Способ подготовки подложек ниобата лития для фильтров на поверхностно-акустических волнах
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
„„SU„„1627601
А1 (5! )5 С 30 В 33 !О, 2Ч130
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Форчхла ило6ретения
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
Н А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21 ) 4472024 "26 (22 );30.08.88 (1f>) 1;>.02. .31. 1>к>,(,V (i (72 i .=).(. Раков. А.1-:. Ф»доров. ,Ч 1> Че.!к< 5!ян((, .<.1 . jt <, llj)к>нин, .<.И. Раки(ни и . (,.13 (t,Hpife(fl (5;3 (i > I 8 1 ), ) )() (088 8 ) () f ) ), а и н с .Ч, Г I <1 (с . <. (å ã f i t I < > эс! < к т р и к и
Il ро,(с I li(ни ь!(и (>! м,(7 Вриl. <51; .>! и р, I !)8 с 73().
I1Hòåíò 1, 11),Ч 224450, к.! (. 30 13:3;3 00, 1 .381! I В 06 р(
3<рxí0 Tè чî(10кри< г;!Г(,llfH < ких п<,ь!ожек нио6ат;! лития и чожет 6ыть исll0,! f:30â 3í0
H !роизно (стве ив и.>ий, Jlj)JINNI(н ечы в фИ 7 ЬТР;IХ Н«3 ПО!3Е(ЭХНОС I НО-<МКХС Г И (t »hi(a ВО,(11
ВЫХОД«1 ГО.(il ЫХ 110 (,10ж(К 3«3 (. It 1 > Н(.,7 Ji H И Я (3 H Н И Х 1»1 >«О И Н Ы Я М 0 и T P H H, l (l I I I 51 J lpI(.5((р /. 10 по;<ложек и 3 i;ï06HòH лития диаметроч 50 чм и толн<ино
06р«130(3 ll;i п P0(!) JI, 1<)ГP «1(()(-II ОО(() ис! 0(. 0Tptзках. 110.1.!о кку 06ра6атынак>; н I р >ви7(,>(. и 3 КП/, н(>гре! (д>,l<) 240 <., I С:(НИ(1:)О Ч.IН. !10..1 1;1!О! 110H(рХНО» I Ь !. I>< 631II0f3 51чок Гр<3!3Г!енИЯ .)8 I ) мкХ!. 13ы < д !и)дложек н годную п(н)дук!(ию для I <).!учения фильтров на 1!0H»p íî»TII0-акусти и ских 3<). !нах 100",,, Пр(<.(< )) 2 110 (Г!Ожк(! при! <)THâëèíHê>ò ht »pt . но и 3 хl (ня к)т ни.l, и ст(lit fit> (t х;!Инне»кой <и>р:!6отки, со»(:IH 7 р:3((ителя, : (vI 1»Р;(Tt j)3 и .IëèT((lüii <:11(К<в I<).11()(О(3((1 !<).1,1() Ж l (х 1Ы1()13.А1,7,, 1!1TI!Я . 1, 1Я Фl!,Ь(1) Г1)<)13 1! t I l<)131:1 Ч (1<)<. TI IÎ Л(хх <. 1 ! 11 .<. j5,!!.Ч 13<), I ИX (57 ) !1л<н>ретен ие 0T110(!(с я h 06pHf)01ht. кристаллон. H именно под.!05к< k ил нио6аТ (! . I НТ ИЯ, Il НОВВОГI Я(. Т ПОВЫС Ii Г Ь ВЫХОД ГО 1НЫХ ПОД 70Ж(.К Л<3 СЧ(Т Х ВЕГIJt<((. НИЯ 11«1 l 11одлож ку иодв< ргают мех аническои обработке до достижения г,!у6ины чнкронеровнос гей 3:30 чкм.;1 тр;!влепи» (уп(»с! н.iftK)T 13 р(>с! !3<>р» на основе фторсо,(ерж;3И((о реагtli7 1 н T(и ни<,30 240 мин. Вы%0.3, (>;fili I x !I«1 iо«кt h III!1,> i !().!! 3 г;36ли!и пр».1 1;>влены .i0. уч»нны(! «.;>в и(им о(113 0 > (,10(ill i . 06;);! оо! Ки 11л примеров видно, <1 I(Ilp(длilã;iå÷ый сносо6 полноляет полу I
