Криогенная форвакуумная ловушка

 

Изобретение позволяет повысить надежность и защитные свойства ловушки . Вертикальный вакуум-провод 2 для прохода откачиваемого газа выполнен в виде верхнего и нижнего соосных патрубков 3 и 4 и камеры (К) 5,размещенной в сосуде 1 Дьюара между ними . К 5 имеет диаметр, превьшающий диаметры патрубков 3 и 4, и герметично соединена с ними. Б К 5 с возможностью перемещения установлен клапан 6 с уплотнителем 7, К.5 снабжена горизонтальным и вертикальным стаканами (С) 8 и 9. С 8 герметично закреплен на боковой стенке К 5. С 9 расположен внутри К 5 и герметично подсоединен к одному из патрубков 3 и 4. С 8 снабжен сштьфоном 10, закрепленным одним концом на его днище и соединенным другим концом с клапаном 6. Трубка 11 с вентилем 12 сообщает полость сильфона 10 с атмосферой. С 9 имеет на боковой поверхности, обращенной к клапану 6, соосное с ним отверстие 13. С 9 снабжен антимиграционным кольцом 21 для предотвращения пристеночной миграции паров рабочих жидкостей в патрубок 3. 4 з.п. ф-лы, 1 ил. с S (Л

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU„„1512234

А1 (51)5 Р 04 В 37/08

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А 870РСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

Г1РИ ГННТ СССР (21) 4299945/29 (22) 21.08.87 (46) 07.01.91 Бюл. В I (72) Ю.В.Холод, В.Б.Юферов, Б.С.Гурьянов, В.Б,Нестеренко, А.А.Разумный и Н.В.Говор (53) 621.527.8 (088.8) (54) КРИОГЕННАЯ ФОРВАКУУИНАЯ ЛОВУШКА (57) Изобретение позволяет повысить надежность и защитные свойства ловушки. Вертикальный вакуум-провод 2 для прохода откачиваемого газа выполнен в виде верхнего и нижнего соосных патрубков 3 и 4 и камеры (К) 5,размещенной в сосуде 1 Дьюара между ними. К 5 имеет диаметр, превышающий диаметры патрубков 3 и 4, и герметично соединена с ними. В К 5 с возможИзобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям охлаждаемых ловушек, предназначенных для защиты откачиваеиых объемов от паров рабочих жидкостей вакуумных насосов, а также вакуумных насосов от паров воды, поступающих из откачиваемых объемов.

Цель изобретения — повышение надежности и защитных свойств ловушки.

На чертежами„представлена схема ловушки.

Криогенная форвакуумная ловушка содержит сосуд 1 Дьюара, вертикальный.вакуум-провод 2 для прохода откачиваемого газа, выполненный в виде верхнего и нижнего соосных патрубков ностью перемещения установлен клапан

6 с уплотнителем 7. К,5 снабжена горизонтальным и вертикальным стаканами (С) 3 и 9. С 3 герметично закреплен на боковой стенке К 5. С 9 расположен внутри К 5 и герметично подсоединен к одному из патрубков 3 и 4.

С 8 снабжен сильфоном 10„закрепленным одним концом íà его днище и соединенным другим концом с клапаном 6.

Трубка 11 с вентилем 12 сообщает полость сильфона 10 с атмосферой. С 9 имеет на боковой поверхности, обращенной к клапану 6, соосное с ним отверстие !3. С 9 снабжен антимиграционным кольцом 21 для предотвращения пристеночной миграции паров рабочих жидкостей в патрубок 3. 4 з.п. ф-лы, 1 ил.

Ф

СЛ

3 и 4 и камеры 5, размещенной в сосу- фй де 1 между ними, имеющей диаметр, Ю превышающий диаметры патрубков 3 и 4, и ге рме тично соединенной с ними, и установленный в камере 5 с возмож- р ностью перемещения клапан 6 с уплотнителем 7. Камера 5 снабжена горизонтальным и вертикальным стаканами 8 и 9, первый из которых герметично закреплен на боковой стейке камеры

5, а второй расположен внутри камеры

5 и герметично подсоединен к патрубку 3 или 4, причем горизонтальный стакан 8 снабжен сильфоном 10,закрепленным одним концом на его днище и соединенным другим концом с клапаном б, и трубкой 11 с вентилем 12, 1512234

