Расплав для электрохимического осаждения германиевых покрытий

 

Изобретение относится к электроосаждению германиевых покрытий из солевых расплавов и может быть использовано в радиоэлектронной промышленности. Цель изобретения - расширение технологических возможностей способа и повышение толщины покрытия. Расплав для электрохимического осаждения германиевых покрытий на подложки содержит, мас. %: германат натрия 1,5-5,0

триоксид вольфрама 1,2-2,0

вольфрамат натрия остальное. Германиевые покрытия толщиной 10-20 мкм осаждают на подложки из молибдена, графита, никеля и вольфрама.

СОЮЗ COBETCHHX

РЕСПУБЛИН (11 4 С 25 D 3/66

1" 3чц

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Ю%

° Ю

° °

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4254805/31-02 (22) 02.06.87 (46) 15.07.89. Бил. № 26 (71) Институт электрохимии Уральского отделения АН СССР (72) А. Н. Барабошкин, К. II. Тарасова, А ° А. Дягилев, А. И. Хватов и 3. С. Картемьянова (53) 621.357.7:669.783(088.8) (56) Чернов P. В. и др. Электроосаждение порошкообразного германия из солевых расплавов. — Порошковая металлургия, 1978, № 6. с. 11-13.

Патент СНА № 3983012, кл. 204-15, 1976.

Изобретение относится к электроосаждению германиевых покрытий иэ солевых расплавов и может быть использовано в радиоэлектронной промынленности.

Цель изобретения — расширение технологических возможностей способа и повышение толщины по крытий.

Согласно изобретению расплав для электрохимиче ского осаждения .-ерманиевых покрытий на подложки содержит германат натрия, триоксид вольфрама и вольфрамат натрия при следующем соотношении компонентов, мас.7,:

Германат натрия 1,5-5,0

Триоксид вольфрама 1, 2-2,0

Вольфрамат натрия Остальное

Процесс элек тролитического получения ге11маниевых покрытий из вьиеука„.SU„„1493689 A 1

2 (54) РАСПЛАВ ДЛЯ ЭЛЕКТРОХИИИ 1ЕС КОГО

ОСАЖДЕНИЯ ГЕРМАНИЕВЫХ ПОКР11ТИЙ (57) Изобретение относится к электроосаждению германиевых покрытий иэ солевых расплавов и может быть использовано в радиоэлектронной промышленности. Цель изобретения — расширение технологических воэможностей способа и повышение толщины покрытия.

Расплав для электрохимического осаждения германиевых покрытий на подложки содержит, мас.7.: германат натрия

1,5-5,0; триоксид вольфрама 1,2-2,0; вольфрамат натрия остальное. Германиевые покрытия толщиной 10-20 мкм осаждают на подложки иэ молибдена, графита, никеля и вольфрама. занного расплава осуществляется при >ай

900 С и плотности тока 0,01-0,05 A/см >ф ь в атмосфере воздуха на молибденовой графитовой, никелевой и вольфрамовой подложках. Количество германата натрия в расплаве должно быть 1,5— 00

5 мас.7.. При содержании германата натрия менее 1,5 мас.7, металлический германий получается частично в порошковой форме, не сцепленной с катодом.

Добавка германата натрия выше 5мас.7 приводит к увеличению вязкости расплава и, в конечном счете, к ухудшению сцепления покрытий германия с Ь подложкой.

Получение сцепленных с основой осадков германия позволяет получать пластины с покрытием германия нужной толщины (10-20 мкм) с параметром ре1493689

Фо рмула из обре те ния

Составитель 1О. Ипатов

Редактор М. Товтин Техред М, Дидык КорректорО.Кравцова

Заказ 4069/29 Тираж 605 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат -"Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101 щетки a = 5,6563 А, что соответствует чистому материалу. Сцепление осадков определялось по изгибу подложк- с о осадком германия под углом до 90

Пример 1. Электролиэом при

900 С на вольфрамовой подложке и плотности тока 0,01 А/см получено покрытие германия толщиной 10 мки иэ расплава следующего состава, мас.Х:

Германат натрия 1,5

Трехокись вольфрама 1,2

Вольфраиат натрия Остальное

Получено сцепленное покрытие германия °

П р и и е р 2. Электролизом при 15

900 С на молибденовой подложке и плотности тока 0,025 A/см получено покрытие германия толщиной 20 мкм.

Иэ расплава следующего состава, мас.7,: 20

Герм ан ат н ат рия 5,0

Трехокись вольфрама 2, О

Вольфрамат натрия Остальное

Получено сцепленное покрытие германия. 25

Пример 3. Электролизом при

900 С на графитовой подложке и плотности тока 0,025 A/ñì получено по2 крытие германия толщиной 20 мкм из расплава следующего состава, Мас.Х: 30

Герианат натрия 3,5

Трехокись нольфрама 2,0 .

Вольфрамат натрия Остальное

Получено сцепленное покрытие германия. 35

Пример 4. Электролизом при

900 С на молибденовой подложке и плото ности тока 0,025 А/см получено по2

1 крытие германия толщиной 10 мки иэ расплава следующего состава, мас.X:

Германат натрия 2,0

Трехокись вольфрама 1,2

Вольфраиат натрия Остальное

Получено сцепленное покрытие германия.

Как видно иэ примеров изобретенный расплав дает воэможность получать сцепленные с основой покрытия на разных чужеродных подложках, толщиной

10-20 мкм, в то время как в известном расплаве выращинаются эпитаксиальные слои германия толщиной от 0,1 д) 1 мкм на однородной подложке. Кроме того, процесс ведут ня воздухе из менее агрессивного расплава, что упрощает аппаратурное оформление.

Расплав для электрохимического осаждения герианиевых покрытий, содержащий соли германия и щелочного металла, отличающийся теи, что, с целью расширения технологических возможностей способа и понышения голщины покрытий„ он дополнительно содержит триоксид вольфрама, а в качестве солей германия и щелочного металла — германат натрия и . вольфраиат натрия соответственно при следующем соотношении компонентов, мас.Х:

Германат натрия 1,5-5,0

Триоксид вольфрама 1,2-2,0

Вольфрамат натрия Остальное