Вакуумплотное окно для излучения

 

Изобретение относится к радиационной технике, а именно к конструкциям окон вывода или ввода излучения из вакуумного или в вакуумный объем. Цель изобретения - повышение вакуумной стойкости и светосилы. Вакуумплотное окно имеет основание в виде микроканальной пластины, по меньшей мере с одной поверхностью которой герметично связана прозрачная для излучения пленка. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (si>s Н 01 J 5/18

ГОСУДАРСТВЕ ННЫИ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Формула изобретения (21) 4234474/31-25 (22) 27.04.87 (46)15.07.90. Б ол. N . 26 (71) Новосибирский институт инженеров геодезии, аэрофотосъемки и картографии (72) В.В. Чесноков (53) 621.3.032(088.8) (56) Заявка ЕПВ N 0113168, кл, Н 01 J 5/18, 1984.

Изобретение относится к оадиационной технике, а более конкретно к конструкциям окон для вывода или ввода излучения из или в вакуумный объем.

Цель изобретения — повышение вакуумной стойкости и светосилы.

На чертеже показана конструкция вакуумплотного окна, разрез.

Вакуумплотное окно для излучения, например электронного, содержит перфорированное пластинчатое основание, выполненное в виде микроканальной пластины 1. По меньшей мере к одной стороне микроканальной пластины 1 с помощью соединительного слоя 2 герметично прикреплена прозрачная для излучения пленка 3.

При установке окна в отверстии вакуумной камеры прозрачная для излучения пленка 3 располагается с внешней стороны вакуумного обьема, а каналы 4 микроканальной пластины 1 выходят в вакуумный объем.

В связи с большой величиной отношения I/d, где I — длина и d — ширина канала 4

„„5U „„ 1578772 А1 (54) ВАКУУМПЛОТНОЕ ОКНО ДЛЯ ИЗЛУЧЕНИЯ (57) Изобретение относится к радиационной технике, а именно к конструкциям окон для вывода или ввода излучения из вакуумного или в вакуумный объем. Цель изобретения— повышение вакуумной стойкости и светосилы, Вакуумплотное окно имеет основание в виде микроканальной пластины, по меньшей мере с одной поверхностью которой герметично связана прозрачная для излучения пленка. 1 ил. микроканальной пластины 1, а также малой (микронной) величиной d, что обуславливает вязкое течение газа в каналах 4, при проко-, ле прозрачной для излучения пленки 3 скорость натекания газа в вакуумный объем незначительна из-за большого сопротивления канала 4 протеканию газа, Плотная упаковка каналов 4 в микроканальной пластине 1 обеспечивает также высокую светосилу вакуумного окна.

Вакуумплотное окно для излучения, содержащее перфорированное пластинчатое основание с отверстиями микронного диаметра и прозрачную для излучения пленку, герметично связанную с основанием с помощью соединительного слоя, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью повышения вакуумной стойкости и светосилы, основание выполнено в виде микроканальной пластиныы.

1518772

1 1 111 1, Составитель К.Кононов

Техред М.Моргентал Корректор М.Самборская

Редактор А.Долинич

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Заказ 1920 Тираж 396 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5