Способ извлечения изделия из вакуумного объема

Авторы патента:

H01J37/20 - устройства для крепления или управления положением объекта или материала; устройства для регулирования диафрагм или линз, конструктивно сопряженных с опорой (подготовка образцов для исследований G01N 1/28)

Изобретение относится к области вакуумного машиностроения и может быть использовано в вакуумных установках для нанесения пленочных материалов и для проведения исследований материалов в сверхвысоком вакууме. Цель изобретения - упрощение за счет повышения стабильности степени разрежения в вакуумном объеме. Способ включает перенос изделия из вакуумного объема в герметично перекрытую с одного конца металлическую трубу и извлечения изделия путем холодной отпайки участка трубы, в который перенесено изделие. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51) 5 Н 01 J 37/20

1:й 1

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И OTHPblTHRM

ПРИ ГКНТ СССР

1 (21) 4036223/25-63 (22) 13,03,86 (46) 07.12.90. Бюл, Р 45 (71) Институт прикладной физики

АН СССР (72) В;Н.Глаэман и Л.В.Николаев (53) 543.51 (088.8) (56) Грошковский Я. Техника высокого вакуума. M.: Мир, 1975, с. 522-523.

Феерман В.И. Вакуумный шлюз для масспектрометрического анализа поверхностных загрязнений. вЂ” ПТЭ, 1982, .N - 2, с. 188-189.

Изобретение относится к вакуумному машиностроению и может быть использовано в вакуумных установках для нанесения пленочных покрытий и для проведения исследований материалов в сверхвысоком вакууме, например для оже-. электронной .спектроскопии.

Цель изобретения вЂ” упрощение за счет повышения стабильности степени разрежения в вакуумном объеме .

На чертеже представлена схема устройства, поясняющая реализацию способа.

Устройство содержит рабочий вакуумный объем 1, на стенке которого .под углом к ней герметично укреплен . закрытый желоб 2 с фланцем 3. На же лобе 2 с помощью фланца 4 и вакуумных уплотнений 5 укреплена металлическая. труба 6 ° Длина трубы 6 определяется

„„SU„„1612341 А 1

2 (54) СПОСОБ ИЗВЛЕЧЕНИЯ ИЗДЕЛИЯ ИЗ

ВАКУУМНОГО ОБЪЕМА (57) Изобретение относится к области вакуумного машиностроения и может быть использовано в вакуумных установках для нанесения пленочных материалов и для проведения исследований материалов в сверхвысоком вакууме.

Цель изобретения вЂ” упрощение за счет повышения стабильности степени разрежения в вакуумном объеме. Способ включает перенос изделия из вакуумного объема в герметично перекрытую с одного конца металлическую трубу и извлечение изделия путем холодной отпайки участка трубы, в который перенесено иэделие. 1 ил. количеством извлекаемых изделий. Трубу 6 целесообразно выполнить из вакуумного материала, например из бескислородной меди, Для повышения надежности герметизации целесообразно внутреннюю поверхность трубы 6 залудить оловом или индием. Для обеспечения механической прочности места отпайки целесообразно использовать трубы диа- р метром 8 вЂ” 45 мм с толщиной стенки 0,51,5 мм, что определяется используемым для отпаики оборудованием (ручные клещи, специальные тиски). В объеме 1 установлен манипулятор 7. для перемещения. изделия. L и

Конкретную реализацию способ можно показать на примере извлечения из объема 1 пластин 8 размером 30х30х х6 мм. Пластина 8 с помощью манипулятора 7.подается на наклонный желоб 2, 1612341

Составитель А.Даревский

Редактор В.Данко Техред N.яндык Корректор М. 1Иар оши

Ваказ 3833 Тираж 403 Подписное }Я11ПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР.

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 1роизводствснно-издательский комбинат "Патент", г.Ужгород, ул. Гагарина,101 с которого она соскальзывает в металлическую трубу 6. Герметичное перекрытие трубы 6 осуществляется с. помощью специальных кусачек путем сжатня трубы. Затем проводят разгерметизацию отделенного участка и извлекают пластину 8. С помощью манипулятрра 7 на желоб 2 и в трубу 6 подают сведующую пластину 8, и операцию изв- 10 лечения повторяют.

Формула и з о б р е т е н и я

Способ извлечения изделия из вакуумного объема, включающий перенос из- делия иэ вакуумного обьема в камеру, соединенную с вакуумным объемом, и отделение изделия от вакуумного объема, отличающийся тем, что, с целью упрощения путем повьппения стабильности степени разрежения в вакуумном объеме, в качестве камеры используют герметично перекрытую с одного конца металлическую трубу, а отделение изделия осуществляют путем холодной отпайки участка трубы, в который перенесено изделие.

Изобретение относится к туннельной электронной микроскопии и может быть использовано в приборах для исследования физических свойств поверхностей твердых тел с разрешающей способностью порядка размеров атомов

Предметный столик растрового электронного микроскопа // 1522318

Изобретение относится к электровакуумным приборам и может быть использовано для управления положением объектов в растровом электронном микроскопе

Столик объектов для электронного микроскопа // 1458904

Устройство для позиционирования образца в вакууме // 1406661

Изобретение относится к электронной технике

Устройство для исследования поверхности твердого тела // 1324079

Изобретение относится к области приборостроения и может быть использовано при анализе эмиттированных поверхностью твердого тела частиц по направлению, энергии и массе в сверхвысоковакуумных установках

Вакуумный манипулятор // 1302352

Изобретение относится к электронной спектроскопии

Устройство для исследования поверхности твердого тела // 1302351

Изобретение относится к приборостроению

Просвечивающий электронный микроскоп // 1262593

Изобретение относится к области электронной микроскопии и может быть использовано при конструировании устройств для перемещения объектов в просвечивающих электронных микроскопах

Устройство для электронно-микроскопического исследования образцов при воздействии ультразвука // 1238173

Изобретение относится к технике микроскопии и может быть использовано при исследовании физических свойств металлов в условиях сочетания ультразвукового и статического воздействий на кристаллы и непосредственного изучения этих структур в ,.

Способ определения активности нейронов головного мозга на электронно-микроскопических препаратах // 1223079

Погрузочно-разгрузочное устройство для полупроводниковых пластин для установки ионной имплантации // 2126191

Способ и устройство для инактивации загрязняющих примесей в биологической жидкости // 2219951

Твердотельное исполнительное устройство // 2260828

Изобретение относится к области оптики и предназначено для использования в качестве дефлектора в системах управления положением оптического луча в пространстве

Наконечник держателя и сетка для электронной томографии // 2300822

Изобретение относится к области научного приборостроения и может быть использовано при выпуске просвечивающих электронных микроскопов

Предметный столик // 2310218

Изобретение относится к области микроэлектронной техники и может быть использовано при разработке технологического и тестового оборудования

Диафрагма электронного микроскопа // 1615821

Изобретение относится к диафрагмирующим управляемым устройствам электронной микроскопии и может использоваться в качестве исполнительного механизма, работающего автономно в вакууме

Предметный столик электронного микроскопа // 1636895

Изобретение относится к технике электронной микроскопии

Позиционер образца // 1661867

Изобретение относится к устройствам для точного дистанционного позиционирования образца и может быть использовано, например, в растровых туннельных микроскопах

Вакуумный манипулятор // 1661868

Изобретение относится к вакуумным манипуляторам высоковакуумных установок для электронной спектроскопии

Электронно-зондовое устройство // 1688303

Изобретение относится к электроннозондовой технике и может быть использовано для исследования слоистых материалов