Способ тестирования интегральных схем

 

Изобретение относится к микрозондовой технике. Цель изобретения - повьппение точности и информативности контроля интегральных схем. Испытуемая интегральная схема 1 облучается острофокусированным импульсным пучком 3 электронов. Импульсы вторичноэмиссионного потока преобразуют в электрический сигнал с помощью преобразователя 4 и интегрируют интегратором 5о Результат интегр ирования сравнивают с опорным напряжением с помощью компаратора 7 и по результату сравнения изменяют границу энергетической фильтрации фильтра 1,по величине которой судят об измеряемом потенциале. 2 ил. Cffiflof. инп. § (Л

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

0 l R 31/28

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

H Д ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (2)) 4269738/?4-21 (22) 22.05.87

46) 15,03.89. Бюл. М 10 (71} Московский институт электронно., го машиностроения (72) А.Н.Осипов, А.В.Суворинов, С.В.Титов и С.N.01àõáàaoâ (53) 621,317,377 (088.8) (56} Практическая растровая электронная микроскопия: Перев. с англ..

М.: Мир, 1978, с. 275 °

Fasekas Г., I euerbaum Н-P., Wolfp;anp; E. осапп1пя electron beam ргоЬев ЧТЯТ chipв. — Electronics, 1981. Ч,54, М 14 р.109. (54) СПОСОБ ТЕСТИРОВАНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЬ1Х СХЕМ

„„SU„„1465837 А1 (57) Изобретение относится к микрозондовой технике. Пель изобретения повьпление точности и информативности контроля интегральных схем, Испытуемая интегральная схема 1 облучается острофокусированным импульсным пучком 3 электронов. Импульсы вторичноэмиссионного потока преобразуют в электрический сигнал с помощью преобразователя 4 и интегрируют интегратором 5, Результат интегрирования сравнивают с опорным напряжением с помощью компаратора 7 и по результату сравнения изменяют границу энергетической фильтрации фильтра ll,ïî величине которой судят об измеряемом потенциале. 2 ил.

1465837

На фиг.1 приведена блок-схема уст; родства реализующего способ; на фиг. 2 — временная диаграмма, поясняющая работу устройства.

На фиг. 2 приняты следующие обозначенияд Н,„„„, U «„ Н вЂ” минимальИзобретение относится к микрозондовой технике и может быть использовано для контроля работоспособности интегральных схем и анализа отказов после усиленных испытаний на надежность.

Цель изобретения — повьппение точности и информативности тестирования интегральных схем путем расширения частотного диапазона измерения потенциалов в интегральной схеме.

Сущность способа заключается в том, что создают номинальный режим

1 работы тестируемой интегральной схемы и подают на ее входы импульсное

1 входное воздействие. Кристалл интегральной схемы облучают пульсирующим остросфокусированным пучком электронов, осуществляют энергетическую фильтрацию вторично-эмиссионного потока, который затем преобразуют в электрическии сигнал и усиливают его, Полученные импульсы электрического сигнала интегрируют, причем число интегрируемых в одном цикле измерений импульсов определяется требуемым отношением сигнал — шум при тестировании. Полученный в результате интегрирования выходной сигнал сравнивают

I с опорным, Установка опорного сигнала может быть осуществлена при облучении пучком электронов области тестируемой интегральной схемы с известным постоянным потенциалом, например цепей питания элементов. Опорный сигнал устанавливают таким, что выходной сигнал соответствует измеряемому потенциалу. По результату сравнения проинтегрированного сигнала с опорным ( изменяют энергетическую границу фильтрации таким образом, что раз-ность этих двух сигналов становится меньше заданного значения. При этом изменение сигнала, задающего границу энергетической фильтрации, точно соответствует изменению потенциала контролируемой области интегральной схемы по сравнению с областью, по которой установлено опорное напряжение. ное, мяксимяльное и текушеp значения напряжения на упрявляюшем электроде энергетического фильтря соответственно; Н„

Ф измеряемое напряжение; 1>„ — импульсы электронного пучка; (t) — интеграл информационного сигналя; допустимая ошибка сравнения.

