Газ для получения магнитотвердых пленок на основе пентакарбонила железа
Изобретение относится к электротехнике, точнее газовым смесям, предназначенным для изготовления магнитотвердых пленок на основе железа. Цель изобретения - повышение магнитных характеристик и временной стабильности пленок. Поставленная цель достигается за счет того, что газ на основе пара пентакарбонила железа дополнительно содержит пар ферроцена и молекулярный кислород при следующем соотношении компонентов, мас.%: пентакарбонил железа 95,00-99,00, ферроцен 0,99-4,90, молекулярный кислород 0,01-0,10.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК ()9) (! !) (5!)5 Н 01 F 10/00
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ. (21) 4354493/24-07
{22) 04.01.88 (46) 30.06.90. Бюл. М 24 (71) Государственный научно-исследовательский институт химии и технологии элементоорганических соединений (72) В.Г.Сыркин, И.С.Толмасский, А.А.Уэльский, А,С.Рыжов, О.В.Кузьмин, Г.Г.Алексеев, M.À,ÕàöåðíoB, В.П.Мельничук и Г.К.Трыков . (53) 621.318.25 (088,8) (54) ГАЗ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ MA<"HÈTÎTÂÅPДЫХ ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ ПЕНТАКАРБОНИЛА ЖЕЛЕЗА
Изобретение относится к электротехнике, в частности к газовым смесям для получения магнитотвердых пленок на основе железа, предназначенных для использования в качестве рабочих слоев носителей магнитной записи.
Цель изобретения — повышение магнитных характеристик и временной стабильности магнитотвердых и)) енок. ,:Магнитотвердые пленки на основе железа получают следующим образом.
Пример 1. 2,95 г(С5Н5)2Ре растворяют а 97 r Fe(CO)5 и смесь в виде паров подают в вакуумированный реактор (остаточное давление 5 10 мм рт.ст.), который был предварительно продут смесью азота с кислородом до содержния последнего в газовом объеме 0,05 мас,, что соответствует
0,05 r. Подложку из алюминиевого сплава нагревают до 300 С.
В результате термоокислительного разложения газовой смеси через 10 мин нв поверхности подложки образуется пленка (57) Изобретение относится к электротехнике, точнее газовым смесям, предназначенным для изготовления магнитотвердых пленок на основе железа. Цель изобретения — повышение магнитных характеристик и временной стабильности пленок. Поставленная цель достигается за счет того, что газ на основе пара пентакарбонила железа дополнительно содержит пар ферроцена и молекулярный кислород при следующем соотношении компонентов мас,%: пентакарбонил железа 95,00 — 99,00, ферроцен 0,994,90, молекулярный кислород 0,01 — 0,10. на основе железа толщиной порядка 0,1 мкм, В табл,1 приведены данные, характеризующие магнитные свойства полученной пленки на основе железа в зависимости от состава исходной смеси. Эти значения значительно превосходят магнитные параметры пленок, полученных с помощью состава-прототипа и удовлетворяют требованиям Т3.
Пример 2. 0,99 г(С5Н5)2Ре растворяют в 99 r ее(СО)Б и смесь в виде паров подают в реактор (Р = 5 10 мм рт.ст.), в котором содержится 0,01 г 02. После термоокислительного разложения на подложке из алюминиевого сплава образуется пленка на основе железа толщиной 0,1 мкм, Магнитные свойства полученной пленки приведены в табл.1.
Пример ы 3 — 13, Примеры 3 — 7 отличаются от примеров и 2 тем, что в исходной смеси менялось соотношение компонентов. Во всех случаях были получены пленки толщиной 0,1 мкм, Магнитные
1575246
Таблиц а1
Магнитные свойства
Состав исходной смеси, мас .
Пример
Изменение парамет ов, Br>
Т е(СО)5 (Cs Hg)z F e
Кп
Л Вг
Нс
2,95
0,99
4,90
0,79
5,20
4,88
0,992
0,98
0,97
4,91
5,00
4,99
4,96
1,9
2,1
1,2
2,1
2,4
2,7
3,2
2,5
3,1
1,9
1,7
1,3
3,2
1,81
2,10
1,61
1,89
1,28
1,17
1,82
1,96
1,70
1,48
1,32
1,47
1,45
76,1
64,1
92,0
50,8
93,1
92,1
51,2
58,1
52,1
91,0
87,6
79,3
80,1
0,05
0,01
0,10
0,01
0,10
0,12
0,008
0,01
0,02
0,10
0,01
0,02
0,05
97,0
99,0
S5,О
99,2
94,7
95,0
99,0
99,01
99,01
94,99
94,99
94,99
94,99
2,1
2,7
1,8
2,4
2,8
2,9
3,0
2,6
3,7
4,1
2,4
2,7
2,9
0,88
0,91
0,81
0,86
0,66
0,57
0,85
0,86
0,81
0,80 . 0,81
0,80
0,78
2
4
6
8
12
60-95 1,5-2,2 Ж,8 свойства пленок, полученных в примерах 313, приведены в табл.1.
Приведенные данные показывают, что магнитные свойства пленок на основе железа зависят от соотношения исходных компонентов. При увеличении содержания (С5НфЕе и Oz возрастает величина коэрцитивной силы Н и уменьшается остаточная индукция В (примеры 1 — 4).
Однако при увеличении (CgH+Fe до содержания его в исходной смеси выше 4,9 мас, величина Вг не соответствует техническим требованиям (пример 5). При увеличенном содержании кислорода (пример 6) величина В, также не достигает требуемых параметров. При недостаточном количестве кислорода (пример 7) резко снижается и величина Нс, не достигая требуемой величины. Не достигается поставленная цель при соотношении компонентов, выходящим за пределы формулы изобретения (примеры
8 — 13).
Сущес. венным достоинством полученных пленок на основе железа является высокая временная стабильность их магнитных характеристик, которая полностью соответствует современным техническим требованиям.
Сравнение магнитных свойств пленок, полученных с использованием предлагаеТехнические т ебования мого состава, т.е. термоокислительным разложением смеси Fe(CO)s, (CsHs)zFe и Oz, полученных с помощью состава-прототипа, приведены в табл.2.
5 В табл.1 и 2 данные по изменению Нс и
Br, характеризующие временную стабильность, получены после хранения пленок при
20 3 С в течение 90 сут.
Приведенные в табл. 1 и 2 данные сви10 детельствуют о преимуществах магнитных пленок на основе предлагаемого состава перед магнитными пленками, на основе пентакарбонила железа Fe(CO)g. Особым преимуществом является исключительно
15 высокая временная стабильность нового материала.
Формула изобретения
20 Газ для получения магнитотвердых пгенок на основе пентакарбонила железа, а тличающийся тем,что,сцельюповышения магнитных характеристик и временной стабильности пленок, он дополнительно со25 держит пар ферроцена и молекулярный кислород при следующем соотношении компонентов, мас. /:
Пентакарбонил железа 95,00 — 99,00
Ферроцен 0,99 — 4,90
30 Молекулярный кислород 0,01 — 0,10
1575246
Таблица2
Составитель А.Лукин
Техред M.Ìîðãåíòàë
Корректор Н.Ренская
Редактор А.Ревин
Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 101
Заказ 1788 Тираж 463 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35., Раушская наб., 4/5
