Интегральная схема свч

 

Интегральная схема СВЧ, содержащая макрокристалл арсенида галлия с металлизированной нижней поверхностью, на верхней поверхности которого содержатся активные и пассивные элементы, элементы с субмикронными размерами, полевые транзисторы с электродами затвора и стока, соединенными с отрезками микрополосковых линий, и с электродами истока, соединенными с нижней поверхностью через сквозное отверстие, отличающаяся тем, что, с целью увеличения степени интеграции и уменьшения теплового сопротивления, элементы с субмикронными размерами выполнены по крайней мере на одном отдельном микрокристалле, при этом полевые транзисторы на микрокристалле имеют на всех электродах выступы, расположенные в одной плоскости и сгруппированные в одной области, под которой выполнены металлизированные площадки, каждая из которых соединена с выступом соответствующего электрода, при этом указанное сквозное отверстие заполнено металлом с высокой теплопроводностью и расположено под металлизированной площадкой истока.



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано как при разработке и изготовлении полупроводниковых диффузионных резисторов, так и при изготовлении полупроводниковых интегральных микросхем

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к структурам интегральных схем с комбинированной изоляцией элементов

Изобретение относится к области электронной техники и микроэлектроники, а именно к линиям передачи

Изобретение относится к области электронной техники, а более точно касается гибридной интегральной схемы СВЧ-диапазона, и может быть использовано в полупроводниковой микроэлектронике

Изобретение относится к электронной технике, в частности к многослойной гибридной интегральной схеме СВЧ и КВЧ диапазонов, и может быть использовано в полупроводниковой микроэлектронике

Свч-модуль // 2158044

Изобретение относится к электронной технике, а более точно касается мощной гибридной интегральной схемы, и может быть использовано при конструировании мощных гибридных интегральных схем и корпусов мощных полупроводниковых приборов
Наверх