Способ получения полупроводниковых слоев двуокиси олова
Класс 32b, 44
12il, 10
48b. 11пз № 142000
a"Ñ ;Ñ0ÞÇ .! Я
1 ПАТЫ..;)ТЕХМ1М::. А 11
Ра Щ}1t г р
ОПИСАНИК ИЗОЬРКтЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИ4ЕТЕЛЬСТВУ
Подписные гргргггы №№ 145, 49 п 209
Б. П. Крыжановский и М. А. Окатов
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СЛОЕВ
ДВУОКИСИ ОЛОВА
Заявлено 27 января 961 г. за j¹ 695275/23 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Опубликовано в «Б оллетеис изооретений» ¹ 20 за 1961
Для нанесения электропроводящих,прозрачных покрытий на стекло существуют два основных способа: пиролиз двуххлористого олова и обработка нагретого стекла растворами четыреххлорпстог0 олова в спирте путем пульверизации.
При этом получаются розрачные покрытия с удельным поверхностным сопротивлением не менее 10 олг.
Попытки повысить проводимость слоя путем увеличения его толщины приводят к резкому снижению светопропускания и такие слои, по существу, являются полупрозрачными покрытиями.
Однако для промышленности требуются электропроводящие прозрачные покрытия с более высокой проводимостью, так как это позволяет значительно снизить напряжение тока, необходимого для нагрева смотровых и защитных стекол в оптических системах.
Увеличение проводимости слоев, при сохранении прозрачности, было достигнуто путем введения в решетку полупроводниковой двуокиси олова примесных атомов фтора, путем добавления фтористого аммония в исходный хлорид олова. Это дает возможность при пиролизе повысить проводимость слоев двуокиси олова в 4 — 5 раз, при сохранении высокой прозрачности.
Если же для нанесения слоев использовать метод пульверизации спиртовых растворов четыреххлористого олова, то значительного повышения проводимости при добавлении фтористого аммония получить не удается, вследствие плохой растворимости последнего в спирте.
Однако метод пульверизации широко применяется в промышленности для получения прозрачного электропроводящего листового стекла.
