Высоковакуумный насос для откачки газов
ОПЙСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советски
Социалистических
Республик (Ф -
Кл. 27d, 3,2
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 09.IV.1962 (№ 773402/24-6) .ЧПК F 04f с присоединением заявки №
Государственный комитет по делам изобретений и открытий СССР
Приоритет №
Опубликовано 04.IХ.1964. Бюллетень № 17
Дата опубликования описания 17.Х.1964
УДК ff
Ф
ff
Н. Н. Ермаков, К. Д. Данилов, E. Ф. Кузьмин и Г. С. Селях,,;":: .1,>1д,;
Авторы изобретения
Заявитель
ВЬ! СОКОВАКУУМНЫЙ НАСОС ДЛЯ ОТКАЧКИ ГАЗОВ
Подписная группа № ИО
Известны высоковакуумные насосы для откачки газов, содержащие емкость с заключенными в ней сорбцнонной поверхностью и ионизатором.
Предлагаемый насос отличается тем, что сорбционная поверхность выполнена в виде охлаждаемого жидким азотом или водородом и напыляемого геттером, например титаном, экрана, внутри которого помещена конденсирующая поверхность, охлаждаемая низкотемпературным хладоагентом, например гелием.
Такое выполнение насоса позволяет повысить предельный вакуум и увеличить скорость откачки газов.
На чертеже схематически изображен высоковакуумный насос в продольном разрезе.
Насос содержит шарообразный сосуд 1, который наполнен жидким гелием или водородом. В случае использования газообразного гелия или водорода на поверхность сосуда припаивают трубки 2, по которым циркулирует газообразный хладоагент.
Для уменьшения расхода гелия (водорода) сосуд окружен охлаждаемым жидким агентом экраном 3, на который испарителем 4 напыляется титан, испаряемый электронным лучом с магнитной фокусировкой.
От излучения испарителя сосуд защищен подвижным экраном 5, который во время работы может отодвигаться в сторону, причем происходит запыление металлом рабочих поверхностей сосуда 1.
Для сокращения расхода гелия (водорода) на входе в насос помещен охлаждаемый азотом жалюзийный тепловой экран б, а для, меньшения расхода азота экраном 8 установлены экраны 7.
С целью получения сверхвысокого вакуума предусмотрен прогрев насоса до 400 — 450 С
10 нагревателями 8. Иопизатор 9 откачивает из насоса гелий.
Насос, с целью получения больших скоростей откачки, может устанавливаться непосредственно в откачиваемый объем без кор15 пуса 10, при этом тепловой экран 8 для большего доступа газа к рабочим поверхностям выполняется в виде жалюзи 11.
Предмет изобретения
20 Высоковакуумный насос для откачки газа, содержащий емкость с заключенными в ней сорбционной поверхностью и ионпзатором, отл ич а ю щий ся тем, что, с целью повышения предельного вакуума и увеличения ско25 рости откачки, сорбционная поверхность выполнена в виде охлаждаемого жидким азотом или водородом и напыляемого геттером, например титаном, экрана, внутри которого помещена конденсирующая поверхность, ох30 лаждаемая низкотемпературным хладоаген. том, например гелием.
16492I
Составитель Е. Сотникова
Редактор И. Г. Карпас Техред Ю. В. Баранов Корректор Е. Г. Ласточкина
Заказ 2477/12 Тираж 1250 Формат бум. 60+90
ЦНИИПИ Государственного комитета по дел м изобретений и открытий СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д, 4
Типография, пр. Сапунова, 2