:
10 20(J >1 кч и Ва счет этоГО ИОВыс((г t> их вы-хо.(в ОднуK) продукцик) i() 100!(lip!1 npoи (н<>ястве фильтров на поверхностны; акусти!»сhèx волн 5 !и)со6 110,(ãîòîâhè 110;Ië0æt h !.ооа(,! лития для фи.!ьгрон н(1 1(он< рхно Til<)-акусТИ It СКИХ В0 7(1<3 Х, Нh.7К)Ч «<НИЧ(<(куK) 06р(36отю и трав,! !lilt в раствор» 11«3 ОС Н 0 В ((1) Т О P <: 0 7(P ж <3 Щ (Г 0 P t <3 Г t. I < Т <3, 0 / . i ((<(аюи<шс<я тем, что, (пелен»>он(ппения выХОДЯ ГоднЫХ 110 (.105h h ла »Ч(Т (В(.111 lt ИIIЯ н«3 (f33# 1), f)ивы ям(>к T(7(IВ.7< ни я .10 )О 200 чкч. 0f)j)iif)0Th проно (яг,то д<>сгижения глубины микро<и ровно(г(й 8;30 м(км(, травл< ii»t осун(< ств.(як>т и i («t ((Itt $0 240 чин. 1 1 1 ! ) У .) с ( (" Е оюо оо(о о о ооо Ю Ю o o o o с о =(G Х Б () 1 ш (>> Е 7 о < a o Г) Г.! 1 1 1 Г Г») СГ\ гл) иi ((i Г) ж I 1 СО О > сг> (о г — cc 1 1 1 х — o сг) Г » х X со л (Т Гл\ Г! I 1 г.> 1 х I х Z 1 л F. Ц 1 % а > Xl ( л х У о ос оО сг> г! 1 I 1 «со сг> сО () 1 1 1 I I I ! 1 1 с") Л Г> (:) Г 1 Д F() о 1 г а о а л > а Z Ъ с» Ю о О Г) Ю Сп г Д G (.) о ( о х 1 ра о > со 5х .О сг) o ) " o 1> х а а х» 1G га о, а л Г») л r) с л о х К х ,т. х а о х ( о о, а», а (-> o o (:) с 1 Ю са Й ()» (т х Ж ()-") р а о > Т »О о Т л ) . а Р»а т -т—.О Р х х I l ;,а а»а г. о со 1J У х х J х D. У О сО (»> а > CC) Ю C l с-),»> с ! CO C I х и Б о о >х >х с о C х х I о о Z х Cl! Z х Г: х г5 Q, со г Л х » Pl г D. со Г5 >х >х O G х " l б Z Е C!) Г» с с г> г3 о (: и Й У 1O G (о со г < а а lD )О с о г У с со r г) У а 1 lD G У 1а со Г а lD с Г5 У ) со ( а Е со У аа У у о ID о л о о а Т х г; ()) (» х х (> с (У >с У "-) Х ,.) Z х Г У Z со г! а )о х G:х ". х о. (0 lO 1) со У г) ) а о ID 1:: 1627601 г3 х и z o а (.: х Д - 1 ».) Г Г с ;, х а с о ш 1о Г» а д > л .О Д > х ! 1 >а а. а () (:)> со 1 (>3 Х г.) X о со о х а х у сс с J г» г5 х а со Г» л х а >х ! » (I) G (а О ) У G»а х (Q Ю Г)ОЛ >О г. ) (л> C)> (,) с)» Ю с(> CC) г»\ ° л О И х Г» с. о Г) 1» о ° л а> а х— Ь ) а (:) I (О ) (а « С Х л> 1 Й о х ) î g3 л С с с а Х G Х со с х а хсо 4 о г» К х J х а.х л а 1 о о с о о о г» У о а о (со И I о г 1 1 1 1 I ) 1 »вЂ” I с > I 1 1 I Е G 1 х ! (б 1 X I ! 1 I г I» о со ClI о со с