Патент ссср 154996

 

Мв 154996

Класс С 22d; 40а, 12„

СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Подпасная группа ЛЗ 1б1

Е. И, Мамонов, В. К. Переверзев, Н. Н. Афонский, Б. Н. Белов и А. Н. Павлов

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МАГHHTHblX ПЛЕНОК

Заявлено 25 июля 1962 г. за ¹ 788405/22-2 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Опубликовано в «Бюллетене изобретений и товарных знаков» М 11 за !963 г, Известны способы получения магнитных пленок с одноосной анизотропией путем возгонки электронно-лучевым или контактным, или индукционным высокочастотным разогревом в кварцевых нли алундовых тиглях магнитных сплавов в вакууме и осаждением паров на подогреваемой подложке.

Однако недостаточная индентичность стехиометрическогo состава компонентов возгоняемых материалов и полученной пленки, возмо>кность загрязнения пленки материалом тигля и подогревателей и низкая

IipoH3i3Одите.1bHocTh ) станОВОк затрудняют практическое использОВание известных способов.

Предлагается для создания ориентирующего магнитного поля и его подогрева использовать согласно намотанные спиральные подогреватели подложки и немагнитный плоский проводник с током, расположенный между подложкоЙ и подогревателем.

Этот способ обеспечивает локальные оптимальные рея(имы температурно-магнитной обработки магнитных пленок и повышает производительность изготовления пленок.

Согласно предложенному способу, исходные сплавь возгоняю: электронно-лучевым, кбнтактны31 нли индукц?10?1ным разогревом и oca»(дают пары в вакууме на подогреваемую подложку.

В случае использования проводннковых .?емагнитны. подложек роль немагнитного плоского проводника Выпол ННоТ эти подло>кки., ?ля получения сильного ориентирующего магнитного поля для ii ?огих подложек В Вакуум-сфере электро?(но-л чевой ВОЗГОИI(?1 применяется к соч нo-разорванная кольцевая система электромагнитов с согласован??ыми

¹ 154996 магнитными потоками; в разрывы между электромагнитами по периметру вокруг возгоняемого материала ставятся держатели с подложками.

Предмет изобретения

1. Способ получения магнитных пленок с одноосной анизотропией посредством возгонки электронно-лучевым или контактным (тигельным), или индукционным (тигельным) разогревом и осаждения паров на подогреваемые подложки в вакууме, отлич ающи Й ся тем, что, с целью обеспечения локальных оптимальных температурно-магнитных режимов получения пленок, для создания ориентирующего магнитного поля используют согласованно l.àìîòàííûå спиральные подогреватели подложки и немагнитныЙ плоскиЙ проводник с током, расположенныЙ между подложкой и подогревателем.

2. Способ по и. 1, отличающийся тем, что в случае применения проводниковых немагнитных подложек роль немагнитного плоского проводника выполняют эти подложки.

3. Способ по и. 1, отлич а ю щийся тем, что в случае электронно-лучевой возгонки для создания ориентирующего поля для многих подложек, укрепленных в держателях, используют симметричную относительно луча кусочно-разорванную кольцевую систему электромагнитов или катушек Гельмгольца с согласованными между собой и полем тока луча магнитными потоками, причем в разрывах между электромагнитами или катушками по периметру вокруг возгоняемого материала располагают держатели с подложками.

Сосгавитель И. М, Артамошина

Редактор В. П. Липатов Техред А. А. Камышникова Корректор Т. В, Муллина

Подп. к пен. 1/VII — 63 г. Формат бум. 70 Х 108г/16 Объем 0,18 изд. л.

Заказ 1512/10 Тираж 675 Цена 4 коп.

ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4.

Типография, пр. Сапунова, 2.

Патент ссср 154996 Патент ссср 154996 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к технологии и оборудованию для получения эпитаксиальных структур кремния методом осаждения из газовой фазы

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для получения газофазным методом высокодисперсных и ультрадисперсных порошков металлов и сплавов, а также для нанесения металлических покрытий в вакууме на металлические и неметаллические изделия, предназначенные для использования в микроэлектронике, химической технологии и других отраслях промышленности

Изобретение относится к устройствам для получения газофазным методом порошков металлов и сплавов, а также для нанесения покрытий

Изобретение относится к защитному элементу для защищенной от подделки бумаги, банкнот, удостоверений личности или иных аналогичных документов, к защищенной от подделки бумаге и ценному документу с таким защитным элементом, а также способу их изготовления

Изобретение относится к области металлургии, а именно к испарителям для металлов, и может быть использовано для изготовления металлических порошков и нанесения покрытий на различные поверхности

Изобретение относится к испарителю для металлов и сплавов и может найти применение в порошковой металлургии для получения высокодисперсных и ультрадисперсных металлов и сплавов

Изобретение относится к технике получения пленок в вакууме, в частности к устройству для вакуумного напыления пленок, и может быть использовано для эпитаксиального выращивания слоев при изготовлении полупроводниковых приборов, устройств интегральной оптики, при нанесении функциональных покрытий из металлов и кремния и т.п

Изобретение относится к устройству для вакуумного парового осаждения слоя на подложку путем облучения материала напыления

Изобретение относится к вакуумному нанесению слоев и может быть использовано для термического нанесения полимерных пленок из газовой фазы

Изобретение относится к технологии микроэлектроники, а именно к устройствам для нанесения покрытий в вакууме

Изобретение относится к технологии получения ленточных носителеймагнитной записи, Изобретение обеспечивает повьшение качества магнитной ленты, заключающееся в увеличении нагрузки, соответствующей пределу текучестн, уменьшении относительного удлинения под нагрузкой 2Н и остаточного удлинения после снятия нагрузки , за счет того, что получают магнитную ленту отливом пленочной полиэтилентерефталатной основы, двухосной ориентацией, термофиксацией и термообработкой под натяжением 10 - 30 Н/мм при 4-8-кратном удлинении на 20-40%

Изобретение относится к металлообработке, в частности к СВЧ плазменному реактору, и может найти применение в машиностроении и металлургии при изготовлении изделий с покрытиями, полученными способом плазменного парофазного химического осаждения пленок
Наверх