Устройство для перемещения в вакууме

 

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к конструкции устройств для перемещения деталей электровакуумных и фотоэлектронных приборов в вакууме метолом переноса и др. областях. Устройство позволяет повысить долговечность и нагрузочную способность оборудования . Для этого гайки имеют зубья на наружной поверхности, а устройство снабжено по крайней мере одним дополнительным , аналогичным основному, резьбовым штоком с гайкой, имеющей на наружной поверхности зубья, обойма расположена симметрично относительно оси корпуса и на ее внутренней поверхности выполнены зубья для взаимодействия с зубьями наружной поверхности гаек. Промежуточные элементы установлены с возможностью вращения вокруг оси обоймы и выполнены в виде планок, жестко связанных с резьбовыми П1токами. Элемент герметизации выполнен в виде недеформируемого экрана, внутри которого установлено ведомое звено, соединенное с одной из планок. 1 з.п.ф-лы, 4 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 4171500/25-28 (22) 04.01.87 (46) 07.08.88. Бюл. № 29 (72) Б. П. Андреев (53) 621.833.389 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 663938, кл. F 16 К 31/50, 1977. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ

В ВАКУУМЕ (57) Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к конструкции устройств для перемещения деталей электровакуумных и фотоэлектронных приборов в вакууме методом переноса и др. областях.

Устроиство позволяет повысить долговечность и иагрузочную способность оборудо. Я0,» 14150 1 A 1 (50 4 F 16 К 31 50 F 16 Н 25 22 вания. Для этого гайки имеют зубья на наружной поверхности, а устройство снабжено по крайней мере одним допопнительным, аналогичным основному, резьбовым штоком с гайкой, имеющей на наружной поверхности зубья, обойма расположена симметрично относительно оси корпуса и на ее внутренней поверхности выполнены зубья для взаимодействия с зубьями наружной поверхности гаек. Промежуточные элементы установлены с возможностью вращения вокруг оси обоймы и выполнены в виде планок, жестко связанных с резьбовыми штоками.

Элемент герметизации выполнен в виде недеформируемого экрана, внутри которого установлено ведомое звено, соединенное с одной из планок. 1 з.п.ф-лы, 4 ил.

15001

Формула изобретения

14

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к конструкции устройств для поступательного перемещения деталей в вакууме, и может быть использовано в микроэлектронике, электровакуумном производстве для перемещения деталей электровакуумных и фотоэлектронных приборов в вакууме методом переноса и других областях.

Цель изобретения — повышение долговечности и нагрузочной способности устройства.

На фиг. 1 показано предлагаемое устройство, продольный разрез; на фиг. 2 — вид

А на фиг. 1; на фиг. 3 — вид Б на фиг. 1; на фиг. 4 — разрез  — В на фиг. 1.

Устройство имеет корпус 1, в основании которого смонтированы две и более направляющие 2, скрепленные на противоположных концах фланцев 3. Фланец 3 и основание корпуса 1 снабжены опорами 4 качения с вращающимися планками 5 с полуосями, на которых симметрично продольной оси смонтированы два или более резьбовых штока 6, взаимодействующих с резьбой гаек 7.

Резьбовые штоки 6 имеют резьбу одинакового направления (например, правую резьбу) и установлены внутри дисков 8.

Гайки 7 через промежуточные опоры 9 качения и диски 8 с опорами качения К соединены с обоймой 10, на которой устанавливают перемещаемую деталь 11. Обойма 10 снабжена зубьями, выполненными на ее внутренней поверхности, и направляющими втулками 12, выполненными из неметаллических материалов (например, на основе керамики), охватывающими направляющие

2. Вращающиеся планки 5 с полуосями соединены через муфту 13 с ведомым звеном 14.

Последнее выполнено в виде цилиндрического ротора с зубьями по его наружной поверхности, смонтированного на шарикоподшипниках 15 в вакуумном объеме. Ведущее звено 16 выполнено в виде охватывающего звено 14 толстостенного стакана (статора) с зубьями по его внутренней поверхности, смонтированного на шарикоподшипниках в корпусе 1 привода. Ведомое

14 и ведущее 16 звенья имеют одинаковое число зубьев. В зазоре между звеньями 14 и 16 расположен один элемент 17 герметизации — неподвижная герметичная немагнитная обечайка толщиной 0,5 мм в виде цилиндрического экрана с донышком. Элемент 17 уплотняется относительно плиты корпуса 1 прокладкой 18. Снаружи ведущего звена 15 установлена неподвижная электромагнитная катушка 19, а соединение звена 16 с электродвигателем 20 привода осуществлено с помощью муфты 21. Материалом для изготовления звеньев 14 и 16 служит специальная электротехническая сталь.

Устройство для перемещения в вакууме работает следующим образом.

При включении электромагнитной катушки 19 и электродвигателя 20 привода 1 вращение передается через муфту 21 ведущему звену 16 привода 1. Магнитный поток, создаваемый неподвижной электромагнитной катушкой 19, замыкается через зубья ведущего 16 (наружного) и ведомого 14 (внутреннего) звеньев, образуя своего рода их сцепление. При этом магнитный поток, создаваемый катушкой 19, заставляет вращаться ведомое звено 14 синхронно ведущему звену !6. Ведомое звено 14, находящееся в рабочем пространстве вакуумной камеры, вращается в подшипниках 15 и через муфту 13 передает вращение резьбовым штоком 6, скрепленным планками 5 с полуосями. При их вращении витки резьбы штоков 6, находящиеся в за цеплении с внутренней резьбой гаек 7, обкатываются по ее внутренней поверхности и перемещают гайку 7 и установленные на ней промежуточные опоры

9 качения, диски 8 и обойму 10 с опорами качения К и с деталью 11 в направлении продольной оси устройств, совпадающей с осью делительной окружности зубчатого венца, нарезанного на внутренней поверхности обоймы 10.

1. Устройство для перемещения в вакууме, содержащее корпус с направляющими, эксцентриковую обойму, внутри которой размешена гайка, взаимодействующий с последней резьбовой шток, соединенный с корпусом посредством промежуточных элементов, и элемент герметизации, отличающееся тем, что, с целью повышения нагрузочной способности и долговечности, гайки имеют зубья «а наружной поверхности, а устройство снабжено по крайней мере одним дополнительным, аналогичным основному, резьбовым штоком с гайкой, имеющей на наружной поверхности зубья, обойма размещена симметрично относительно оси корпуса и на ее внутренней поверхности выполнены зубья для взаимодействия с зубьями наружной поверхности гаек, а промежуточные элементы установлены с возможностью вращения вокруг оси обоймы и выполнены в виде планок, жестко связанных с резьбовыми штоками.

2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что элемент герметизации выполнен в виде недеформируемого экрана, внутри которого установлено ведомое звено, соединенное с одной из планок.

1415001

1415001

7t7

1

) (, П 1

1 !

2 и

Составитель Е. Яцук

Редактор И. Горная Текред И. Верес Корректор В. Романенко

Заказ 3858i34 Тираж 784 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытии

1 l 3035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4