Криогенный конденсационный форвакуумный насос

 

СООЗ СОВЕТСНИХ

СООИАЛИСТИЧЕСНИХ

И-:СПУБЛИН (5,)5 r 04 В 37/08

1 .

3 с

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТИРЬГГИЯМ

ПРИ ГННТ СССР (46) 15. 18. 92. Бюл. Р 30 (21) 4716028/29 (22) 05.07.89 (72) 1O,ß.BozI coa, B.H.Дракин и В.A.Êðàâ÷åíêî (53) 621.528.1 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

N - 1443527, кл. F 04 В 37/08, 1987. (54) КРИОГЕННЫИ КОНДЕНСАЦИОННЫЙ

ФОРВАКУУИНЫЙ НАСОС (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяег улуч,:11 ь откачные характеристики насоса. Газ, Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям форвакуумных крионасосов.

Цель изобретения — улучшение откачных характеристик насоса.

На чертеже представлена схема насосае

Криогенный конденсационный форваку умный насос содержит корпус t ..с входным патрубком 2, размещенный в корпусе 1 откачивающий элемент в виде конических сосудов 3 для криоагента и сборник 4 конденсата, подсоединенный к нижней части корпуса 1 при помощи клапана 5. Насос дополнительно содержит расположенный в сборнике 4 конденсата кольцевой сосуд б для хладагента, внутренняя стенка которого имеет форму усеченного конуса, меньшим основанием обращенного к клапану 5.

Насос работает следующим образом.

Откачиваемый газ поступает в полость rcoprrvca 1,. me первоначально поступающий в корпус 1 через входной патрубок 2, первоначальйо конденсируется в жидкую фазу на поверхности кольцевого сосуда 6 и стекает в ,виде конденсата в сборник 4, ПО мере понижения,цавления включается вторая ступень путем подачи жипкого неона в сосуды (С) 3, на ко" îðûõ происходит конденсация также в жидкую фа" эу иосле едОстижения давления тройНОЙ тОчки клапан 5 закрывается P. дач.--нейшал конденсация газа осущес-.гуляется на пОверхностях С 3 ir Гв рд л фазу. 1 ил, конденсируется на поверхности кольцевого сосуда 6, Охлаждаемого жидким азотом, и стекает в сборник 4 в виде жидкого конденсата. По мере понижения давления быстрота,цействня уменьшается и начинается залив — äêoго неона в сосуды 3. Начинают работать

Обе ступени одновременно rr жидкий конденсат с поверхностей сосудов 3 стекает в сборник 4. При достижении в полости корпуса 1 давления тройной точки откачиваемого газа клапан 5 закрывается и в дальнейшем откачка газа на поверхностях сосудов 3 граисходит в твердую фазу.

- В процессе работы возможна откачка паров жидкого азота из кольцевого сосуда 6 с целью понижения его температуры.

Обеспечение одновременной работы двух ступеней откачки позволяет увеличить быстроту действия насоса. т.е. улучшить его Откачные характеристики.

1621638

i р м у л а и з о б р е т е н и я<

Составитель В.Кряковкин

Редактор Н.Сильнягина Техред Л.Сердюкова Корректор М. Самборская

Заказ 3471 Тираж, Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета иа изобретениям и открытиям при ГКНТ О СР

113()35, Москва, И-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент". г.ужгород, ул. Гагарин,t,lt)I

Криогенный конденсационный форвакуумный насос, содержащий корпус с входным патрубком, размещенный в корпусе откачивающий элемент в виде конических сосудов для криоагента.и сборник конденсата, подсоединенный

ltd нижней части корпуса при помощи клапана, отличающийся тем, что, с целью улучшейия откачных характеристик, насос дополнительно содержит расположенный в сборнике конденсата кольцевой сосуд для хладагента, внутренняя стенка которого имеет форму усеченного конуса, меньшим основанием обращенного к клана" ну