На вход интегральной схемы 1 IIo- дают входной набор сигналов с частотои. . Одновременно с этим облу— чают импульсным электронным пучком

2 с частотой импульсов „ и с заданной длительностью и фазой, представленным на временной диагрямме (Фиг.2) графиком. Вторично-эмиссионный поток 3 от контролируемой области преобразуется и усиливается усилителем-преобразователем 4 и подается на вход интегратора 5. С выхода интегратора сигнал, соответствующий графику S(t) на временной дияграмме (Фиг.2), подается на вход компяратора 6, опорное напряжение U,„ ня котором задается потенциометром 7. Сигнал ошибки (больше/меньше) поступает на блок 8 последовательного изменения потенциала. Количество интегрируемых импульсов задается счетчиком 9. Энергетический фильтр состоит из вытягивающего электрода 10, управляющего электрода 11 и собиряю—

-щей сетки 12. Граница энергетичес— кой фильтрации задается выходным сигналом блока 8, Пример. Рассмотрим диаграмму, отражающую процесс измерения потенциала при Ч = 2 и последовятель— ном изменении напряжения на управляющем электроде энергетического фильтра методом деления интервала пополам. Первое значение напряжения ня управляющем электроде устанавливают равным П = U + маркс мин

U — Н мип ?

Производят интегрирование ..ву>: информационных импульсов и срявливяют с опорным напряжением, так кяк информационный интеграл ггревьппяет опору более чем ня 6, то следующее значение напряжения управлякщегo электРода устанавливают равным Г = ц + . г

Ukase Ц мин

+ — — — --r--- — --. Опять IIpoH<,Iÿò ин4 тегрирование и сравнение, 11пrегрял становится меньше опорь более чем на Ь, поэтому Uz = 11, I 4658:37 мсю кс

Rce действия повФормула изобретения

Способ тестирования интегральных схем, заключающийся в том, что в номинальном режиме работы подают на тестируемую интегральную схему периодическое входное воздействие,облучают контролируемые области тестируемой интегральной схемы остросфокусированным пучком электронов, осу-. 4 7Х

Бизе 4пп

О.УП

4Д

Рол

5(1

Составитель В.Степакин

Редактор С.Лисина Техред Л.Олийнык Корректор Л.Патай

Заказ 942/47 Тираж 7II Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, И-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул. Гагарина,101

8 торяют до тех пор, пока ошибка сравнения не достигает . В данном случае (фиг.2) измерение проведено за четыре лага, Вследствие того, что накопление сигнала ведет к увеличению отноления сигнал/лум, которое в свою очередь изменяется пропорционально току пучка и длительности импульсов, интегрирование информационных импульсов позволяет уменьшить ток первичного электронного пучка, что является определяющим фактором при тестировании интегральных схем, выполненных по технологии МОП и т,п. щс ствляют энергетическую фильтрацик вторично-эмиссионного потока, преоб— разуют отфильтрованный вторичноэмиссионный поток в электрический сигнал и усиливают его, по границе энергетической фильтрации вторичноэмиссионного потока судят о потенциале контролируемой области интеграль10 ной схемы, о т л и ч à ю шийся тем, что, с целью повышения точности и информативности тестирования интегральных схем эа счет расширения частотного диапазона измерения потен15 циалов, в интегральной схеме, облучают остросфокусированным пучком электронов область тестируемой интегральной схемы с известным постоянным потенциалом и устанавливают величи20 ну опорного сигнала, соответствующую известному постоянному потенциалу, периодически прерывают остросфокусированный пучок электронов и интегрируют заданное число импульсов электрического сигнала, сравнивают результат интегрирования с опорным сигналом и по результату сравнения изменяют границу энергетической фильтрации.