Способ изготовления сорбционного элемента вакуумного криосорбционного насоса

 

Цпособ изготовления сорбционного элемента вакуумного криосорбционного насоса путем закрепления углеродного адсорбента на металлической подложке, отличающийся тем, что с целью повышения механических характеристик соединения адсорбента с подложкой и улучшения откачных характеристик, предварительно напыляют на одну из поверхностей адсорбента слой высокотеплопроводного металла толщиной 15-30 мкм, затем слой припоя толщиной 5-20 мкм, наносят припой на поверхность подложки, размещают на ней адсорбент и создают механическую нагрузку, а закрепление адсорбента на подложке осуществляют путем их нагрева до температуры плавления припоя в атмосфере инертного газа или в вакууме с последующим охлаждением и снятием механической нагрузки.

союз советсних социалистичесних

РЕСПУБЛИК

ÄÄSUÄÄ 45007 (51)5 г 04 В 3 /04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ по изОБРетениям и ОтнРытиям

ПРИ ГКНТ СССР

И A BTOPGHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3814215/25-06 (22) 29.09.84 (46) 23.02.90. Бюл. Г 7 (71) Институт физики металлов Уральского научного центра АН. СССР и Науч- но-производственное обьединение "Иикрокриогенмаш" (72) С.М.Клоцман, И.Ш.Трахтенберг, С.А.Матвеев, С.А.Плотников, О.М.Ба кунин,. А.В.Громов, Л.Л.Штейн, Т.Н.Ждановских, А.P.Êîýìåö и В Е.Горякин (53) 621.528.3 (088.8) (56) Патент Великобритании h". 1278299, кл. Р 1 И, опублик. 1972.

Куприянов В.И. и др. Криоадсорбци" онный элемент для высоковакуумных на сосов. - В сб.: Вопросы атомной науки и техники. Сер.: Общая и ядерная физика. - M., ЦНИИатоминформ, 1984, вып. 1/26, с. 17.

Изобретение относится к вакуумной; технике, а именно к технологии изго-1.

I товления рабочих элементов вакуумных криосорбционных насосов.

Целью изобретения является повышение механических характеристик соединения адсорбента с подложкой и улучшение откачных характеристик элемента.

Способ изготовления сорбционного элемента вакуумного криосорбционного насоса заключается в закреплении уг леродного адсорбента на металлической подложке, причем предварительно ,напыляют на одну из поверхностей ад2 (54) (57) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СОРБЦИОННОГО ЭЛЕМЕНТА ВАКУУМНОГО КРИОСОРБ-, ЦИОННОГО НАСОСА путем закрепления углеродного адсорбвнта на металлической подложке, отличающийся тем, что, с целью повышения меха нических характеристик соединения ад- сорбента с подложкой и улучшения от.качных характеристик, предварительно напыляют на одну из поверхностей адсорбента слой высокотеплопроводного металла толщиной 15 - 30 мкм, затем слой припоя толщиной 5 - 20 мкм, наносят припой на поверхность подложки, размещают на ней адсорбент и создают механическую нагрузку, а 3ак репление адсорбента на подложке осу" Е ществляют путем их нагрева до температуры плавления припоя в атмосфере инертного газа или в вакууме с последующим охлаждением и снятием механической нагрузки. сорбента слой высокотеплопроводного металла толщиной 15-30 мкм, затем слой припоя толщиной 5-20 мкм, наносят припой на поверхность подложки, размещают на ней адсорбент и созда,ют механическую нагрузку, а закрепле;ние адсорбента на подложке осущест вляют путем их нагрева до температу ры плавления припоя в атмосфере инертного газа или в вакууме с последующим охлаждением и снятием механической нагрузки.

В качестве высокотеплопроводного металла используют, например. медь

Составитель B,Êðÿêîâêèí

Техред M.Äèäûê, Корректор С.Шекмар

Редактор 0. Þðêoâåöêàÿ

Заказ 481 Тираж 502 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

11)0 5, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r Ужгород, ул. Гагарина,101

3 1545007 4 или иной металл, который обеспечивает тиками и теплопроводностью. Последхорошее сцепление с припоем. Предва- нее свойство обеспечивает эффективный рительное напыление на поверхность теплоотвод от адсорбента и способстадсорбента слоя металла позволяет вует достижению минимально возможной получить хорошее соединение между его температуры, что обусловливает подложкой и адсорбентом, отличающее- высокие адсорбционные характеристики ся высокими прочностными характерис- адсорбеита..

Способ изготовления сорбционного элемента вакуумного криосорбционного насоса Способ изготовления сорбционного элемента вакуумного криосорбционного насоса 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к вакуумной технике

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет новысить технологичность и экономичность изготовления криосорбционного элемента, а также улучшить его откачные характеристики

Изобретение относится к процессам осаждения тонких пленок

Изобретение относится к способу изготовления пористых газопоглотительных устройств с пониженной потерей частиц и к устройствам, изготавливаемым этим способом

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики сорбциониого элемента

Изобретение относится к перегрузочному оборудованию и предназначено преимущественно , для погрузочных манипуляторов с гидравлическим приводом и вакуумным захватным органом

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к насосам для создания вакуума, и может быть использовано в грузозахватных вакуумных устройствах

Изобретение относится к газопоглощающим материалам, в частности к спеченным неиспаряющимся геттерам, и может быть использовано в вакуумной технике и микроэлектронике, в частности в разрядных приборах. Спеченный неиспаряющийся геттер содержит три слоя, при этом первый и третий слои выполнены из порошка сплава титан - ванадий при их соотношении, вес.%, 70:30, второй слой - из смеси упомянутого порошка сплава и интеркалированного углерода при их соотношении, вес.%, (80:20)-(99:1), толщина первого и третьего слоя составляет 20-200 среднего размера порошка сплава, толщина второго слоя составляет 1-6 толщины первого или третьего слоя, активная площадь слоев эквивалентна геометрической площади геттера не менее 500-кратного значения, при этом пористостью спеченного геттера составляет 30-60%. Техническим результатом изобретения является расширение функциональных возможностей, повышение сорбционных свойств и механической прочности. 6 пр., 1 табл., 1 ил.

Изобретение относится к изготовлению неиспаряемого геттера. Формируют слои материала из первого порошка титан-ванадий, имеющего среднеарифметический размер гранул не более 70 мкм, и второго порошка – из смеси первого порошка титан-ванадий и интеркалированного углерода. Засыпают в пресс-форму последовательно порошок титан-ванадий, порошок из смеси порошка титан-ванадий и интеркалированного углерода и порошок титан-ванадий. Затем осуществляют прессование заготовки при давлении 100-1000 кг/см2 и спекание заготовки в вакуумной печи при температуре 900-990°С в течение (1,8-3,6)×103 с, охлаждают до комнатной температуры, вынимают полученную заготовку из вакуумной печи. Лицевую и обратную наружные поверхности заготовки облучают лазерным излучением, например посредством лазера СО2, в инертной атмосфере гелия или аргона с получением части наружной поверхности с открытой пористостью и сплавной части наружной поверхности. Обеспечивается повышение качества неиспаряемого геттера путем снижения его осыпаемости, повышения сорбционных свойств и механической прочности. 2 з.п. ф-лы, 1 табл., 6 пр.
Наверх