Криогенная форвакуумная ловушка

 

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить надежность ловушки. Внутри дополнительной камеры (ДК) Ь расположен клапан (К) 7, закрепленный на стенке основной камеры (ОК) 4 при помощи сильфона (С) 8. Полость С 8 заполнена газом и в ней размещен резервуар (Р).9. На стенках Р 9 размещен адсорбент (А) 10 и полость Р 9 сообщена с полостью сосу да 1 Дьюара. При охлаждении ОК 4 и Р 9 охлаждается А 10 и давление внутри полости С 8 понижается. Это приводит к деформации С 8 и отводу К 7 от бокового окна (БО) 6 ДК 5. В этом положении ловушка готова к работе. При отогреве ловушки давление в полости С 8 повышается, К 7 перекрывает БО 6, что надежно тащищает попадание паров рабочих жидкостей вакуумных насосов в реципиент. 2 з.п.ф-лы, t ил. а «

СВОЗ СОВЕТСКИХ

С6ЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ госудАРственный комитет

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯЦ

ПРИ ГКНТ СССР (46) О?.05.91. Бюл. P- 17 (21) 4406898/25-29 (22) 07.04.88 (72) Ю,В.Холод, В.Б.Юферов, Б.С.Гурьянов, В.Б.Нестеренко, Л.А.Разумный и Н.R. Говор (53) 621.528.1 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Р 1512234, кл. F 04 В 37/08, 1987, (54) КРИОГЕННАЯ ФОРВАКУУИНЛЯ ЛОВУШКА (57) Изобретение отйосится к вакуум-. ной технике и позволяет повысить на- дежность ловушки. Внутри дополнительной камеры (ДК) 5 расположен клапан (К) 7, закре ленный на стенке основной

Изобретение относится к вакуумной . технике, а именно к конструкциям охлаждаемых ловушек, предназначенных для защиты откачиваемых объемов от паров рабочих жидкостей вакуумных насосов.

Цель изобретения - повышение надежности ловушки.

На чертеже представлена схема ло- . вушки.

Криогеиная форвакуумная ловушка содержит сосуд 1 Дьюара, вертикальный вакуум-провод для прохода откачиваемого газа, выполненный в виде верхнего и нижнего соосных патрубков

2 и 3 и размещенной в сосуде 1 между патрубками 2 и 3 и герметично соединенной с ними основной камеры 4, ирасположенную в последней с зазором дополнительнув камеру 5 с боковым окном 6 и соосным ему клапаном 7, за„„SU„;, 1572119 А1 (51)5 Р 04 В 37/08, Р 04 Р 9/О

2 камеры (ОК) 4 при помощи сильфона (С)

8. Полость С 8 заполнена газом и в ней размещен резервуар (Р).9. На стенках P 9 размещен адсорбент (А) 10 и полость P 9 сообщена с полостью сосуда 1 Дьюара. При охлаждении 0К 4 и P

9 охлаждается А 10 и давление внутри полости С 8 понижается. Это приводит к деформации С 8 и отводу К 7 от бокового окна (БО) 6 ДК 5. В этом поло» женин ловушка готова к работе. При отогреве ловушки давление в полости

С 8 повышается, К 7 перекрывает БО 6, что надежно защищает попадание napos рабочих жидкостей вакуумных насосов в реципиент. 2 з.п.ф-лы, 1 ил. крепленным на боковой стенке основной камеры 4 при помощи сильфона 8 с гер» метичнОЙ внутренней полостью, заполненной газом. Ловушка дополнительно содержит .расположенный в полости силь фона 8 резервуар 9, сообщенный с сосудом 1, а также адсорбент 10, расположенный в полости сильфона 8 и размещенный на чаружной поверхности резервуара 9.

Ловушка работает следующим образом.

Герметичная внутренняя полость силь фона 8 заполняется газом до давления ; достаточного для герметичного перекрытия клапаном 7 бокового окна 6 дополнительной камеры 5. В этом сос тоянии ловушка готова к работе.

В рабочем режиме в сосуд 1 залива» ется хладагент (жидкий азот), что обеспечивает охлаждение верхнего и нижнего патрубков 2 и 3 и основной

1 172119

1О

С< ста»>< г л(Р, < ряковкин

Редакт< р (t.Ф«. (р: и l<:хр:":п, t . /.; <,(<:ñ K<>t>t «, .ор ((. Гирняк. Заказ 2300

1 1<>: « t« "><

Т((1>аж 3 7 (<>нетенинм и >" f l>t((èÿì при ГКНТ СССР (:(<><((; к ((<(tt;< t> . (. <(/ 5

ЦНИИПИ 1 " >". <>с < (<е н.. < (> (;< << <": <

j l >.О t", «„,,<

Пр<>«.>p >>« .: « -

5 полости сильфона 8. Под воздействием у«ругих сил сильфона 8 клапан 7 открывает окно 6, обеспечивая возможнОсть прохода откачиваемого газа по вакууьЕроводу.

При отеплении ловушки вследствие повьш ения давления газа в полости сильфона 8 клапан «7 перекрывает окно

6, разделяя вакуум6ровод на две эоны и предогвращая миграцию паров рабочей жидкости вакуумного насоса, сконденснрованшихся и зоне нижнего патрубка

3 и зону верхнего патрубка 2, т.е. в направлении реципиента.

Таким образом, обеспечивается высокая надежность защиты реципиента от паров рабочих жидкостей вакуумнь(х насосов. Одновременно исключается 2 попадание паров ноды в зону нижнего патрубка, т.е. к вакуумному насосу.

Формула изобретения

1. Криогеннал форвакуумная ловушка, содержащая сосуд Дьюара, вертикальный вакуум-провод для прохода откачиваемого газа, выполненный в виде верхнего н нижнего соосных патрубков H размещенной в сосуде между патрубками и герметично соединенной с ними основной камеры, и расположенную в последней с зазором дополнительную камеру с боковым окном и соосным ему клапаном, закрепленным на боковой стенке основной камеры при помощи сильфона с гер» метичной внутренней полостью, заполненной газом, отличающаяся тем, что, с целью повышения надежности, ловушка дополнительно содержит

pa(:попоженный н полости сильфона

peýåðâóàð, сообщенный с сосудом.

?. Ловушка по и.1, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что она дополнительно сод< ржит адсорбент, расположенный в пол ти сильфона.

3, Ловушка по и.2, о т л и ч а ю— щ а я с я тем, что ацсорбент размещен на наружной поверхности резервуара и г < . ° :t: д ул ..Га гарина, 101