1 сообщающей полость сильфона 10 с ат- мосферой, а вертикальный стакан 9 имеет на боковой поверхности, обращенной к клапану 6, соосное с ним отверстие 13, Клапан 6 снабжен размещенным в полости сильфона 10 дополнительным. стаканом 14 и расположенной в нем пружиной 15, а вертикальный стакан 9 снабжен опорой lб,закрепленной íà его днище и контактирующей с пружиной 15. Опора 16 снабжена регулировочным винтом 17-с приводом вращения в виде гибкого вала

18. Горизонтальный стакан 8 снабжен 15 размещенными в полости сильфона 10 коаксиальными обечайками 19 и 20,одна иэ которых закреплена на днище стакана 8, а другая — на клапане 6, причем обечайки 19 и 20 имеют длину, 20 меньшую, чем длина сильфона 10,.Кроме того, вертикальный стакан 9 снабжен антимиграционным кольцом 21, охватывающим отверстие 13.

Ловушка работает следующим обра- 25 зом.

Предварительно полость сильфона

10 заполняется сжатым газом (воздухом, азотом, двуокисью углерода и т.п,) от источника высокого давления, подсоединенного к входному концу трубки 11. Давление газа внутри сильфона должно обеспечивать герметичное перекрытие клапаном 6 отверстия 13, В таком положении клапана 6 вакуум-провод 2 разделен на две части и откачка через ловушку невозможна, Для обеспечения откачки газа через ловушку необходимо залить хладагент в сосуд 1 Дьюара. При этом ста- 40 кан 8, а следовательно, и сильфон

10 охлаждаются, давление в полости сильфона 10 понижается, усилие на клапан 6 уменьшается и происходит разгерметизация стыка. Пружина 15 45 способствует нормальному срабатыванию, а ее регулировка осуществляется винтом 17.

После завершения вакуумирования через вакуум-провод 2, например при достижении в откачиваемом объеме предельного вакуума, ловушка отсоеднняется от откачиваемого объема, из сосуда 1 Дьюара удаляется хладагент, вакуум-провод 2 и стакан е отогреваются, сильфон 10 закрывает клапан 6, разделяя вакуум-провод 2.

Антймиграционное кольцо 21 предназна чено для предотвращения пристеночной миграции паров рабочих жидкостей вакуумных насосов во входной патрубок

3 в период отогрева ловушки, когда усилия сильфона 10 недостаточно для полной герметизации.

После удаления конденсата ловушка вновь готова к работе.

Таким образом достигаются надежность и повышение защитных свойств ловушки.

Ф о р м у л а изобретения

1. Криогенная форвакуумная ловушка, содержащая сосуд Дьюара, вертикальный вакуум-провод для прохода откачиваемого газа, выполненный в виде верхнего и нижнего соосных патрубков и камеры, размещенной в сосуде между ними, имеющей диаметр,превьппающий диаметры патрубков, и герметично соединенной с ними, и установленный в камере с возможностью перемещения клапан с уплотнителем, о тл и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения надежности и защитных свойств, камера снабжена горизонтальным и вертикальным стаканами,первый иэ которых герметично закреплен на боковой стенке камеры, а второй расположен внутри камеры и герметично подсоединен к одному из патрубков, причем горизонтальный стакан снабжен сильфоном, закрепленным одним концом на его днище и соединенным другим концом с клапаном, и трубкой с вентилем, сообщающей полость сильфона с атмосферой, а вертикальный стакан имеет на боковой поверхности, обращенной к клапану, соосное с ним отверстие.

2. Ловушка по п.l, о т л и ч а ющ а я с я тем, что клапан снабжен размещенным в полости сильфона дополнительным стаканом и расположенной в нем пружиной, а вертикальный стакан снабжен опорой, закрепленной на его днище и контактирующей с пружиной.

3. Ловушка по п.2, о т л и ч а ющ а я с я тем, что, с целью регулирования усилия пружины, опора снабжена регулировочным винтом с приводом вращения в виде гибкого вала.

4, Ловушка по п,l, о т л и ч а ющ а я с я тем, что горизонтальный стакан снабжей размещенными в полости сильфона коаксиальными обечайками, 2234

Рецилиент

Насос

Корректор T-Малец

Техред Л.Олейник

Редактор Л.Письман

Заказ б72 Тираж 357 Подписное

ОР BHHHIIH Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ ССС

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательскин комбинат Патент, г.ужгород, ул. Га р

° ф °

Гага ина 101

151 одна из которых закреплена на днище стакана, а другая — на клапане, причем обечайки имеют длину, меньшую, чем длина сильфона.

5. Ловушка по п.1, о т л и ч а ю- 1 щ а я с я тем, что вертикальный стакан снабжен антимиграционным кольцом, охватывающим отверстие.