренней его поверхностях, при руаным и внутренним днаметрами,.рав- 10 этом проточка большего диаметра вы ными соответственно диаметру отвер- полнена на внутренней поверхнбстя стия в аноде и 0 55 этого диаметра. катода.

Магниторазрядный насос Магниторазрядный насос Магниторазрядный насос 

 

Похожие патенты:

Предложена комбинированная насосная система (10), содержащая геттерный насос (12) и ионный насос (13), обеспечивающая создание сверхвысокого вакуума. Геттерный и ионный насосы (12, 13) установлены на одном и том же фланце (11) и расположены на одной и той же стороне фланца (11) в двух разных точках на нем. Конструктивное выполнение заявленной системы позволяет легко извлекать постоянный магнит из посадочного места, предотвращая его размагничивание, а также крепить магнит к фланцу различными способами, что обеспечивает повышение надежности работы системы. 7 з.п. ф-лы, 5 ил.
Наверх