Источник многозарядных ионов

 

Источник многозарядных ионов, содержащий вакуумную камеру, магниты, создающие магнитное поле остроугольной конфигурации, электроды, систему создания плазмы и систему экстракции ионов, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности источника и увеличения тока выводимых ионов, источник дополнительно снабжен двухмодовым резонатором, помещенным между одноименными полюсами магнитов, а системы экстракции ионов размещены в сквозных отверстиях, проходящих через полюса магнитов, при этом оси каналов совпадают с осями симметрии магнитов, система создания плазмы выполнена на основе одномодового резонатора, отделенного от двухмодового резонатора стенкой с отверстием для впрыскивания плазмы.