Способ получения фотоакустических топограмм

 

Изобретение относится к фотоакустической микроскопии. Цель изобретения - повьшение точности за счет устранения погрешностей, связанных с нестабильностью параметров излучателя и преобразователя - достигается путем сравнения регистрируемого сигнала с,сигналом, излученным от эталонной точки. При осуществлении способа реализуется пространственная модуляция зондирующего луча 2 по одной координате с одновременным поворотом вокруг оси 5, перпендикулярной поверхности твердого тела 3 к проходящей через эталонную точку объекта. Формирование каждой строки ФА топограммы осуществляется изменением размаха пространственной модуляции зондирующего лзгча и начинается с зондирования эталонной точки. Получаемая при этом ФА топограмма характеризует изменение оптических и TenjtoBbix свойств объекта исследования по отношению к наперед заданной эталонной точке, обладающей известными или заданными физическими свойствами и выбранной по тем или иным требованиям в качестве опорной. 1 ил. (О

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (g!) 4 G 01 N 29/06

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

L 1

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

К ABTOPCHOIVlV СВИДЕТЕЛЬСТВУ,(21) 4137403/25-28 (22) 24.10.86 (46) 07.12.88.Бюл. 11- 45 (71) Киевский государственный университет им.Т.Г.!!!евченко (72) Г.И.Булах, P.-И,М.Бурбело, А.Г.Кузьмин и И.Я,Кучеров (53) 531.7 (088.8) (56) 0pt.Comm.,1983, v,36, 1! - 6, р.441. (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ФОТОАКУСТИЧЕСКИХ ТОПОГРА!"1М (57) Изобретение относится к фотоакустической микроскопии. Цель изобретения — повышение точности за счет устранения погрешностей, связанных с нестабильностью параметров излучателя и преобразователя — достигаетJ ся путем сравнения регистрируемого сигнала с,сигналом, излученным от

„„SU„„1442906 А 1 эталонной точки. При осуществлении способа реализуется пространственная модуляция зондирующего луча 2 по одной координате с одновременным поворотом вокруг оси 5, перпендикулярной поверхности твердого тела 3 к проходяшей через эталонную точку объекта.

Формирование каждой строки ФА топограммы осуществляется изменением размаха пространственной модуляции зондирующего луча и начинается с зондирования эталонной точки. Получаемая при этом ФА топограмма характеризует изменение оптических и тепЛовых свойств объекта исследования по отношению к наперед заданной эталонной точке, обладающей известными или заданными физическими свойствами и выбранной по тем или иным требованиям в качестве опорной. 1 ил.

1442906

Составитель В.Чулков

Техред Л.Сердюкова корректор М.Максимишинец

Редактор Е,Папп

Заказ 6378/41 Тираж 847 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к фотоакустической микроскопии и может быть использовано для визуализации оптических и тепловых параметров твердых тел.

Цель изобретения — повышение точности за счет устранения погрешностей, связанных с нестабильностью параметров излучателя и преобразователя путем сравнения с параметрами эталонной точки.

На чертеже представлена блок-схема устройства, осуществляющего способ.

Устройство содержит отклоняющую систему 1, направляющую зондирующий луч 2 на твердое тело 3, пьезоэлект рический преобразователь 4 ° Ось вращения преобразователя обозначена позицией 5.

Для получения строки ФА топограммы пространственную модуляцию зондирующего луча 2 осуществляют только по одной координате с одновременным поворотом твердого тела 3 вокруг оси 5, перпендикулярной его поверхности и проходящей через эталонную точку А. Это позволяет фор— мировать строку А топограммы. Для формирования второй и последующих строк ФА топограммы изменяют размах .пространственной модуляции зондирую,щего луча 2 (например, за счет изменения амплитуды напряжения, подаваемого на отклоняющую систему 1).

В качестве примера реализации предлагаемого способа получения ФА топограммы может быть использована обычная схема установки для наблюдения фотоакустического эффекта, Используется пьезоэлектрический способ регистрации сигнала. В качестве источника зондирующего луча используется луч Не-Ne лазер ЛГ-38 (0,63 мкм), Частота модуляции сос5 тавляет Е = 2119 Гц. Регистрация фотоакустического сигнала может осуществляться свободно закрепленным цилиндрическим преобразователем из пьеэокерамики. В качестве образца использовалась пластинка монокристаллического кремния п-типа, поверхность которой подвергнута химико-механической полировке ° Вращение фотоакустической ячейки, в которой располаf5 гались образец и преобразователь, может осуществляться с помощью специального поворотного столика марки

02 012 (производство ГДР), 20 Формула изобретения

Способ получения фотоакустических топограмм твердого тела, заключающийся в том, что поверхность твердого тела облучают световым лучом, возбуждают акустические волны в твердом теле, осуществляют пространственнокруговую модуляцию светового луча, с одновременным растровым сканировани30 ем луча и получают строку фотоакустической топограммы, регистрируют акусти» ческие колебания твердого тела в каждой строке и по их интенсивности судят о структуре твердого тела, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения точности, на твердом теле выбирают эталонную точку, растровое сканирование световым лучом осуществляют таким образом, что пе40 реход луча к следующему шагу на строке сканирования чередуется с возвратом его в фиксированную эталонную точку твердого тела,