Натекатель

 

Изобретение относится к арматуростроению. Целью изобретения является повышение точности регулирования потока газа, напускаемого в вакуумную систему. При вращении маховика 3 по часовой стрелке подвижное седло 2, выполненное в виде полого цилиндра, контактирующего своей боковой поверхностью с внутренней поверхностью втулки 12 из газопроницаемого материала, отходит от поверхности размещенною в полости корпуса 1 запорного органа 6, через образовавшуюся щель газ поступает к втулке 12, установленной в корпусе 1 коаксиально седлу 2 и соединенной с запорным органом 6. Поскольку размеры пор материала втулки 12 возрастают в сторону от запорного органа 6, то пропорционально перемещению седла 2 увеличивается величина потока напускаемого в вакуумную систему газа и его спектральный состав Концентрация смеси газа обеспечивается за счет положения седла 2 относительно запорного органа 6, а также за счет выполнения втулки 12 из колец с равными размерами пор и снабжения втулки уплотнителями из эластичного материала , размещенными между смежными кольцами. При вращении маховика 3 против часовой стрелки пропорционально уменьшается расход газа через натекатель. 1 э.п.ф-лы, 1 ил. м Ј

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)з F 16 К 51/02

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И 01КРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

9 1Î 12 9

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4655243/29 (22) 27.02.89 (46) 23.01.91. Бюл. N. 3 (72) Н.П.Решетняк, M.À.Ìóðòàçèí, Р.З.Салиева и В.А.Балякин (53) 621.646 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

М 932069, кл. F 16 К 51/02, 1980.

Авторское свидетельство СССР

М 1195110, кл. F 16 К 51/02, 1984. (54) НАТЕ КАТЕ Л Ь (57) Изобретение относится к арматуростроению. Целью изобретения является повышение точности регулирования потока газа, напускаемого в вакуумную систему. При вращении маховика 3 по часовой стрелке подвижное седло 2, выполненное в виде полого цилиндра, контактирующего своей боковой поверхностью с внутренней поверхностью втулки 12 из газопроницаемого материала, отходит от поверхности

ÄÄ 5U Ä, 1622700 А1 размещенно о в полости корпуса 1 запорного органа 6, через образовавшуюся щель гаэ поступает к втулке 12, установленной в корпусе 1 коаксиально седлу 2 и соединенной с запорным органом б. Поскольку размеры пор материала втулки 12 возрастают в сторону от запорного органа б, то пропорционально перемещению седла 2 увеличивается величина потока напускаемого в вакуумную систему газа и его спектральный состав. Концентрация смеси газа обеспечивается за счет положения седла 2 относительно запорного органа 6, а также за счет выполнения втулки 12 иэ колец с равными размерами flop и снабжения втулки уплотнителями из эластичного материала, размещенными между смежными кольцами. При вращении маховика 3 против часовой стрелки пропорционально уменьшается расход газа через натекатель. 1 з.п.ф-лы, 1 ил.

1622700

Изобретение относится к арматуростроению и предназначено для регулирования потока газа, напускаемого в вакуумную систему.

Цель изобретения — повышение точности регулирования газового потока путем обеспечения пропуска газа с определенной величиной молекул.

На чертеже представлен натекатель, общий вид, Натекатель содержит герметичный корпус 1, в полости которого размещено подвижное седло 2, снабженное приводом, выполненным в виде соединенного через резьбу с седлом 2 маховика 3, взаимодействующего с корпусом 1 с помощью кольцевой обоймы 4, Седло 2 соединено с подводящим каналом 5, через который подается газовая среда из источника. В полости корпуса 1 также размещен запорный орган б с отводящим каналом 7. сообщенным с вакуумной системой. Для исключения проникновения газов из атмосферы в вакуумную систему подвижное седло 2 соединено с корпусом 1 с помощью сильфона 8. кроме того уплотнения 9 и 10, выполненные из фторопласта, нарядус функциями направляющих элементов служат и герметизирующими элементами. Для исключения перекосов седла по его оси размещена направляющая 11, радиальные опоры которой выполнены с отверстиями для прохода газа, Подвижное седло 2 выполнено в виде полого цилиндра, своим торцом контактирующим с плоскостью запорного органа б. В полости корпу а 1 коаксиально седлу 2 установлена втулка 12 из газопроницаемого материала, жестко соединенная с запорным органом, при этом боковая поверхность седла 2 контактирует с внутренней поверхностью втулки 12.

Для обеспечения пропуска определенного типа газа или его смеси с другим газом размеры пор материала втулки 12 соизмеримы с диаметрами молекул газов смеси и возрастают в сторону от запорного органа

6. Втулка 12 может быть выполнена из колец с равными размерами пор, причем в этом случае втулка должна быть снабжена уплотнителями из эластичного материала, размещенными между смежными кольцами.

Натекатель работает следующим образом.

При вращении маховика 3 по часовой стрелке седло 2 отходит от запорного органа 6 и в образовавшуюся щель начинает поступать газ, при этом сквозь втулку 12 в отводящий канал 7 будет поступать только тот газ, размеры молекул которого не будут превышать размеры пор материала втулки.

При дальнейшем вращении маховика 3 газ начинает поступать к участкам втулки с большим размером пор, и в этом случае в вакуумную систему поступает смесь газов

10 определенной концентрации, обусловлен ной размером пор материала втулки 12.

При вращении маховика 3 против часовой стрелки пропорционально уменьшается величина потока газа через натекатель в вакуумную систему и состав газа, поскольку

20 уменьшается размер пор материала втулки

12 и ее площадь, заключенная между запорным органом б и торцом подвижного седла 2.

В крайнем положении седло 2 своим

25 торцом взаимодействует с запорным opra о б, отсекая поток газа в вакуумную систему.

Формула изобретения

1. Натекатель, содержащий корпус, в полости которого размещено снабженное приводом подвижное седло с подводящим каналом и взаимодействующий с ним эапорный орган с отводящим каналом, о т л и ч аю шийся тем, что, с целью повышения точности регулирования газового потока, в полости корпуса коаксиально седлу установлена втулка из гаэопроницаемого материала, жестко соединенная с запорным органом, а подвижное седло выполнено в виде полого цилиндра, контактирующего своей боковой поверхностью с внутренней поверхностью втулки, при этом размеры пор материала втулки возрастают в сторону от запорного органа.

2, Натекатель по и. 1, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что втулка выполнена иэ колец с равными размерами пор и снабжена уплотнителями из эластичного материала, размещенными между смежными кольцами, 50

Составитель Л.Фокин

Техред М Моргентал

Редактор Е,Папп

Корректор Л.Бескид

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 101

Заказ 103 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5