Устройство для измерения парциального давления газа в вакууме

 

Изобретение относится к области вакуумной техники. Цель изобретения - повышение точности измерения. Устройство формирует импульс, длитель ность которого равна времени, в течение которого нагреватель за счет теплового излучения охлаждается на температуру л Т. Это время.однозначно связано с температурой нагревателя. Если это время больше заданного, то блок 7 управления увеличивает напряжение на нагревателе 4 до величины , сохранив соотношение (1 + -i-aiiT), и цикл измерения повторяется до тех пор, пока длительность импульса от компаратора 9 не станет равНа заданной (и„+,- напряжение, которое подается от блока 7 управления на нагреватель 4, находящийся в исходном состоянии, Л- температурный коэффициент сопротивления материала, используемого для изготовления нагревателя ) , 2 Ш1. i сл с

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ, РЕСПУБЛИК (19) (11) А1 (1) 4 С 01 ? 21/30

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ /К A BTGPCHGMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ фиг.2

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (2i) 3857479/24-10 (22) 21.02.85 (46) 15.07,88. Бюл. N - 26 (71) Киевский политехнический институт им. 50-летия Великой Октябрьской социалистической революции (72) И.В.Братко, Л.P.Ìàñëþê, А.В.Смолий и В.Б.Тихонович (53) 531.787(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

1(< 851143, кл. С 01 L 21/30, 1981 ° Авторское свидетельство СССР

11< 1008632, кл. G 01 L 21/30, 1983. (54) .УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРЦИАЛЬНОГО ДАВЛЕНИЯ ГАЗА B ВАКУУМЕ (57) Изобретение относится к области вакуумной техники. Цель изобретенияповышение точности измерения. Устройство формирует импульс, длительф ность которого равна времени, в течение которого нагреватель за счет теплового излучения охлаждается на температуру ь Т. Это время однозначно связано с температурой нагревателя.

Если это время больше заданного, то блок 7 управления увеличивает напряжение на нагревателе 4 до величины

U +, сохранив соотношение U, =U«(1+

+ ЫлТ), и цикл измерения повторяется до тех пор, пока длительность импульса от компаратора 9 не станет рав)(а заданной (U„+<-. напряжение, которое подается от блока 7 управления на нагреватель 4, находящийся в исходном состоянии, <(,- температурный коэффициент сопротивления материала, используемого для изготовления нагревателя), 2 ил.

1409870

Изобретение относится к вакуумной ехнике, а точнее к устройствам для змерения парциальных Давлений в вакууме.

Целью изобретения является повышение точности измерения.

На фиг. 1 показана конструкция

° ° атчика, на фиг. 2 — вариант исполения блока регулировки тока нагрева- 1О еля в зависимости от скорости era хлаждения.

Устроиство содержит корпус 1, слуащий для крепления выводов датчика защиты его элементов от повреждения 15 корпусе 1 установлена диэлектричесая подложка 2, на которой с одной тороны нанесен слой 3, чувствительый к давлению, а с другой — нагреваель 4, В корпусе 1 со стороны нагре- 20 ателя 4 выполнено окно 5 для отвода еплового излучения нагревателя 4.,К ходу нагревателя 4 подключен блок регулирования величины тока нагревателя 4 в зависимости от скорости его охлаждения. В качестве блока б возможно использование устройства, содержащего блок 7 управления, токовый резистор 8, компаратор 9, конденсатор 10 и диод 11. (ЗО

Устройство работает следующим образом, В исходном состоянии на нагреватель 4 от блока 7 управления подается напряжение U»<, На токовом резисторе 8 выделяется это напряжение, ко- 35 торое подается на оба входа компаратора 9. В момент времени т, блок 7 ,управления уменьшает напряжение до величины U причем

U„,= и„(1 + Ы Т) Величина напряженйя на одном из входов компаратора 9 остается неизменной за счет конденсатора 10 и диода

11, а величина напряжения U на втором входе компаратора 9 уменьшается в (1 + 4 ьТ) раз. На выходе компаратора 9 появляется выходное напряже ние (передний фронт импульса). По мере охлаждения нагревателя 4 его сопротивление падает, а ток через нагреватель 4 растет. Через время д „ этот ток станет равным первоначальному току, так как.R К„(1 +M8T) и на выходе компаратора 9 напряжение примет первоначальную величину (задний фронт. импульса) .

Таким образом, устройство формирует импульс, длительность которого равна времени, в течение которого нагреватель за" счет теплового излучения охладился на температуру дТ.

Если это время больше заданного, то блок ? управления увеличивает напряжение на нагревателе до величины

U„+, сохранив соотношение U„ и+

= U (1 + Ы ЬТ), и цикл измерения повторяется до тех пор, пока длительность импульса от компаратора 9 не станет равна заданной.

Формула изобретения

Устройство для измерения парциального давления газа в вакууме, содержащее корпус и установленную в нем диэлектрическую подложку с расположенными на ней слоем нагревателя и чувствительным слоем, о т л и ч а ю— щ е е с я тем, что, с целью повышения точности измерения, в него введен блок регулирования величины тока нагревателя в зависимости от скорости его охлаждения, подключенный к . входу нагревателя, который расположен на подложке с противоположной стороны относительно чувствительного слоя, а в корпусе со стороны нагревателя выполнено сквозное окно, 1409870

Составитель В.Казаков

Техред М.Дидык

Редактор М.Келемеш

Корректор О. Кравцова

Заказ .3472/37 Тираж 847 Подписное

ВНИИПИ Тосударственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

)13035, Москва, R-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4